不含单独二极管膜的三维纵向多次编程存储器的制作方法

本发明涉及集成电路存储器领域，更确切地说，涉及多次编程存储器（multiple-timeprogrammablememory，简称为mtp；也被称为重复编程存储器）。

背景技术：

三维多次编程存储器（3d-mtp）是一种单体（monolithic）半导体存储器，它含有多个垂直堆叠的mtp存储元。3d-mtp的存储元分布在三维空间中，而传统的平面型mtp的存储元分布在二维平面上。相对于传统mtp，3d-mtp具有存储密度大，存储成本低等优点。

美国专利申请us2017/0148851a1（申请人：hsu；申请日：2016年11月23日）提出一种三维纵向多次编程存储器（3d-mtpv）。它含有多个垂直堆叠的水平地址线，多个穿透水平地址线的存储井，覆盖存储井边墙的编程膜和二极管（也被称为选择器selector、选向器steeringelement等名称）膜，以及多条形成在存储井中的竖直地址线。在该专利申请中，为了实现存储元的编程以及避免存储元之间的干扰，每个存储元均含有单独的编程膜和单独的二极管膜。二极管膜的厚度一般较大。以p-n薄膜二极管为例，具有良好正反电流选择比（rectifyingratio）的p-n薄膜二极管的厚度在100nm以上。这么厚的二极管膜如形成在存储井中，将导致存储井尺寸很大，存储密度降低。

技术实现要素：

本发明的主要目的是提高三维多次编程存储器（3d-mtp）的存储密度。

本发明的另一目的是使存储井的填充工艺更加简单。

本发明的另一目的是使存储井的尺寸更小。

本发明的另一目的是在存储元漏电流较大的情况下保证3d-mtp的正常工作。

为了实现这些以及别的目的，本发明提出一种不含单独二极管膜的三维纵向多次编程存储器（3d-mtpv）。它含有多个在衬底电路上并肩排列的mtp存储串，每个mtp存储串垂直与衬底且含有多个垂直堆叠的mtp存储元。具体说来，3d-mtpv含有多条垂直堆叠的水平地址线（字线）。在刻蚀出多个穿透这些水平地址线的存储井后，在存储井的边墙覆盖一层编程膜，并填充导体材料以形成竖直地址线（位线）。导体材料可以是金属材料或掺杂的半导体材料。mtp存储元形成在字线和位线的交叉处。

为了避免存储井尺寸过大，本发明中的mtp存储元只含有单独的编程膜，并不含有单独的二极管膜。由于不需在存储井的边墙上形成二极管膜，存储井的填充变得容易，这将简化工艺流程。此外，这种设计还能缩小存储井的尺寸，增加存储密度。

在本发明的mtp存储元中，二极管是在水平地址线和竖直地址线之间自然形成的。这种自然形成的二极管性能不佳，其漏电流较大。为了避免在读过程中由于漏电流过大导致存储元之间互相干扰，本发明还提出一种“全读”模式：在一个读周期中读出与一条字线电耦合的所有mtp存储元存储的信息。读周期分两个阶段：预充电阶段和读阶段。在预充电阶段，mtp阵列中所有地址线（包括所有字线和所有位线）均被预充电到一预设电压。在读阶段，当一选中字线上的电压上升到读电压vr后，它通过与之耦合的mtp存储元向所有位线充电。通过测量位线上的电压变化，可确定相应mtp存储元所存储的信息。

相应地，本发明提出一种不含单独二极管膜的三维纵向多次编程存储器（3d-mtpv），其特征在于含有：一含有一衬底电路(0k)的半导体衬底(0)；多层处于该衬底电路(0k)之上、垂直堆叠的水平地址线(8a-8h)，该水平地址线(8a-8h)含有第一半导体材料；至少一穿透所述多层水平地址线(8a-8h)的存储井(2a)；一层覆盖该存储井(2a)边墙的编程膜(6a)，在编程时其电阻可从高电阻态转变为低电阻，或从低电阻转变成高电阻；一条形成在该存储井(2a)中的竖直地址线(4a)，该竖直地址线(4a)含有第二半导体材料；多个形成在该水平地址线(8a-8h)与该竖直地址线(4a)交叉处的mtp存储元(1aa-1ha)；所述第一和第二半导体材料掺杂类型不同。

附图说明

图1a是第一种不含单独二极管膜的3d-mtpv的z-x截面图；图1b是其沿aa’的x-y截面图；图1c是mtp存储元的截面图。

图2a-图2c是该3d-mtpv三个工艺步骤的截面图。

图3a表示mtp存储元的符号及其意义；图3b是第一种mtp阵列采用的“全读模式”读出电路的电路图；图3c是其时序图；图3d是二极管的i-v曲线。

图4a是第二种不含单独二极管膜的3d-mtpv的z-x截面图；图4b是其沿cc’的x-y截面图；图4c是第二种mtp阵列采用的读出电路的电路图。

注意到，这些附图仅是概要图，它们不按比例绘图。为了显眼和方便起见，图中的部分尺寸和结构可能做了放大或缩小。在不同实施例中，相同的符号一般表示对应或类似的结构。“/”表示“和”或“或”的关系。“衬底中”是指功能器件（activedevices）均形成在衬底中（包括衬底表面上），而互连线形成在衬底上方、不与衬底接触。“衬底上”是指功能器件形成在衬底上方、不与衬底接触。

具体实施方式

图1a是第一种不含单独二极管膜的三维纵向多次编程存储器（3d-mtpv）的z-x截面图。它含有多个位于衬底电路0k上、且并肩排列的竖直mtp存储串（简称为mtp存储串）1a、1b…。每个mtp存储串1a与衬底0垂直，它含有多个垂直堆叠的mtp存储元1aa-1ha。

本图中的实施例是一mtp阵列10。mtp阵列10是所有共享有至少一条地址线的存储元的集合。它含有多条垂直堆叠的水平地址线（字线）8a-8h。在刻蚀出多个穿透这些水平地址线8a-8h的存储井2a-2d后，在存储井2a-2d的边墙覆盖一层编程膜6a-6d，并填充导体材料以形成竖直地址线4a-4d（位线）。导体材料可以是金属材料或高掺杂的半导体材料。

mtp存储元1aa-1ha形成在字线8a-8h与位线4a的交叉处。在mtp存储元1aa中，编程膜6a含有一编程材料，其电阻在编程时可从高电阻态转变为低电阻，或从低电阻转变成高电阻。作为一个例子，编程膜6a含有相变（phase-changematerial，简称为pcm）材料、或阻变（resistiveram，简称为rram）材料等编程材料。为简便计，图1a只画出存储元1aa中的导体丝，而未画出其它存储元中的导体丝。

图1b是该3d-mtpv沿aa’的x-y截面图。水平地址线8a为一导体板，它可以与两行或两行以上的竖直地址线（此处为八条竖直地址线4a-4h）耦合，以形成八个mtp存储元1aa-1ah。这些mtp存储元（与一条水平地址线8a电耦合的所有mtp存储元）1aa-1ah构成一mtp存储组1a。由于水平地址线8a很宽，它可以采用低精度光刻技术（如特征线宽>60nm的光刻技术）来形成。

为了避免由于二极管膜较厚而导致存储井尺寸较大，本发明中的mtp存储元只含有单独的编程膜。如图1c所示，mtp存储元1aa只含有单独的编程膜6a，并不含有单独的二极管膜。二极管是在水平地址线8a与竖直地址线4a之间自然形成的。比如说，水平地址线8a含有p型半导体材料、竖直地址线4a含有n型半导体，它们之间形成一半导体二极管。由于只需在存储井2a的边墙上形成编程膜6a，而不需要形成二极管膜，存储井2a的填充变得容易，这将简化工艺流程。此外，这种设计还能缩小存储井2a的尺寸，增加存储密度。

图2a-图2c表示该3d-mtpv的三个工艺步骤。所有的水平地址层12a-12h连续形成（图2a）。具体说来，在将衬底电路0k平面化后，形成第一水平导体层12a。这个水平导体层12a不含有任何图形。在该第一水平导体层12a上形成第一绝缘层5a。类似地，第一绝缘层5a也不含有任何图形。在第一绝缘层5a上再形成第二水平导体层12b。如此类推，直到形成所有的水平导体层（此处共八层）。在图2a的形成过程中，没有图像转换步骤（如光刻步骤）。由于每个水平导体层的平面化保持良好，3d-mtpv可以含有数十上百个水平导体层。在形成了所有的水平导体层12a-12h后，通过第一刻蚀一次性地刻蚀所有水平导体层12a-12h以形成多条垂直堆叠的水平地址线8a-8h（图2b）。之后，通过第二刻蚀一次性地形成多个穿透所有水平地址线8a-8h的存储井2a-2d（图2c）。在其侧壁上覆盖编程膜6a-6d，并填充导体材料，以形成多条竖直地址线4a-4d。

图3a是mtp存储元1的符号。mtp存储元1含有字线（正极）8和位线（负极）4，在字线8和位线4之间含有编程膜12和二极管14。编程膜12的电阻在编程时可从高电阻态转变为低电阻，或从低电阻转变成高电阻；在外加电压的数值小于读电压或方向与读电压相反时，二极管14的电阻大于读电阻。如前所述，本发明的mtp存储元1中只含有单独的编程膜，而不含有单独的二极管膜。二极管14是在字线（水平地址线）8和位线（竖直地址线）4之间自然形成的。这种自然形成的二极管14性能不佳，其漏电流较大。为了避免在读过程中由于漏电流过大导致存储元之间互相干扰，本发明提出一种“全读”模式：在一个读周期中，读出与一条字线电耦合的所有mtp存储元存储的信息。

图3b表示第一种mtp阵列10采用的“全读模式”读出电路。mtp阵列10含有字线（水平地址线）8a-8h、位线（竖直地址线）4a-4h、以及mtp存储元1aa-1ad...。mtp阵列10的周边电路含有一个多路复用器（mux）40和一读出放大器30。在该实施例中，mux40为4-to-1mux。图3c是其时序图。读周期t含有一预充电阶段tpre和一读阶段tr：在预充电tpre阶段，mtp阵列10中所有地址线（8a-8h、4a-4h）都被充至一预设电压（如放大电路30的输入偏置电压vi）。在读阶段tr，所有位线4a-4h悬浮，被选中字线8a的电压上升到读电压vr，并通过mtp存储元1aa-1ah向所有位线4a-4h充电。mux40将每条位线上的电压分别送到读出放大器30。如果该电压大于读出放大器30的翻转电压vt，则输出vo翻转。在读周期t结束时，存储组1a中所有存储元1aa-1ah存储的数字信息均被读出。

图3d是二极管14的i-v曲线。由于读出放大器30的阈值电压vt较小（~0.1v），在读阶段所有位线4a-4h上的电压变化较小，未被选中存储元（如1ca）上的反向电压约为-vt。只要二极管14的i-v特性满足条件i(vr)>>n*i(-vt)，就不会影响3d-mtpv的正常工作。这里，n为一条位线（如4a）上所有mtp存储元的数目。注意到，由于正向电压vr的值远远大于反向电压-vt的值。即使二极管14的漏电流较大，由于反向电压-vt的值很小（~0.1v），上述条件很容易满足。

为方便地址解码，本发明还利用存储井的侧壁形成多个纵向晶体管。图4a-图4c表示第二种不含单独二极管膜的3d-mtpv.。它含有纵向晶体管3aa-3ad。其中，纵向晶体管3aa是一传输晶体管（passtransistor），它含有栅极7a、栅介质6a和沟道9a（图4a）。沟道9a由填充在该存储井2a中的半导体材料构成，其掺杂可以与竖直地址线4a相同、浓度较低、或类型相反。栅极7a包围存储井2a、2e，并控制传输晶体管3aa、3ae（图4b）；栅极7b被包围存储井2b、2f，并控制传输晶体管3ab、3af；栅极7c包围存储井2c、2g，并控制传输晶体管3ac、3ag；栅极7d包围存储井2d、2h，并控制传输晶体管3ad、3ah。传输晶体管3aa-3ah形成至少一解码级（图4c）。在一实施例中，当栅极7a上的电压为高，而栅极7b-7d上的电压为低时，仅传输晶体管3aa和3ae导通，其它传输晶体管均断开。这时，衬底电路层中的mux40`在位线4a和4e中选择一个信号，送至读出放大器30。通过在存储井2a-2d中形成多个纵向晶体管3aa-3ad，本实施例能简化解码器的设计。

应该了解，在不远离本发明的精神和范围的前提下，可以对本发明的形式和细节进行改动，这并不妨碍它们应用本发明的精神。因此，除了根据附加的权利要求书的精神，本发明不应受到任何限制。