离子植入机及其使用方法与流程

技术特征：

1.一种离子植入机，其特征在于，包括：

离子源；

装载装置，经过所述装载装置中心与离子源中心的直线为中心轴；

位于离子源和装载装置之间的处理腔室，所述处理腔室的两侧分别具有与离子源对应第一开口、以及与装载装置对应的第二开口，且所述第一开口的中心和第二开口的中心在所述中心轴上；

位于处理腔室内的磁场装置，所述磁场装置包括永磁体以及线圈，所述磁场装置用于产生垂直于所述中心轴的矫正磁场。

2.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，所述装载装置包括若干载具，所述载具用于装载晶圆，使所装载的晶圆表面垂直于所述中心轴并朝向所述第二开口；若干载具围绕上述中心轴均匀分布；晶圆的直径为300毫米；所装载的晶圆中心到中心轴的距离为155毫米～175毫米。

3.如权利要求2所述的离子植入机，其特征在于，所述离子源的扫描范围为：610毫米～650毫米。

4.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，所述磁场装置产生的磁场强度为：0.006特斯拉～0.06特斯拉；所述永磁铁的磁场强度为：0.004特斯拉～0.02特斯拉。

5.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，若干所述磁场装置对称分布于所述中心轴两侧；所述线圈的中轴线垂直于所述中心轴；位于中心轴同一侧的若干线圈沿平行于中心轴方向上平行排列；所述永磁铁的中轴线平行于所述中心轴。

6.如权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，位于中心轴两侧的若干所述磁场装置包括自离子源向装载装置方向分布的第一区和第二区；若干所述线圈包括朝向所述中心轴方向的第一端；在磁场装置的第一区中，位于中心轴两侧的线圈第一端极性相反；在磁场装置的第二区中，位于中心轴两侧的线圈第一端极性相反；位于所述中心轴同一侧的若干线圈中，位于第一区的线圈第一端与位于第二区的线圈第一端极性相反。

7.如权利要求6所述的离子植入机，其特征在于，位于所述中心轴同一侧的磁场装置中，所述永磁体的极性与所述线圈第一端的极性相同。

8.一种离子植入机的使用方法，其特征在于，包括：

提供如权利要求1至权利要求7任一项所述的离子植入机；

离子源发射初始离子束，所述初始离子束边缘的离子运动方向与中心轴具有第一夹角；

所述初始离子束通过处理腔室的第一开口进入处理腔室后，经磁场装置的修正，从处理腔室的第二开口射出，形成离子束，所述离子束边缘的离子运动方向与中心轴具有第二夹角，所述第二夹角小于第一夹角。

9.如权利要求8所述的离子植入机的使用方法，其特征在于，所述第一夹角的范围为8度～12度，所述第二夹角的范围为0度～1度。