1.一种柔性强介电薄膜,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底的材质为聚酰亚胺;
位于衬底表面的过渡层;
位于过渡层表面的强介电薄膜层。
2.如权利要求1所述的柔性强介电薄膜,其特征在于,所述聚酰亚胺的FT-IR谱图在波数为800-840cm-1范围内有两个吸收峰,波数短的吸收峰的透光率小于波数长的吸收峰的透光率。
3.如权利要求1或2所述的柔性强介电薄膜,其特征在于,所述聚酰亚胺的FT-IR谱图在波数为1060-1140cm-1范围内有两个吸收峰,波数短的吸收峰的透光率小于波数长的吸收峰的透光率。
4.如权利要求1所述的柔性强介电薄膜,其特征在于,所述过渡层包括无机绝缘层和/或无机导电层。
5.如权利要求1所述的柔性强介电薄膜,其特征在于,所述过渡层由Si、N、Al、O、Ti、Sr、Zr、Hf、Au、Pt、Ni、Ir、Pd、La和Ru中的一种或几种元素组成。
6.如权利要求1所述的柔性强介电薄膜,其特征在于,所述强介电薄膜层由Pb、Zr、Ti、O、Ba、Sr、Hf、Bi、Fe、Sn、Mn、Ca、Co、B、Nb、La和Ru中的两种以上元素组成。
7.一种柔性强介电薄膜的制作方法,包括:
选取聚酰亚胺为衬底,所述聚酰亚胺的FT-IR谱图在波数为800-840cm-1范围内和/或1060-1140cm-1范围内有两个吸收峰,并且波数短的吸收峰的透光率小于波数长的吸收峰的透光率;
在所述衬底表面形成过渡层;
在所述过渡层表面形成强介电薄膜层。
8.如权利要求7所述的柔性强介电薄膜的制作方法,其特征在于,在过渡层表面形成强介电薄膜层,包括以下步骤;
(1)采用旋涂工艺在过渡层上形成一层前述涂层;
(2)对所述前述涂层进行80-410℃加热,使所述前述涂层形成非晶态固体层;
(3)对所述非晶态固体层进行410-510℃加热2-60分钟,使所述非晶态固体层变成结晶层。
9.如权利要求8所述的柔性强介电薄膜的制作方法,其特征在于,所述结晶层的厚度为20-150nm。
10.如权利要求9所述的柔性强介电薄膜的制作方法,其特征在于,重复步骤(1)、(2)和(3),使得结晶层的厚度在300-2000nm之间。