一种薄膜晶体管、检测装置及其检测压力或光照的方法与流程

文档序号:15940630发布日期:2018-11-14 03:05阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种薄膜晶体管、检测装置及其检测压力或光照的方法,用以提高薄膜晶体管的感光性能和感压性能,从而有利于提高检测压力或光照时的精度。本发明实施例提供的薄膜晶体管,包括衬底基板,设置在所述衬底基板之上的半导体层、栅极和源漏极,所述半导体层的材料包括二碲化钼。

技术研发人员:李广耀;闫梁臣;王东方;汪军;王庆贺;胡迎宾;刘宁
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
技术研发日:2018.07.04
技术公布日:2018.11.13
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