技术特征：
技术总结
本发明提供了一种低寄生电阻的肖特基二极管，属于半导体器件技术领域，包括金属阳极、金属阴极、N型半导体沟道和半导体重掺杂区，金属阳极与N型半导体沟道连接，形成肖特基结；金属阴极与半导体重掺杂区连接，形成欧姆接触；N型半导体沟道具有半导体重掺杂区隔开的绝缘介质层，通过肖特基结的射频信号经连接部进入半导体重掺杂区，到达金属阴极。本发明提供的低寄生电阻的肖特基二极管，在保证N型半导体沟道与半导体重掺杂区连通的同时，采用绝缘介质层部分隔开N型半导体沟道与半导体重掺杂区，使得肖特基结的射频信号只能通过连接部位进入半导体重掺杂区，最终到达阴极，不需要通过未耗尽的N型半导体沟道，可以减小寄生电阻。
技术研发人员：宋旭波;吕元杰;梁士雄;王元刚;张立森;冯志红
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2018.12.05
技术公布日：2019.04.19