技术总结
本实用新型提供一种卡盘销和工件清洗装置，所述卡盘销用于夹持设置在卡盘上的工件。所述卡盘销和工件清洗装置包括卡盘销主体、连接件、定位销和旋转件。所述连接件与所述卡盘销主体可拆卸连接。所述定位销与所述连接件固定连接，用于夹持所述工件。所述旋转件与所述卡盘销主体固定连接，用于带动所述定位销转动。所述旋转件与所述定位销偏心设置。本实用新型中由于连接件与卡盘销主体可拆卸连接，定位销与连接件固定连接，旋转件与卡盘销主体固定连接，因此当定位销损坏时将连接件和定位销从卡盘销主体上拆卸下来即可，无需更换整个卡盘销，因此可节约实际生产中维修保养时间，提高产量，此外，还可节约成本。
技术研发人员：李丹;高英哲;崔亚东;张文福
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2018.02.09
技术公布日：2018.09.14