1.一种排气装置，其特征在于，包括由内层、外层和中间夹层构成的双层罩体以及抽气组件，所述罩体用于容纳反应腔室；所述内层上设置有多个排气孔，所述外层上安装有至少一排气口；所述抽气组件，连接所述排气口，用于使所述反应腔室中的残留气体依次经所述排气孔、所述中间夹层、所述排气口后抽出。
2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，多个所述排气孔关于所述罩体的轴向对称分布。
3.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，多个所述排气孔在所述内层上呈阵列排布。
4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气口的内径大于所述排气孔的内径。
5.根据权利要求4所述的排气装置，其特征在于，至少一排气口包括多个排气口。
6.根据权利要求5所述的排气装置，其特征在于，多个排气口包括两个排气口，且两个所述排气口之间的夹角大于预设角度。
7.根据权利要求6所述的排气装置，其特征在于，所述预设角度为130°。
8.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述抽气组件包括抽气泵和管道；所述管道的一端与所述抽气泵连通、另一端与所述排气口连通，所述抽气泵用于将所述反应腔室内的残留气体依次经所述排气孔、所述中间夹层、所述排气口、所述管道后抽出。
9.根据权利要求8所述的排气装置，其特征在于，还包括控制器；所述控制器，连接所述抽气泵，用于控制所述抽气泵的抽气速率。