一种晶圆可拆卸式修边载具的制作方法

本实用新型涉及晶圆技术领域，特别是涉及一种晶圆可拆卸式修边载具。

背景技术：

目前光刻胶自动涂覆曝光作业完成后，圆片边缘一圈无效区域会有开口被开出，对后续的电镀工艺造成一定的影响。为避免无效区域开口开出，减少电镀工艺造成的损失，需要重新手动进行修边处理，增加一定的作业难度且延长时间成本。

为此出现了许多载具，这些载具与晶圆平边处接触的地方，使用时间长了，会出现一定量的磨损，但这些载具都是一体式，出现损坏就需要整个载具淘汰，十分浪费。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶圆可拆卸式修边载具，方便了修边工艺且大大降低了作业成本，将圆片晶圆放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；避免晶圆手动定位精度差的问题；第二定位块拆装方便，装入时，只需一字卡槽与限位条便可插入，当第二定位块需要拔出时，可以装上提手，通过提手拔出，也可以直接拔出；且第二定位块的耐磨性较好。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种晶圆可拆卸式修边载具，包括圆形底板，所述的圆形底板中部开有圆形通孔，该圆形底板的侧壁围绕着圆周均匀布置有四个第一定位块，所述的第一定位块与圆形底板相连的面为圆弧面，该圆弧面与圆形底板的侧壁相配，其中两个相邻的第一定位块之间安装有第二定位块，该第二定位块靠近圆形通孔一侧的侧壁为竖直面，所述的第二定位块呈长方体结构，该第二定位块两侧的侧壁上均竖直开有一字卡槽，所述的一字卡槽下端贯穿第二定位块的下端面，位于第二定位块两侧的第一定位块其侧壁上均竖直布置有与一字卡槽相配的限位条。第二定位块的耐磨性较好。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的第一定位块的外侧壁由多个棱面组成。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的第二定位块的上端中部设置有螺纹孔，该螺纹孔与提手螺纹连接。

有益效果：本实用新型涉及一种晶圆可拆卸式修边载具，方便了修边工艺且大大降低了作业成本，将圆片晶圆放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；避免晶圆手动定位精度差的问题；第二定位块拆装方便，装入时，只需一字卡槽与限位条便可插入，当第二定位块需要拔出时，可以装上提手，通过提手拔出，也可以直接拔出；且第二定位块的耐磨性较好。

附图说明

图1是本实用新型的俯视结构示意图；

图2是本实用新型所述的第二定位块的左视图；

图3是本实用新型所述的提手的结构示意图；

图4是本实用新型所述的掩膜板的结构示意图；

图5是本实用新型安装上晶圆的结构示意图；

图6是本实用新型安装上掩膜板的结构示意图。

图示：1、圆形底板，2、第一定位块，3、圆弧面，4、圆形底板，5、第二定位块，6、竖直面，7、一字卡槽，8、限位条，9、螺纹孔，10、提手，11、掩膜板，12、透光区域，13、晶圆。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

本实用新型的实施方式涉及一种晶圆可拆卸式修边载具，如图1-6所示，包括圆形底板1，所述的圆形底板1中部开有圆形通孔4，该圆形底板1的侧壁围绕着圆周均匀布置有四个第一定位块2，所述的第一定位块2与圆形底板1相连的面为圆弧面3，该圆弧面3与圆形底板1的侧壁相配，其中两个相邻的第一定位块2之间安装有第二定位块5，该第二定位块5靠近圆形通孔4一侧的侧壁为竖直面6，所述的第二定位块5呈长方体结构，该第二定位块5两侧的侧壁上均竖直开有一字卡槽7，所述的一字卡槽7下端贯穿第二定位块5的下端面，位于第二定位块5两侧的第一定位块2其侧壁上均竖直布置有与一字卡槽7相配的限位条8。

所述的第一定位块2的外侧壁由多个棱面组成。

所述的第二定位块5的上端中部设置有螺纹孔9，该螺纹孔9与提手10螺纹连接。

实施例

使用流程：

1、该载具的尺寸与曝光机器平台吻合，利用第一定位块2将载具放置在机台上固定位置，使得载具能够稳定的卡在机台上，第一定位块2的外侧壁由多个棱面组成，方便定位。

2、将6寸平边晶圆13放置在载具上，晶圆13平边处与第二定位块5的竖直面6对位吻合，使得6寸平边晶圆13能够牢固稳定在载具上，如图5所示。

3、将外径与载具内径一致的配套的掩膜板11放置在晶圆13上，通过掩膜板11的平边处与第二定位块5的竖直面6对准进行固定位置，如图6所示。

4、最后执行曝边动作，掩膜板11外围一圈3mm区域，属于透光区域12，晶圆13表面涂覆的胶层透光区域经过曝光后，胶面硬化难以去除，使胶面完好平整，从而能够解决后续电镀金属(或者合金)凸点时出现高低不平的问题。

本实用方便了修边工艺且大大降低了作业成本，将圆片晶圆10放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；避免晶圆手动定位精度差的问题。圆形通孔4属于真空孔，提高作业过程中的晶圆位置的稳定性；第二定位块5拆装方便，装入时，只需一字卡槽7与限位条8便可插入，当第二定位块5需要拔出时，可以装上提手10，通过提手10拔出，也可以直接拔出。

所述载具配有其外径与载具内径一致的特殊掩膜板11，该掩膜板11能够有效的解决曝边时定位的问题。掩膜板11外围一圈有3mm呈现透明状的区域，该3mm透光区域12透光作业使得光刻胶曝光后硬化难以去除。