本实用新型涉及一种基板处理装置及用于其的过滤单元，更为具体地，涉及一种基板处理装置及用于其的过滤单元，基板处理装置可以缩短对用于供给药液的设备及路线进行稳定化时所需要的时间，提高处理效率。
背景技术：
最近，正在进行用于提高半导体的收率及生产率的各种努力。
其中，面板级封装(Panel Level Package；PLP)是在没有半导体封装用PCB(印制电路板)的状态下以低廉的费用对输入/输出力多的高性能半导体芯片进行封装(将连接芯片和仪器的线直接植入于面板的封装)的技术，并且被评价为比晶片级封装(WLP:Wafer Level Packaging)工艺更先进的技术。
在制造半导体封装的工艺中，伴随有在被处理基板的表面涂布抗蚀剂液等药液的涂覆工艺。在被处理基板的大小小的现有技术中，使用如下旋转涂覆方法：在被处理基板的中央部涂布药液的同时使得被处理基板旋转，由此在被处理基板的表面涂布药液。
但是，随着被处理基板的大小大型化，几乎不使用旋转涂覆方式，而是正在使用如下方式的涂覆方法：使得狭缝喷嘴和被处理基板相对移动的同时，将药液从狭缝喷嘴涂布于被处理基板的表面，狭缝喷嘴是具有与被处理基板的宽度相对应的长度的狭缝形态。
另外，若涂布于基板的药液中含有异物，则会具有如下问题：很难将药液以均匀的厚度涂布于基板的表面，并且随着同时涂布药液和异物，药液涂覆膜的质量下降，所以在通过狭缝喷嘴涂布药液之前，应用过滤器进行过滤。
此时，就过滤药液时所使用的过滤器而言，若寿命用尽，则过滤能力急剧下降，所以应周期性地进行更换。但是，就用于过滤药液的过滤器而言，最初被提供为干性(dry)状态，所以应制造使得过滤器转换为亲水性(转换为湿式状态)并可以在没有空气层的状态下起到充分的过滤作用的条件，所述作业称为预湿(pre-wetting)。
但是，在现有技术中存在如下问题：对过滤器进行预湿时需要非常多的时间，并且对用于移送药液的设备及路线进行稳定化(去除设备及路线的内部的空气层)时所消耗的药液的净化量(使得包含气体的药液排出并废弃的量)增加，进而成本上升。
尤其，在涂覆工艺中，若使用高粘度药液(例如，具有500cP以上粘度的药液)，则可以防止药液的流动，但是具有如下问题：药液的粘度越高，因高粘度的特性而使得过滤器的预湿效率下降，并且预湿所需要的时间增加。
此外，具有如下问题：若在过滤器没有充分预湿的状态(在过滤器留有空气层的状态)下药液经过过滤器，则经过过滤器的药液中包含分割得微小的气体，并且药液中所包含的气体残留在用于移送药液的设备及路线，从而在对用于移送药液的设备及路线进行稳定化时需要更多的时间，并且药液的净化量增加。
据此，最近，正在进行用于提高过滤器的预湿效率、缩短对用于供给药液的设备及路线进行稳定化时所需要的时间的多种研究，但是仍不能令人满意，因此要求对此的开发。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种基板处理装置及用于其的过滤器，基板处理装置可以缩短对用于供给药液的设备及路线进行稳定化时所需要的时间，提高处理效率。
尤其，本实用新型的目的在于，可以提高对药液进行过滤的过滤单元的预湿效率，并且缩短预湿时所需要的时间。
此外，本实用新型的目的在于，可以减少药液的使用量，降低生产成本。
此外，本实用新型的目的在于，可以提高高粘度药液的处理效率，缩短处理时间。
此外，本实用新型的目的在于，可以提高药液中所包含的气体的去除效率。
此外，本实用新型的目的在于，可以防止污迹的产生，提高药液涂覆膜的质量。
此外，本实用新型的目的在于，可以简化结构，提高空间利用率及设计自由度。
此外，本实用新型的目的在于，可以均匀地控制药液的喷出量，提高稳定性及可靠性。
用于实现所述本实用新型目的的本实用新型提供一种基板处理装置，基板处理装置包括：药液处理单元，其按照规定的工艺顺序处理药液；过滤单元，其包括过滤器外壳、过滤膜和加热器，过滤器外壳设置于通过药液处理单元处理的药液的移动路径上，过滤膜对供给到过滤器外壳的药液进行过滤；加热器将药液加热至规定范围的温度。
如上所述，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：缩短对用于供给药液的设备及路线进行稳定化时所需要的时间，提高处理效率。
尤其，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：提高对药液进行过滤的过滤单元的预湿效率，缩短预湿所需要的时间。
此外，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：减少药液的使用量，降低生产成本。
此外，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：提高高粘度药液的处理效率，缩短处理时间。
此外，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：提高药液中所包含的气体的去除效率，缩短脱气时间。
此外，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：防止污迹的产生，提高药液涂覆膜的质量。
此外，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：简化结构，提高空间利用率及设计自由度。
此外，根据本实用新型，可以获得如下有利效果：可以均匀地控制药液的喷出量，提高稳定性及可靠性。
附图说明
图1是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的图。
图2是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的过滤单元的图。
图3是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的过滤单元另一个实施例的图。
图4是用于说明因药液的温度变化而产生的药液的粘度变化的图。
图5是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的旋转模块的图。
图6是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的振动模块的图。
图7是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的脱气单元的图。
图8是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的脱气单元的另一个实施例的图。
图9是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的冷却部的图。
图10是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的冷却部的另一个实施例的图。
图11是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的过滤单元的安装例的图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本实用新型的优选实施例进行了详细说明，但是本实用新型并非受实施例的限制或限定。作为参考，在本说明中，相同的标号实际上意味着相同的要素，并且在所述规则下，可以引用记载于其他附图的内容来说明，并且可以省略判断为对本领域技术人员来说显而易见或反复的内容。
参照图1至图11，根据本实用新型的基板处理装置1包括：药液处理单元200，其按照规定的工艺顺序处理药液；过滤单元230，其包括过滤器外壳232、过滤膜234和加热器236，过滤器外壳232设置于通过药液处理单元200处理的药液的移动路径上；过滤膜234对供给到过滤器外壳232的药液进行过滤，加热器236将药液加热至规定范围的温度。
其目的在于，提高对药液进行过滤的过滤单元230的预湿效率，缩短预湿所需要的时间。
换句话说，就用于过滤药液的过滤器而言，若寿命用尽，则过滤能力急剧下降，所以应周期性地进行更换。但是，就用于过滤药液的过滤器而言，最初被提供为干性(dry)状态，所以应制造使得过滤器转换为亲水性(转换为湿式状态)并可以在没有空气层的状态下起到充分的过滤作用的条件(预湿)。
但是，在现有技术中存在如下问题：对过滤器进行预湿时需要非常多的时间，从而对用于移送药液的设备及路线进行稳定化(去除设备及路线的内部的空气层)时所消耗的药液的净化量(使得包含气体的药液排出并废弃的量)增加，进而成本上升。尤其，在涂覆工艺中，若使用高粘度药液(例如，具有500cP以上粘度的药液)，则可以防止药液的流动，但是具有如下问题：药液的粘度越高，因高粘度的特性而使得过滤器的预湿效率降低，并且预湿所需要的时间增加。
此外，具有如下问题：若在过滤器没有充分预湿的状态(在过滤器留有空气层的状态)下药液经过过滤器，则经过过滤器的药液中包含分割得微小的气体，并且药液所包含的气体残留在用于移送药液的设备及路线，从而在对用于移送药液的设备及路线进行稳定化时，需要更多的时间，并且药液的净化量增加。
但是，就本实用新型而言，经过过滤单元230过滤膜234的药液的温度被加热至规定范围的温度，由此可以降低药液的粘度，所以可以获得如下有利效果：提高过滤膜234的预湿(pre-wetting)效率，缩短预湿所需要的时间。
更为具体地，药液的温度与药液的粘度具有相关关系。尤其，药液的粘度随着药液温度增加而降低，在降低药液的粘度的状态(稀的状态)下，使得药液渗透到过滤膜234，由此可以获得如下有利效果：缩短以湿式状态对过滤膜234进行稳定化的预湿时间。
此外，就本实用新型而言，提高过滤单元230的预湿效率，缩短预湿所需要的时间，由此可以获得如下有利效果：可以降低对用于移送经过过滤单元230的药液的设备及路线进行稳定化时所使用的药液的净化量，并且减少药液的使用量。
作为参考，根据所要求的条件及设计规范，为了将涂布物质(药液)涂布于多种客体而可以使用根据本实用新型的基板处理装置1，并且本实用新型并非受客体和药液种类的限制或限定。
以下，举例说明基板处理装置1构成为将药液(例如，PR)涂布于基板10的上面。优选地，将具有500cP(centi-poise：厘泊)以上的高粘度特性的药液涂布于基板10。
药液处理单元200可以形成为能够向喷嘴单元400供给药液的多种结构，并且药液处理单元200的结构可以根据所要求的条件及设计规范变更为多种。
例如，药液处理单元200包括：罐210，其用于存储药液；药液供给路线220，其从罐210开始供给药液，过滤单元230设置于通过药液处理单元处理的药液的移动路径上。
以下，举例说明存储于罐210的药液在沿着药液供给路线220供给的过程中经过过滤单元230并被处理。根据不同的情况，能够在药液供给路线上额外地安装(安装两个以上)过滤单元，并且本实用新型不受过滤单元的个数及安装位置的限制或限定。
液态的药液存储在罐210，通过药液供给路线220(例如，管道)向喷嘴单元400供给存储于罐210的药液。
例如，多个罐210并列连接。根据不同的情况，可以使用单一罐，本实用新型不受罐的个数及排列的限制或限定。
过滤单元230设置为对经药液处理单元处理的药液中所包含的异物进行过滤，药液经过过滤单元230被过滤后，供给至喷嘴单元400。
更为具体地，过滤单元230包括：过滤器外壳232，其设置于经药液处理单元处理的药液的移动路径上；过滤膜234，其对供给到过滤外壳232的所述药液进行过滤；加热器236，其将药液加热至规定范围的温度。
过滤器外壳232可以提供为在内部具有收容空间的筒状，过滤器外壳232的形状及结构可以根据所要求的条件及设计规范变更为多种。
过滤膜234配置于过滤器外壳232内部，并且对供给到过滤器外壳232的药液进行过滤。
作为过滤膜234，可使用能够对药液中所包含的异物进行过滤的各种种类的过滤器，本实用新型不受过滤器的种类及形态的限制或限定。
作为参考，在过滤器外壳232的下部或上部(或侧部)形成有用于供给药液的入口(未示出)，通过入口流入过滤器外壳232内部的药液经过过滤膜234后，通过形成于过滤器外壳232上部的出口(未示出)排出至过滤器外壳232的外部，并沿着药液供给路线220被移送。
加热器236设置为将经过过滤膜234的药液加热至规定范围的温度。
优选地，加热器236设置为，通过加热药液来强制性地降低经过过滤膜234的药液的粘度。更为具体地，加热器236对药液进行加热，以便使得药液具有第二粘度，所述第二粘度低于药液从过滤器外壳232外部向过滤器外壳232内部供给的第一粘度。此时，第一粘度和第二粘度可以是一个规定的粘度值，或者设定为规定的范围。
如上所述，在药液经过过滤膜234之前，将药液的温度加热至规定范围的温度，由此可以获得如下有利效果：可以强制性地降低药液的粘度，并且提高药液渗透到过滤膜234的效率，从而缩短以湿式状态对过滤膜234进行稳定化的预湿时间，降低药液的净化量。作为参考，参照图4可知，药液的粘度随着药液温度的升高而降低。
例如，参照图2，加热器236以浸渍于供给到过滤器外壳232内部的药液内部的形式安装于过滤器外壳232的内部，并且供给到过滤器外壳232内部的药液直接被加热器236加热。
再如，参照图3，加热器236构成为安装于过滤器外壳232外面并对过滤器外壳232进行加热，并且随着过滤器外壳232被加热器236加热，供给到过滤器外壳232内部的药液可以被加热。
此外，基板处理装置1包括：净化路线231，其连接于过滤器外壳232，对经过过滤膜234的药液进行净化。
如上所述，将净化路线231连接于过滤器外壳232，并且使得过滤器外壳232的药液在过滤器外壳232立刻被净化，由此可以获得如下有利效果：使得药液(未完全实现脱气的药液)所包含的气体残留于药液供给路线220或喷嘴单元400的现象最小化。
根据本实用新型的过滤单元230起到对药液中所包含的异物进行过滤的作用，同时也能够起到对药液中所包含的气体进行排除的作用。
例如，参照图5，基板处理装置1包括使得过滤器外壳232旋转的旋转模块，若药液装满于过滤器外壳232内部，则利用由过滤器外壳232旋转产生的离心力可以将气体从药液分离出来。
旋转模块构成为使得过滤器外壳232以旋转轴为中心高速旋转，本实用新型并不受旋转模块的种类及结构的限制或限定。
如上所述，随着过滤器外壳232高速旋转，离心力CF作用于装满过滤器外壳232内部的药液。此时，因为比重高的液态药液配置于旋转中心的外侧，比重低的气体配置于与旋转中心相邻近的内侧，所以气体G的约束力会变弱，因此可以有效地将药液中所包含的气体G从药液分离出来。
此外，第一排气路线238连接于过滤器外壳232，利用由过滤器外壳232的旋转产生的离心力从药液分离出来的气体通过第一排气路线238排出至过滤器外壳232的外部。
优选地，第一排气路线238同轴地配置于过滤器外壳232的旋转中心。这是因为，若离心力作用于药液，则比重低的气体配置于与旋转中心相邻近的内侧，因此利用离心力从药液分离出来，并且可以更加有效地对以邻近于旋转中心的形式配置于内侧的气体进行排出。
此外，施加真空压力的真空压力形成部238a连接于第一排气路线238，从药液分离出来的气体G因施加于第一排气路线238的真空压力而被吸入并排出。
而且，使得过滤器外壳232旋转从而使得离心力作用于药液，由此可以获得如下有利效果：更加提高过滤膜234的预湿效率，更加缩短预湿所需要的时间。
换句话说，在药液装满于过滤器外壳232内部的状态下，使得离心力作用于药液，由此可以获得如下有利效果：提高药液渗透到过滤膜234的渗透力，并且可以使得药液沿着过滤膜234的半径方向从过滤膜234的外侧(旋转中心的外侧)逐渐地向内侧渗透，所以更加缩短过滤膜234预湿所需要的时间，更加有效地抑制干性部位(药液未渗透的部位)残留于过滤膜234。
此外，参照图6，基板处理装置1包括：振动模块600，其向过滤器外壳232施加振动(或冲击)。
其目的在于，在药液装满过滤器外壳232内部的过程中，更加有效地去除残留于过滤器外壳232内壁面的气体。
换句话说，利用振动模块600，强制性地向过滤器外壳232施加振动，由此可以获得如下有利效果：有效地使得附着于过滤器外壳232内壁面的气体从过滤器外壳232内壁面分离。
换句话说，作为振动模块600，可以使用能够向过滤器外壳232施加振动或冲击的多种振动装置，本实用新型并不受振动模块600的种类及结构的限制或限定。
优选地，振动模块600构成为以0.01～1频率(Hz)使得过滤器外壳232振动。更为优选地，振动模块600构成为以0.1频率(Hz)使得过滤器外壳232振动。
此外，第二排气路线239连接于过滤器外壳232，过滤器外壳232的内部气体(例如，从过滤器外壳232内壁面分离出来的气体)通过第二排气路线239排出至过滤器外壳232外部。
优选地，施加真空压力的真空压力形成部239a连接于第二排气路线239，并且从药液分离出来的气体G通过施加到第二排气路线239的真空压力而被吸入并排出。
根据不同的情况，也能够构成为，从过滤器外壳内壁面分离出来的气体通过前面叙述的第一排气路线排出。
而且，向过滤器外壳232施加振动，由此可以获得如下有利效果：更加提高过滤膜234的预湿效率，更加缩短预湿所需要的时间。
换句话说，向过滤器外壳232施加振动，由此可以获得如下有利效果：也可以向装满于过滤器外壳232内部的药液施加振动，所以可以使得存在于过滤器外壳232内部的空气层更加迅速地上升，并且更加缩短过滤膜234的预湿所需要的时间。
另外，药液处理单元200可以包括：脱气模块240，其对药液中所包含的气体G进行排除(degassing)。
在此，所谓的对药液中所包含的气体G进行排除定义为，使得药液中所包含的气体G从药液分离出来并去除。
如上所述，在过滤单元230对药液中所包含的气体进行一次(或二次)排除，在脱气模块对药液中所包含的气体进行二次(或一次)排除，由此可以获得更加确实地对药液中所包含的气体进行排除的有利效果。
脱气模块240可以形成为能够对药液中所包含的气体G进行排除的多种结构，本实用新型并不受脱气模块240的结构及脱气方式的限制或限定。
例如，参照图7，脱气模块240包括：模块外壳242；膜管道244，其由气体G能够透过的材料形成，配置为穿过模块外壳242内部，并且用于供给药液；排气路线246，其连接于模块外壳242，将透过膜管道244的气体排出至模块外壳242的外部。
模块外壳242可以提供为在内部具有收容空间的筒状，并且模块外壳242的形状及结构可以根据所要求的条件及设计规范变更为多种。
膜管道244由气体G能够透过的材料形成，配置为穿过模块外壳242的内部，并且药液沿着膜管道244的内部被供给。
例如，膜管道244可以由中空纤维(hollowfiber)形成，中空纤维由醋酸纤维素、聚砜、聚酰亚胺、聚烯烃等形成。根据不同的情况，膜管道可以由其他材料形成，本实用新型并不受膜管道材料的限制或限定。
膜管道244的个数及排列可以根据所要求的条件及设计规范变更为多种。例如，四个膜管道244可以相隔开地沿着水平方向配置于模块外壳242内部。
排气路线246设置为将透过膜管道244的气体G排出至模块外壳242的外部。
例如，排气路线246可以连接于模块外壳242上端，并且通过排气路线246对透过膜管道244的气体G进行排出。
优选地，施加真空压力的真空压力形成部246a连接于排气路线246，从药液脱气的气体G(透过膜管道的气体)通过施加于排气路线246的真空压力而被吸入并排出。
此外，脱气模块240可以包括：加热器248，其在药液进入膜管道244之前对药液进行加热。
如上所述，通过在药液进入膜管道之前事先加热而降低药液的粘度，由此可以降低药液中所包含的气体的约束力，所以可以获得使得药液中所包含的气体更加有效地透过膜管道的有利效果。根据不同的情况，也能够构成为，加热器对模块外壳进行加热，通过被加热的模块外壳来加热药液。
作为参考，在以上所提到的及示出的本实用新型的实施例中，举例说明了沿着膜管道内部供给(内部贯穿)药液，药液中所包含的气体从膜管道内部向膜管道外部透过，但是根据不同的情况，也能够构成为，沿着膜管道外部供给药液(外部贯穿)，药液中所包含的气体从膜管道外部向膜管道内部透过。
再如，脱气模块构成为利用离心力将气体从药液分离出来。
更为具体地，参照图8，脱气模块240＇包括：模块外壳242＇，其用于供给药液；旋转体244＇，其在模块外壳242＇内部旋转，利用离心力CF使得药液紧贴于模块外壳242＇内面；排气路线246＇，其在药液紧贴于模块外壳242＇内面的过程中，将从药液分离出来的气体G排出至模块外壳242＇外部。
模块外壳242＇可以提供为在内部具有收容空间的筒状，并且模块外壳242＇的形状及结构可以根据所要求的条件及设计规范变更为多种。
旋转体244＇以能够旋转的形式安装于模块外壳242＇内部，并且使得药液在模块外壳242内部高速旋转。
作为旋转体244＇，可以使用能够使得药液旋转的多种旋转体244＇，本实用新型并不受旋转体244＇的种类及结构的限制或限定。
如上所述，使得旋转体244＇在模块外壳242＇内部旋转，从而使得药液利用离心力CF而紧贴于模块外壳242＇内面，由此可以将药液中所包含的气体G从药液分离出来。
换句话说，随着旋转体244＇的旋转，离心力CF作用于药液，使得药液以散开的同时形成非常薄的药液层的形式紧贴于模块外壳242＇内面。此时，因为比重高的液态药液配置于药液层的外侧，比重低的气体配置于药液层的内侧，所以气体G的约束力会变弱，因此药液中所包含的气体G可以有效地从药液分离出来。
排气路线246＇设置为将从药液分离出来的气体G排出至模块外壳242＇外部。
例如，排气路线246＇可以连接于模块外壳242＇的上端中央部，并且通过排气路线246＇对从药液分离出来的气体G进行排出。
优选地，向排气路线246＇施加真空压力的真空压力形成部246a＇连接于排气路线246＇，从药液分离出来的气体G通过施加到排气路线246＇的真空压力而被吸入并排出。
此外，脱气模块240＇可以包括：加热器248＇，其对模块外壳242＇进行加热。利用离心力CF而紧贴于模块外壳242＇内面的药液随着模块外壳242＇被加热器248＇加热而被加热。
如上所述，在药液利用离心力CF而紧贴于模块外壳242＇内面的过程中，通过对药液进行加热而降低粘度，由此可以获得如下有利效果：可以更加降低药液中所包含的气体的约束力，所以更加有效地分离出药液中所包含的气体。
作为参考，在以上所提到的及示出的本实用新型的实施例中，举例说明了，药液通过在模块外壳内部旋转的旋转体而紧贴于模块外壳内面，但是，根据不同的情况，也能够构成为，排除另外的旋转体，直接使得模块外壳旋转，从而利用模块外壳的离心力使得药液紧贴于模块外壳的内面。不同于此，也能够构成为，供给到模块外壳的药液沿着设置于模块外壳内部的倾斜引导面以薄薄地散开的状态向下流动的同时进行脱气。
另外，喷嘴单元400设置为将在药液处理单元200处理的药液涂布于基板10。
喷嘴单元400配置于基板10上部，从药液供给路线220获得药液供给并将药液PR涂布于基板10表面。例如，喷嘴单元400包括狭缝形态的狭缝喷嘴(未示出)，狭缝喷嘴具有与沿着与被处理基板10的移动方向直角交叉的方向的基板10宽度相对应的长度。
在此，通过喷嘴单元400涂布药液的区域可以是基板10的整个表面，也可以是分割为多个单元区域的一部分。
作为参考，通过基板移送部100沿着事先设定好的移送路径移送基板10。
例如，基板移送部100构成为使得基板10以悬浮于空中的状态进行移送。优选地，基板移送部100利用由超声波产生的振动能量来使得所述基板以悬浮的状态进行移送。
如上所述，利用由超声波产生的振动能量使得基板10悬浮，由此可以获得如下有利效果：可以精密地控制基板10的悬浮力，在运送基板10期间使得由外部接触导致的损伤及变形最小化。
尤其，在利用由超声波产生的振动能量的悬浮方式中，因为可以遍及整个基板10形成均匀的悬浮力，所以可以获得如下有利效果：在从喷嘴单元400涂布药液的涂布区域，更加准确地控制及保持相对于喷嘴单元400的基板的配置高度。
作为参考，在本实用新型的实施例中，举例说明了基板移送部100利用由超声波产生的振动能量来使得基板10悬浮，但是根据不同的情况，基板移送部也能够通过向基板的底面喷射流体(例如，气体)而使得基板悬浮。不同于此，也能够构成为以将基板安装于基板移送部的状态来移送基板。
更为具体地，基板移送部100是为了如下目的而设置的：利用由超声波产生的振动能量而使得基板10以悬浮的状态移送。
例如，基板移送部100包括多个振动板，多个振动板以相互隔开地配置的形式被独立地分割。在本实用新型的实施例中，举例说明了构成基板移送部的多个振动板沿着移送基板的方向被分割，但是根据不同的情况，也能够沿着与移送基板的方向相交叉的方向分割多个振动板。不同于此，基板移送部也能够仅由一个振动板构成。
在此，所谓的基板10悬浮是指，基板10以与振动板110上部具有规定间隔的形式悬浮于空中的状态，并且悬浮于振动板110上部的基板10以吸附或者支撑于沿着移送轨道122进行直线移动的移送部件120的状态被移送。
此外，所谓的多个振动板被独立地分割是指，多个振动板相互隔开地配置，并且由多个振动板产生的悬浮力分别单独地作用于基板10。
作为参考，基板移送部100包括：装载移送部，其用于装载基板10；处理移送部，其用于将药液涂布于基板10表面；卸载移送部，其用于卸载涂布有药液的基板10。
在清洗处理单元完成清洗工艺的基板10通过装载移送部移送至处理移送部，将药液涂布于移送至处理移送部的基板10的表面。之后，涂布有药液的基板10通过卸载移送部移送后，通过加热干燥单元被加热，从而使得药液干燥。
并且，移送部件120可以构成为沿着移送轨道122进行直线移动。例如，移送轨道122可以利用线性马达的原理进行驱动，N极和S极的永久磁铁交替地排列，能够通过施加到移送部件120线圈的电流控制来进行准确的位置控制。
此外，基板处理装置1包括：冷却部500，其将喷嘴单元400所涂布的药液的温度调节至规定的温度范围。
例如，冷却部500将药液的温度调节为低于第一温度的第二温度，第一温度是药液被加热单元加热的温度。优选地，将第一温度设定为高于常温。此时，第一温度和第二温度可以是一个规定的温度值，或者设定为规定的范围。
其目的在于，将喷嘴单元400涂布的药液调节至适合于工艺的工艺温度范围。换句话说，药液在通过药液处理单元200处理期间被加热单元300加热，所以药液温度变得高于规定的温度范围。如上所述，若药液温度高于规定的温度范围，则药液难以具有高粘度特性，因为药液粘度变低，所以发生药液流动，并且会降低涂覆质量。
但是，就本实用新型而言，喷嘴单元400涂布的药液被调节至规定范围的温度(调节为比第一温度低的第二温度)，由此可以获得如下有利效果：喷嘴单元400涂布的药液可以重新具有高粘度特性，提高药液涂覆膜的质量。
冷却部500、510＇可以根据所要求的条件及设计规范构成为在多个位置对药液的温度进行调节。
例如，参照图9，冷却部500设置于经过过滤单元230的药液的移动路径上，在药液到达喷嘴单元之前，调节药液的温度。更为具体地，冷却部500设置于药液供给路线220上，药液供给路线220将经过过滤单元230的药液供给到喷嘴单元400。
再如，参照图10，冷却部500＇安装于喷嘴单元400，可以在喷嘴单元400涂布药液之前，将药液的温度调节至规定的温度范围。
冷却部500、510＇可以利用如珀耳帖效应元件(Peltier effect device)一样的冷却元件，或者利用冷却水来调节药液的温度，并且本实用新型并不受利用冷却部500、510＇对药液的温度进行调节的方式的限制或限定。
在以上所提到的及示出的本实用新型的实施例中，举例说明了冷却部500、510＇构成为降低药液的温度，但是根据不同的情况，冷却部也能够构成为提高或保持药液的温度。
此外，根据本实用新型的过滤单元230以能够选择性地分离的形式结合于药液供给路线。
优选地，参照图11，过滤单元230在利用药液对过滤膜234进行的预湿完成的状态下被更换安装。
在此，所谓的过滤膜234是利用药液进行的预湿完成的状态定义为，在过滤膜234未留有干性部位(药液没有渗透的部位)，而是利用药液整体完成湿式化的状态。
如上所述，在要更换的过滤单元230事先被预湿的状态下，使得过滤单元230安装于设备(例如，药液供给路线)，由此可以获得如下有利效果：可以排除重新对设备及路线进行稳定化(去除设备及路线内部的空气层)的工艺，并且使得设备稳定化工艺所消耗的药液的净化量(使得包含气体的药液排出并废气的量)最小化。
换句话说，过滤单元提供为干性(dry)状态，所以具有如下问题：若在设备更换过滤单元，则要经过重新对设备进行稳定化的工艺。但是，就本实用新型而言，过滤单元230以事先预湿的状态安装于设备，由此可以获得排除由过滤单元230更换导致的设备的稳定化工艺的有利效果。
作为参考，在本实用新型中，可以将过滤单元230定义为对药液中所包含的异物进行过滤的同时供给药液的管道。
如上所述，参照本实用新型的优选实施例进行了说明，但是可以理解为，若是该技术领域的技术人员，则可以在没有脱离权利要求书中所记载的本实用新型的思想及领域的范围内使得本实用新型修改及变更为多种。
标号说明
100：基板移送部 200：药液处理单元
210：罐 220：药液供给路线
230：过滤单元 232：过滤器外壳
234：过滤膜 236：加热器
238：第一排气路线 239：第二排气路线
240、240＇：脱气模块 400：喷嘴单元
500、500＇：冷却部 600：振动模块