一种背接触异质结N型单晶硅太阳电池的制作方法

文档序号:16917712发布日期:2019-02-19 19:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种背接触异质结N型单晶硅太阳电池,其特征在于,包括:

一N型单晶硅基体(1),所述N型单晶硅基体(1)具有相对的一正面和一背面;

依次设于所述N型单晶硅基体(1)正面的本征非晶硅前钝化层(2)、正面N型非晶硅层(3)和减反层(4);

依次沉积于所述N型单晶硅基体(1)背面的掺杂N+层(5)和本征非晶硅背钝化层(6);

间隔设于所述本征非晶硅背钝化层(6)上的背面N型非晶硅层(7)和P型非晶硅层(8);

设于所述背面N型非晶硅层(7)和所述P型非晶硅层(8)上的接触层(9);

设于所述背面N型非晶硅层(7)和所述P型非晶硅层(8)之间的绝缘隔离层(10)。

2.根据权利要求1所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述掺杂N+层(5)设有多个,多个所述掺杂N+层(5)依次间隔排布。

3.根据权利要求2所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,每一所述掺杂N+层(5)与一所述背面N型非晶硅层(7)相对。

4.根据权利要求1~3任意一项所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述掺杂N+层(5)为轻掺杂N+层,所述掺杂N+层(5)的表面掺杂浓度小于1×1018cm-3,扩散深度为0.2~1μm。

5.根据权利要求4所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述N型单晶硅基体(1)电阻率为0.5~10Ω·cm,厚度为100~300μm。

6.根据权利要求4所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述本征非晶硅前钝化层(2),和/或本征非晶硅背钝化层(6),和/或所述正面N型非晶硅层(3)的厚度为1~15nm。

7.根据权利要求6所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述减反层(4)为氧化物、氮化物的一种或两种的组合,所述减反层(4)厚度为50~200nm。

8.根据权利要求7所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述P型非晶硅层(8)的厚度为10~100nm,宽度为100~1000μm。

9.根据权利要求4所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述接触层(9)由透明导电薄膜与金属电极叠层组成。

10.根据权利要求9所述的N型单晶硅太阳电池,其特征在于,所述透明导电薄膜包括锡掺杂的In2O3和铝掺杂的ZnO,所述金属电极为银、铜或铝。

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