一种扩散炉桨调试工装治具的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，尤其涉及一种扩散炉桨调试工装治具。

背景技术：

随着太阳能市场的变化，降本增效将成为行业内具有竞争及生产规则。扩散工序作为电池片生产过程中重要环节，量化指标表现为方块电阻，能否生产出良好规格的方块电阻，扩散设备内的石英件(例如进气喷淋管、用于固定进气喷淋管的吊环等)占重要作用。石英件在生产过程中受偏磷酸、硅片、三氯氧磷等杂质污染，容易造成脏污、尾气管堵塞、喷淋管偏磷酸滴液、石英件偏磷酸腐蚀等异常，从而导致扩散方块电阻偏大、偏小等不良产品。故而需要定期对扩散炉管内的石英件进行拆洗维护清洗、重新安装调试，以保证后续石英舟通过桨送入扩散炉管内时，石英舟内的硅片及石英舟自身不会碰撞石英件。因此，石英炉管安装及桨位调试是维护清洗安装过程及后续设备能否正常运行的重要环节，调试过程如下：

1、空载调试：安装石英炉管，使用一个石英舟托承托两个石英舟，两个石英舟上放置硅片，再将石英舟托放置在桨上，通过桨运行至石英炉管内，进行空载(石英舟前后各放置两片硅片)调试，避免硅片撞击吊环，同时确认石英舟舟脚高位时无碰擦石英炉管，低位出桨时，桨无碰擦石英舟托现象，进桨时同样无碰擦石英舟状况。

2、满载调试：安装石英炉管，使用一个石英舟托承托两个石英舟，两个石英舟放置硅片，放置桨上，运行至石英炉管内，进行满载(例如石英舟放满800片硅片)调试，避免硅片撞击吊环，同时确认石英舟舟脚高位时无碰擦石英炉管，低位出桨时，桨无碰擦石英舟托现象，进桨时同样无碰擦石英舟状况。

上述调试过程中，由于硅片放置调试，遮挡调试人员视线，故不能直观查看桨上石英舟托及石英舟与石英炉管之间有效安全间距，故调试人员完全凭借经验和感觉进行判断，容易导致石英件损坏，硅片碎片等异常损失，后续生产过程中频繁出现撞舟、硅片碎片等情况发生。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种扩散炉桨调试工装治具，在调试时能够直观地查看桨上石英舟托与石英炉管之间的有效安全间距，便于调试，调试成功率高。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种扩散炉桨调试工装治具，包括石英舟托，还包括：

两个第一检测件，所述第一检测件为板状结构，两个所述第一检测件可拆卸地竖向设置于所述石英舟托上靠近两端位置处；及

第二检测件，所述第二检测件为长条块状结构，可拆卸地设置于所述石英舟托上且位于两个所述第一检测件之间；

其中，所述第一检测件及所述第二检测件均由透明材质制成。

作为优选，所述第一检测件及所述第二检测件由石英制成。

作为优选，所述第一检测件的顶面所在高度等于硅片放置在所述石英舟托上时的顶面所在高度。

作为优选，所述第二检测件的顶面所在高度低于所述第一检测件的顶面所在高度。

作为优选，所述第一检测件的板面形状为矩形。

作为优选，所述第一检测件的板面形状为T型。

作为优选，所述石英舟托的承载面上设置有用于固定所述第一检测件的固定部。

作为优选，所述固定部为凹槽，所述凹槽的槽宽大于或等于所述第一检测件的厚度。

作为优选，所述第二检测件的重量等于所述石英舟托上的石英舟满载硅片时的重量。

作为优选，所述第二检测件沿自身长度方向上的截面形状为矩形或T型。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供了一种扩散炉桨调试工装治具，包括石英舟托、两个第一检测件以及第二检测件，空载调试时，仅在石英舟托上靠近两端位置处设置两个第一检测件；满载测试时，所述石英舟托上同时设置第二检测件及两个第一检测件。由于第一检测件及第二检测件均由透明材质制成，在调试时能够直观地查看桨上石英舟托与石英炉管之间的有效安全间距，便于调试，调试成功率高。

附图说明

图1是本实用新型提供的扩散炉桨调试工装治具在空载测试时的结构示意图；

图2是本实用新型提供的扩散炉桨调试工装治具在满载测试时的结构示意图。

图中：

1、石英舟托；11、底板；12、侧板；13、侧杆；14、舟脚；15、凹槽；2、第一检测件；3、第二检测件。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实用新型提供了一种扩散炉桨调试工装治具，如图1所示，该扩散炉桨调试工装治具包括石英舟托1，石英舟托1包括底板11、设置于底板11两侧的侧板12以及两个连接于两个侧板12之间的侧杆13，底板11的底部设置有舟脚14。在扩散工序时，石英舟托1用于承托石英舟，石英舟上放置有硅片，石英舟托1通过桨来带动进入扩散炉管内。在扩散设备使用一段时间后需要将内部的进气喷淋管、用于固定进气喷淋管的吊环等石英件进行拆洗，拆洗完成后需要进行安装调试。

调试过程包括空载调试和满载调试，分别在石英舟托1空载和满载时测试石英舟托1及桨是否会与石英炉管发生碰撞、硅片是否会撞击吊环、桨撤出时是否会与石英舟托1发生碰撞。若产生碰撞，则石英炉管内各石英件的安装位置以及对桨位进行调整，保证后续进行扩散工艺时异常碰撞的发生。

为了进行空载调试，本实用新型提供的扩散炉桨调试工装治具包括两个第一检测件2，参照图1所示，第一检测件2为板状结构，两个第一检测件可拆卸地竖向设置于石英舟托1上靠近两端位置处。第一检测件2竖放时，其顶面所在高度等于硅片竖向放置在石英舟托1上时的顶面所在高度。在进行空载测试时，通过桨将设置有第一检测件2的石英舟托1送入扩散炉管，若第一检测件2与扩散炉管的管壁或扩散炉管内的石英件发生碰撞，则适当地调整扩散炉管的安装结构以及桨位，多次调整后保证不发生碰撞现象，完成空载调试。

在进行空载调试时，为了便于观察碰撞情况，以便针对性地进行调整，第一检测件2由透明材质制成，不会对调试人员的视线造成阻挡，在调试时能够直观地查看桨上石英舟托1与石英炉管之间有效安全间距，便于调试，调试成功率高。具体地，第一检测件2可以由石英制成。石英具有透明的特性，且具有稳定的物理性质和化学性质，使用寿命较长。

在本实施例中，第一检测件2的板面形状可以为矩形，例如长方形、正方形；第一检测件2的板面形状还可以为T型，仅需满足具有一个水平顶面，且顶面所在高度等于硅片放置在石英舟托1上时的顶面所在高度即可。

由于第一检测件2竖向设置于石英舟托1上，为了保证第一检测件2不倾倒，在石英舟托1的承载面(即底板11的上表面)上设置有用于固定第一检测件2的固定部。优选地，固定部为凹槽15，凹槽15的槽宽大于或等于第一检测件2的厚度。凹槽15的加工方便，且能够有效地稳固第一检测件2，避免第一检测件2倾倒。

空载测试完成后，需要进行满载测试，当石英舟托1满载时，会因重量加大而产生变形，若只按照空载时的调试结果，容易与满载时的状态发生误差，造成碰撞现象的产生。因此，本实用新型提供的扩散炉桨调试工装治具还包括第二检测件3，第二检测件3为长条块状结构，可拆卸地设置于石英舟托1上且位于两个第一检测件2之间，第二检测件3的重量等于石英舟托1上的石英舟满载硅片时的重量。第二检测件3的顶面所在高度低于第一检测件的顶面所在高度。第二检测件3用于配重，能够模拟石英舟托1满载时的情况。

在进行满载调试时，为了便于观察碰撞情况，以便针对性地进行调整，第二检测件3由透明材质制成，不会对调试人员的视线造成阻挡，在调试时能够直观地查看桨上石英舟托1与石英炉管之间有效安全间距，便于调试，调试成功率高。具体地，第二检测件3可以由石英制成。石英具有透明的特性，且具有稳定的物理性质和化学性质，使用寿命较长。

在本实施例中，第二检测件3沿自身长度方向上的截面形状可以为矩形，例如长方形、正方形；此外还可以为T型，仅需满足其质量沿长度方向上的较均匀即可，以模拟硅片均匀码放的受力情况。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。