一种硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构的制作方法

文档序号:18020698发布日期:2019-06-26 01:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构,其特征在于,包括:

芯片;

介质材料块,所述介质材料块与所述芯片相邻;

塑封材料,所述塑封材料包封所述芯片和所述介质材料块,

其中所述芯片具有第一表面和第二表面,所述第一表面上具有有源区以及至少两个焊盘,每个焊盘上具有凸点,所述凸点的顶面、介质材料块的顶面以及塑封材料的顶面齐平,构成一个平面,所述凸点的顶面和塑封材料的顶面上设置有第一导电线路,介质材料块的顶面上设置有第二导电线路和/或器件,所述第一导电线路与所述第二导电线路和/或器件电连接,

所述第二表面与所述第一表面相对,所述第二表面与塑封材料的背面齐平,且重布线层和外接焊盘分布在第二表面和塑封材料的背面上,所述重布线层通过一个或多个TSV孔与所述凸点中的一个或多个形成电连接,其中TSV孔从所述第二表面延伸到对应凸点的焊盘,并且TSV孔内部填充有导电金属。

2.如权利要求1所述的硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构,其特征在于,所述凸点包括用于高频信号传输的凸点和用于低频信号传输的凸点。

3.如权利要求1所述的硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构,其特征在于,还包括设置在所述外接焊盘上的焊球。

4.如权利要求1所述的硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构,其特征在于,所述第二导电线路是高频信号线。

5.如权利要求1所述的硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构,其特征在于,所述器件是电感、电容或天线。

6.如权利要求4或5所述的硅刻蚀通孔的扇出型晶圆级封装结构,其特征在于,介质材料块是低导电率材料。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1