一种键合用吸附模具的制作方法

文档序号:18090255发布日期:2019-07-06 10:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种键合用吸附模具,包括下模座(1)和上模板(2),所述下模座(1)的上表面开设有真空腔(11),所述真空腔(11)的内底面上开设有抽气孔(12),所述上模板(2)盖在下模座(1)的上表面且上模板(2)的上表面开设有连通真空腔(11)的吸附孔(21),其特征在于,所述上模板(2)的上表面开设有定位槽(22),所述定位槽(22)的底面上开设有气体流道(23),所述吸附孔(21)开设在定位槽(22)的底面上并与气体流道(23)连通。

2.根据权利要求1所述的一种键合用吸附模具,其特征在于,所述气体流道(23)具有若干条,若干条气体流道(23)呈辐射状布置,每条气体流道(23)的一端均与吸附孔(21)相连通。

3.根据权利要求2所述的一种键合用吸附模具,其特征在于,所述每条气体流道(23)的外端均延伸至定位槽(22)的边沿处。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种键合用吸附模具,其特征在于,所述上模板(2)的上表面位于定位槽(22)的左右侧处均开设有凹槽(24),所述凹槽(24)与定位槽(22)相连通。

5.根据权利要求4所述的一种键合用吸附模具,其特征在于,所述凹槽(24)的深度大于定位槽(22)的深度。

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