技术特征：
技术总结
一种高性能锆钛酸铅压电薄膜底电极的制备方法，属于薄膜压电材料制备领域。制备步骤包括：1)在SiO2/Si衬底上磁控溅射制备得到Pt‑Ti/Ti/SiO2/Si底电极材料；2)以乙酸铅、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，乙二醇甲醚为溶剂，制备化学式为Pb(ZryTi1‑y)O3的锆钛酸铅前驱体溶液；3)将锆钛酸铅前驱体溶液分别沉积在Pt‑Ti/Ti/SiO2/Si和Pt/Ti/SiO2/Si底电极上，并进行热处理，重复沉积和热处理步骤若干次后得到(100)择优取向的锆钛酸铅压电薄膜。本发明的制备方法能够制得(100)择优取向度高的锆钛酸铅压电薄膜。
技术研发人员：韩梅;王兴;王富安;王力成
受保护的技术使用者：大连瑞林数字印刷技术有限公司;大连思普乐信息材料有限公司
技术研发日：2019.05.22
技术公布日：2019.08.09