技术特征：
技术总结
本发明涉及一种线圈以及其制作方法。所述线圈的制作方法包括：在圆片的第一表面沉积金属并图形化得到第一表面图形化金属；在所述圆片的第二表面蚀刻通孔，所述通孔从第二表面延伸至第一表面；在刻蚀有所述通孔的圆片的第二表面沉积金属并图形化得到通孔金属以及第二表面图形化金属；对所述圆片进行划片得到多个相互独立的线圈，其中每个线圈包括第一表面图形化金属、通孔金属以及第二表面图形化金属，其中第一表面图形化金属通过所述通孔金属与第二表面图形化金属互连。本发明中的制作方法，可以通过圆片工艺,批次性高效,低成本制作高精度的线圈，该线圈可以用于生成或者感应电磁场。
技术研发人员：蒋乐跃;李大来;亚历克斯·瑞宾斯基
受保护的技术使用者：新纳传感系统有限公司
技术研发日：2019.07.30
技术公布日：2019.11.05