技术总结
本申请实施例提供了一种抽气装置、抽气方法以及多腔等离子体处理器，抽气装置包括：真空泵、摆阀、混合腔以及混合腔中的分隔部件，分隔部件将混合腔分为多个子腔体，每一个子腔体分别连接一个待处理腔体，摆阀连接混合腔和真空泵，摆阀包括阀板和摆阀主体，分隔部件与摆阀连接，在摆阀具有摆阀开口时，分隔部件将摆阀开口分为多个子开口，每一个子开口分别正对一个子腔体，摆阀开口由阀板相对于摆阀主体的旋转形成，分隔部件的形状根据阀板的旋转路径确定。该装置根据阀板的旋转路径确定分隔部件的形状，从而确定摆阀开口中与子腔体正对的子开口的面积，进而利用真空泵为与子腔体连接的待处理腔体提供低气压，提高腔体环境的稳定性。
技术研发人员：倪图强;左涛涛;吴狄;王凯麟;黄秋平
受保护的技术使用者：中微半导体设备(上海)股份有限公司
技术研发日：2019.12.16
技术公布日：2021.06.18