1.一种安装工具，用于静电吸盘的安装，其特征在于，所述安装工具包括：
一环形架，所述环形架上设有多个安装孔，多个所述安装孔沿所述环形架的周向设置；
多个挂钩，均布于所述环形架的周向外侧，所述挂钩包括钩挂部，所述多个挂钩的所述钩挂部朝向所述环形架的同一面；
一环形凸缘，设置于所述环形架的与所述钩挂部同向的一面的外沿。
2.根据权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述挂钩包括突出部，所述突出部一端自所述环形架的周向外侧径向伸出，另一端连接所述钩挂部。
3.根据权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述钩挂部包括垂直部及水平部；
所述垂直部的一端连接所述突出部，另一端连接所述水平部；
所述水平部一端连接所述垂直部远离所述突出部的一端，并向所述环形架方向延伸。
4.根据权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述水平部的长度与所述突出部长度相同。
5.根据权利要求4所述的安装工具，其特征在于，所述水平部朝向所述环形架的一端具有第一弧面，所述第一弧面与所述环形架外周面延伸形成的柱面适配；
所述水平部背向所述环形架的一端具有第二弧面。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的安装工具，其特征在于，所述水平部设置有与所述环形架周向同心的弧形孔。
7.根据权利要求6所述的安装工具，其特征在于，所述安装工具用于将所述静电吸盘安装到一腔体，所述弧形孔的位置及尺寸与所述腔体内的定位销位置及尺寸适配。
8.根据权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述挂钩设置有三个。
9.根据权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述静电吸盘包括分气盘，所述环形凸缘的内径与所述分气盘适配。
10.根据权利要求5所述的安装工具，其特征在于，所述静电吸盘包括圆环形的上电极，所述环形凸缘的外径与所述上电极的内径适配。