一种光罩及其制备方法与流程

本申请涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种光罩及其制备方法。

背景技术：

现行oled封装制程中紫外光固化使用高压汞灯，高压泵灯产生的紫外光看上去亮度很亮，热量很高，其实它的光谱很宽，真正在有效固化作用的紫外光谱段只占其一部分的能量，有相当大一部分是在可见光段和产生热量，对操作者的眼睛损伤严重，并且容易使有机功能层劣化，且汞灯长时间照射产生的热量使环境温度及光罩温度上升，对产品造成不良影响。

因此，确有必要来开发一种新型的光罩，以克服现有技术的缺陷。

技术实现要素：

本发明的一个目的是提供一种光罩，其能够解决现有技术中封装制程中紫外光固化使用高压汞灯时产生的对操作者的眼睛损伤严重，并且容易使有机功能层劣化的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种光罩，其包括光罩本体；散热层，设于所述光罩本体表面；反射层，设于所述散热层上。

在光罩本体上设置一层散热层，能够降低汞灯长时间照射造成的光罩温度的上升，提高产品的良率；另一方面，在散热层上设置一层反射层，可以根据需要设置反射层通过特定波长的光，能够反射掉汞灯发射出的没有固化作用波段的紫外光和对操作者的眼睛有损伤的可见光。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述光罩本体的材料采用石英。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述散热层的材料采用透明石墨烯。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述散热层的透光率大于90％。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述反射层采用分布式布拉格反射镜，所述反射层反射波长范围在0-350nm和370nm-400nm的光。在其他实施方式中，所述反射层也可以通过设置膜厚来设置反射其他波长范围的光，可随需要而定，在此不做限定。

进一步的，在其他实施方式中，其中根据需求在所述反射层上设置图案层。

为实现上述目的，本发明还提供一种备方法，用以制备本发明涉及的所述光罩，所述制备方法包括以下步骤：提供一光罩本体，制备散热层于所述光罩本体表面；制备反射层于所述散热层上。

进一步的，在其他实施方式中，其中，制备反射层的步骤后还包括制备图案层于所述反射层上。

进一步的，在其他实施方式中，其中，通过喷墨打印方法或化学气相沉积方法制备所述散热层于所述光罩本体上。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述喷墨打印方法制备所述散热层包括将透明石墨烯材料与溶剂形成溶液，以喷墨方式打印在所述光罩本体表面。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述化学气相沉积方法制备所述散热层包括将碳氢气体吸附在具有催化活性的金属表面，通过高温加热使得所述碳氢气体脱氢，制得石墨烯散热层。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述碳氢气体采用乙炔或乙烯，具有催化活性的金属采用铜金属或镍金属。

进一步的，在其他实施方式中，其中通过镀膜沉积方式制备反射层于所述散射层上。

相对于现有技术，本发明的有益效果在于：本发明提供一种光罩及其制备方法，在光罩本体上设置一层散热层，能够降低汞灯长时间照射造成的光罩温度的上升，提高产品的良率；另一方面，在散热层上设置一层反射层，可以根据需要设置反射层通过特定波长的光，能够反射掉汞灯发射出的没有固化作用波段的紫外光和对操作者的眼睛有损伤的可见光。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本发明实施例提供的光罩的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的光罩的制备方法的流程图。

附图说明：

光罩-100；

光罩本体-110；

散热层-120；反射层-130；

图案层-140。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本发明实施例提供一种光罩100，请参阅图1，图1所示为本发明实施例提供的光罩的结构示意图，其包括光罩本体110、散热层120、反射层130和图案层140。

散热层120设于所述光罩本体110的表面，在光罩本体上设置一层散热层，能够降低封装制程时，汞灯长时间照射造成的光罩温度的上升，提高产品的良率。

反射层120设于所述散热层110上，在散热层110上设置一层反射层120，可以根据需要设置反射层通过特定波长的光，能够反射掉汞灯发射出的没有固化作用波段的紫外光和对操作者的眼睛有损伤的可见光。

图案层140设置在所述反射层130上，所述图案层140的图案是根据具体需求设置的，不同的需求对应不同的图案，随需要而定，在此不做限定。

其中所述光罩本体110的材料采用石英，所述散热层110的材料采用透明石墨烯，所述散热层110的透光率大于90％。

其中所述反射层120采用分布式布拉格反射镜，在本实施例中，所述反射层120反射波长范围在0-350nm和370nm-400nm的光。在其他实施方式中，所述反射层120也可以通过设置膜厚来设置反射其他波长范围的光，可随需要而定，在此不做限定。

本发明还提供一种备方法，用以制备本发明涉及的所述光罩100，请参阅图2，图2为本发明实施例提供的光罩的制备方法的流程图，所述制备方法包括步骤1-步骤4。

步骤1：提供一光罩本体。

步骤2：制备散热层于所述光罩本体表面。

其中所述光罩本体的材料采用石英。

具体地，通过喷墨打印方法或化学气相沉积方法制备所述散热层于所述光罩本体上。

其中所述喷墨打印方法制备所述散热层包括将透明石墨烯材料与溶剂形成溶液，以喷墨方式打印在所述光罩本体表面；所述化学气相沉积方法制备所述散热层包括将碳氢气体吸附在具有催化活性的金属表面，通过高温加热使得所述碳氢气体脱氢，制得石墨烯散热层。

其中所述碳氢气体采用乙炔或乙烯，具有催化活性的金属采用铜金属或镍金属。

所述散热层的透光率大于90％。

步骤3：制备反射层于所述散热层上。

其中通过镀膜沉积方式制备反射层于所述散射层上。所述反射层采用分布式布拉格反射镜，在本实施例中，所述反射层反射波长范围在0-350nm和370nm-400nm的光。在其他实施方式中，所述反射层120也可以通过设置膜厚来设置反射其他波长范围的光，可随需要而定，在此不做限定。

步骤4：制备图案层于所述反射层上。

相对于现有技术，本发明的有益效果在于：本发明提供一种光罩，在光罩本体上设置一层散热层，能够降低汞灯长时间照射造成的光罩温度的上升，提高产品的良率；另一方面，在散热层上设置一层反射层，可以根据需要设置反射层通过特定波长的光，能够反射掉汞灯发射出的没有固化作用波段的紫外光和对操作者的眼睛有损伤的可见光。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的一种光罩及其制备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。