一种非接触式搬运晶元的机构的制作方法

文档序号:24123710发布日期:2021-03-02 12:31阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种非接触式搬运晶元的机构,其特征在于:包括取片机构(1);所述取片机构(1)包括机械手末端执行器(11)、进气管(12)和管道(13);所述机械手末端执行器(11)整体呈扁平状,机械手末端执行器(11)的一端呈字母“u”形状,机械手末端执行器(11)的一端开口朝向外界,机械手末端执行器(11)的一端部位开设凹部(111);所述凹部(111)用于承载被搬运的晶元(2),凹部(111)内边缘位置开设多个吹气孔(112),且每个吹气孔(112)与进气管(12)的一端连通;所述进气管(12)固接在机械手末端执行器(11)的另一端上板面,且进气管(12)的另一端通过管道(13)连通外界鼓气设备。2.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运晶元的机构,其特征在于:所述凹部(111)的形状与被搬运晶元(2)的形状相适配。3.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运晶元(2)的机构,其特征在于:所述凹部(111)的内侧壁与被搬运晶元(2)的外边缘间隙配合。4.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运晶元的机构,其特征在于:所述机械手末端执行器(11)的一端每个分支上各自均匀开设两个吹气孔(112);所述凹部(111)内底面靠近进气管(12)的部位均匀开设四个吹气孔(112)。5.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运晶元的机构,其特征在于:所述管道(13)上设有气压监控设备(131);所述气压监控设备(131)用于检测管道(13)内气压变化。6.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运晶元的机构,其特征在于:所述凹部(111)内部开设多条气道(113);所述气道(113)连通吹气孔(112)与进气管(12)。
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