1.一种p型背面定域掺杂电池的制备方法,其特征在于,步骤为:
第一步:对p型晶体硅(1)进行清洗后,采用pe-ald的方式,通入三甲基铝与臭氧沉积超薄隧穿层(2);
第二步:采用pecvd的方式,通入硅烷、硼烷或镓烷与氢气离化沉积掺硼/镓非晶硅薄膜;
第三步:采用纳秒绿光激光或者纳秒红外激光对电池背面进行局部掺杂,形成背面局部p+掺杂区(5);
第四步:使用高温炉管,在氮气氛围下进行退火处理,退火温度控制在850-950℃,退火时间控制在20-30min,使硼/镓非晶硅薄膜晶化成掺硼/镓多晶硅薄膜(3);
第五步:采用hf清洗掉掺硼/镓多晶硅薄膜(3)表面的氧化层;
第六步:采用采用pecvd的方式在掺硼/镓多晶硅薄膜(3)表面沉积一层氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜、氮氧化硅薄膜中的一种单层膜或几种的叠层膜的钝化减反射层(4);
第七步:采用丝网印刷方法先在钝化减反射层(4)表面激光掺杂重合区域印刷烧穿型铝线铝浆形成背面铝电极(7),再并进行烧结,形成铝硅合金(6)。
2.根据权利要求1所述的一种p型背面定域掺杂电池的制备方法,其特征在于:所述第一步中超薄隧穿层(2)为二氧化硅、氧化铝和氮氧化硅中的单层膜或者几种叠层膜,厚度为1nm-3nm。
3.根据权利要求1所述的一种p型背面定域掺杂电池的制备方法,其特征在于:所述第二步中掺硼/镓非晶硅薄膜的厚度为10nm-500nm。
4.根据权利要求1所述的一种p型背面定域掺杂电池的制备方法,其特征在于:所述第三步中背面局部p+掺杂区(5)采用纳秒绿光或者纳秒红外激光将掺硼/镓非晶硅薄膜中的硼/镓杂质烧结进硅片内,激光功率控制在10w~30w,以5bb电池为例,激光掺杂的线条数量为50~200根;掺杂区域的硼/镓杂质表面浓度达到1e18cm-3~5e19cm-3,结深为0.1~2μm。
5.根据权利要求1所述的一种p型背面定域掺杂电池的制备方法,其特征在于:所述第六步中钝化减反射层(4)为二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、氮氧化硅薄膜中的一种单层膜或几种的叠层膜,厚度为20nm~300nm。
6.根据权利要求1所述的一种p型背面定域掺杂电池的制备方法,其特征在于:所述第七步中背面铝电极(7)采用烧穿型铝线铝浆通过丝网印刷的方式印刷到钝化减反射层(4)表面,电极图形与激光掺杂的图形重合,烧结后,铝浆与背面局部p+掺杂区(5)形成铝硅合金(6)。
7.一种由权利要求1-6任一制备方法制备得到的p型背面定域掺杂电池。
8.根据权利要求7所述的p型背面定域掺杂电池,其特征在于:所述p型背面定域掺杂电池包括背面采用掺硼/镓多晶硅中的硼/镓作为杂质源,通过激光烧结掺杂的方式,把硼/镓杂质掺入体内形成局部背场。