晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板的制作方法

[0001]
本实用新型涉及晶圆加工领域，进一步地涉及一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板。


背景技术：

[0002]
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基底)。由于是晶体材料，其形状又通常为圆形，所以称之为晶圆。在晶圆(比如硅晶片)上能够加工制作成各种电路元件的结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
[0003]
随着科技的不断发展，各类电子产品发展迅速，并且需求在不断增大，直接地导致晶圆需求的增多。晶圆加工设备是对晶圆进行涂胶、蚀刻、显影等处理的关键设备。
[0004]
可以理解的是，晶圆加工设备往往集成多个处理单元，往往需要使用一台晶圆加工设备进行多个晶圆的处理步骤。在使用晶圆加工设备进行晶圆加工之前或者晶圆加工的过程中，往往要对晶圆加工设备的处理单元进行调试和调整，以提高晶圆加工处理的精度。在现有晶圆加工设备中，由于晶圆加工设备工作原理和过程的限制，晶圆加工设备的主操作屏幕往往与窗口之间具有较远的距离，操作人员不能够在观察晶圆加工设备内部处理单元的工作情况的同时操作主操作屏幕对晶圆加工设备内部处理单元进行调试和调整，给调整和调试的过程带来极大的不便利性，并且会降低晶圆加工设备的调试精度。
[0005]
综上所述，需要对传统晶圆加工设备进行改进。


技术实现要素：

[0006]
为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板，操作者能够在观察晶圆加工设备的内部处理单元工作情况的同时操作控制件对晶圆加工设备的内部处理单元的工作，提高操作的便利性与精确度。
[0007]
为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆加工设备的前盖板，包括：
[0008]
盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述窗口的透明板，透过所述透明板能够观察晶圆加工设备的至少一个处理单元的工作情况；
[0009]
辅助控制件，所述辅助控制件安装于所述盖板主体的所述辅助操控部，通过所述辅助控制件能够控制至少一所述处理单元的工作。
[0010]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述辅助控制件包括一个辅助操作屏，所述辅助操作屏可工作地连接于至少一所述处理单元，通过所述辅助操作屏能够操控至少一所述处理单元。
[0011]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述辅助控制件包括至少一个调速开关，所述调速开关适于可工作地连接于晶圆加工设备的主控制单元，用于调节晶圆加工设备的运行速度。
[0012]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述辅助控制件包括一组应急处理件，所述一组应急处理件适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的至少一个处理单元，通过所述应急处理件能够紧急制动对应的至少一所述处理单元。
[0013]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述应急处理件中的一个是第一应急开关，所述第一应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的旋转处理单元，通过所述第一应急开关能够紧急制动所述旋转处理单元。
[0014]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述应急处理件中的一个是第二应急开关，所述第二应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的装载处理单元，通过所述第二应急开关能够紧急制动所述装载处理单元。
[0015]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述应急处理件中的一个是第三应急开关，所述第三应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的主处理单元，通过所述第三应急开关能够紧急制动所述主处理单元。
[0016]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述窗口部包括第一窗口部和第二窗口部，所述第一窗口部和所述第二窗口部分别位于所述辅助操控部的上下两侧。
[0017]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述辅助操控部内安装有连接线路，供所述辅助控制件与所述晶圆加工设备的处理单元连接。
[0018]
根据本实用新型的另一方面，本实用新型进一步提供一种晶圆加工设备，包括：
[0019]
上述任一项所述的晶圆加工设备的前盖板；
[0020]
晶圆加工设备主体；
[0021]
主控制单元，所述晶圆加工设备的前盖板和所述主控制单元分别安装于所述晶圆加工设备主体，并且所述主控制单元可工作地连接于所述晶圆加工设备的前盖板的所述辅助控制件。
[0022]
在本实用新型的一些优选实施例中，所述晶圆加工设备包括工艺加工区域和晶圆取放区域，所述前盖板安装于所述工艺加工区域，所述主控制单元安装于所述晶圆取放区域。
[0023]
本实用新型方案包括以下至少一项有益效果：
[0024]
1、辅助控制件与窗口部相邻设置，从而能够在透过窗口部观察晶圆加工设备的至少一处理单元的工作情况的同时操作辅助控制件控制相应的所述处理单元的运行，能够提高操控的便利性与精确度。
[0025]
2、晶圆加工设备的前盖板具有多个应急处理件，应急处理件能够紧急制动相应的处理单元，以防止处理单元在工作过程中发生故障导致处理单元发生损坏；多个应急处理件与辅助控制件的窗口部相邻设置，从而能够在透过窗口部观察晶圆加工设备的至少一处理单元发生故障时，操作相应的所述应急处理件工作，使得相应的处理单元紧急制动，从而能够提高应对故障的响应速度。
附图说明
[0026]
下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本实用新型方案、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0027]
图1是本实用新型的一个优选实施例的晶圆加工设备的前盖板的正面结构示意
图；
[0028]
图2是本实用新型的上述优选实施例的晶圆加工设备的框图结构示意图；
[0029]
图3是本实用新型的一个优选实施例的晶圆加工设备的整体结构示意图。
[0030]
附图标号说明：
[0031]
1前盖板，2晶圆加工设备主体，11盖板主体，12辅助控制件，111窗口部，121辅助操作屏，112操控部，122调速开关，123应急处理件，21处理单元，22主控制单元， 23旋转处理单元，24装载处理单元，25主处理单元，26主操控屏，1111窗口，1112透明板，1113第一窗口部，1114第二窗口部，1221第一调速开关，1222第二调速开关，1231 第一应急开关，1232第二应急开关，1233第三应急开关。
具体实施方式
[0032]
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0033]
为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。
[0034]
实施例一
[0035]
参考说明书附图1至图2，本实用新型的第一优选实施例提供一种晶圆加工设备的前盖板1，所述前盖板1适于安装于晶圆加工设备主体2，以使得所述晶圆加工设备主体2 的一个操作空间能够与外界环境相隔离。
[0036]
所述前盖板1包括一个盖板主体11和一个辅助控制件12，所述盖板主体11具有一个窗口部111和一个辅助操控部112，所述窗口部111与所述辅助操控部112相邻设置，所述盖板主体11还具有形成于所述窗口部111的至少一个窗口1111和至少一个透明板1112，所述透明板1112安装于所述窗口1111，透过所述透明板1112能够观察到所述晶圆加工设备主体2的至少一个处理单元21的工作情况；所述辅助控制件12安装于所述盖板主体11 的所述辅助操控部112，通过所述辅助控制件12能够控制所述晶圆加工设备主体2的至少一所述处理单元21的工作。
[0037]
需要指出的是，在本优选实施例中，所述窗口部111与所述辅助操控部112相邻设置。换句话说，所述窗口部111的所述窗口1111与所述辅助控制件12相邻设置，从而操作人员能够在操作所述辅助控制件12的同时通过所述窗口1111观察所述晶圆加工设备主体2 的至少一个处理单元21的工作情况，从而能够提高操作的便利性与操作的精确程度。
[0038]
参考说明书附图1，所述辅助控制件12包括一个辅助操作屏121。所述辅助操作屏121 可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的至少一个所述处理单元21，通过所述辅助操作屏121能够操控所述晶圆加工设备主体2的至少一个所述处理单元21。
[0039]
具体地，在对所述晶圆加工设备主体2内的至少一个所述处理单元21的状态进行点检和/或调节时，能够在通过所述窗口部111观察所述处理单元21的工作状态的同时，操
作与所述窗口部111相邻设置的所述辅助操作屏121对所述处理单元21进行调节和/或点检，从而能够提高点检和/或调节的精确度。
[0040]
优选地，所述辅助操作屏121是一个触摸屏，操作者能够直接操作所述触摸屏进行所述晶圆加工设备主体2的至少一所述处理单元21的操控。可以理解的是，只要能够达到本实用新型的实用新型目的，所述辅助操作屏121还能够被实施为其他的操作设置，所述辅助操作屏121的具体类型不应当构成对本实用新型的限制。
[0041]
进一步地，当所述辅助操作屏121安装于所述晶圆加工设备主体2的时候，所述辅助操作屏121适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的主控制单元22，以通过所述主控制单元22控制相应的所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21。
[0042]
所述辅助控制件12还包括一个调速开关122。所述调速开关122安装于所述盖板主体 11的所述辅助操控部112。所述调速开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的所述主控制单元22，通过所述调速开关122能够控制所述晶圆加工设备的运行速度。
[0043]
可以理解的是，在对晶圆加工设备进行维护的过程中，不需要晶圆设备具有较快的运行速度，通过所述调速开关122能够调节所述晶圆加工设备的运行速度，以供更好地对晶圆设备进行维护。
[0044]
还需要指出的是，在本优选实施例中，所述调速开关122与所述窗口部111的所述窗口1111相邻设置，从而操作人员能够在观察晶圆加工设备主体2内的所述处理单元21工作的同时操作所述调速开关122调整所述晶圆加工设备主体2的运行速度，从而能够使得晶圆加工设备主体2的运行速度能够与维护所需要的速度相适配，以提高维护效率与维护效果。
[0045]
参考说明书附图1，所述调速开关122进一步包括第一调速开关1221和第二调速开关 1222，所述第一调速开关1221用于调整所述晶圆加工设备主体2的装载处理单元24(loadport robot)的运行速度；所述第二调速开关1222用于调整所述晶圆加工设备主体2的主处理单元25(main process block)的运行速度。
[0046]
所述辅助控制件12还包括一组应急处理件123。当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2时，所述应急处理件123适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的所述主控制单元22，换句话说，所述应急处理件123适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的至少一所述处理单元21，通过一组所述应急处理件123能够紧急制动对应的所述晶圆加工设备主体2的至少一所述处理单元21。当所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元 21发生故障时，所述应急处理件123能够被触发，相应的所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21能够立即停止运行，以防止所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21损坏；当所述应急处理件123被解除后，所述晶圆加工设备主体2能够恢复运行。
[0047]
具体地，所述应急处理件123中的一个是第一应急开关1231。当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的时候，所述第一应急开关1231适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23，通过所述第一应急开关1231能够紧急制动所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23。也就是说，当所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23发生损坏时，能够通过操作所述第一应急开关1231紧急制动所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23，以防止所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23发生损坏；可以理解的是，当故障解除后，再次操作所述第一应急开关1231能够使得所述晶圆
加工设备主体2的所述旋转处理单元23恢复工作。
[0048]
需要指出的是，所述第一应急开关1231与所述盖板主体11的所述窗口1111相邻设置，当操作者透过所述窗口1111观察到所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23 发生故障时，能够直接操作所述第一应急开关1231，以使得所述晶圆加工设备主体2的所述旋转处理单元23立即停止工作，以防止所述旋转处理单元23发生故障。
[0049]
参考说明书附图1，所述应急处理件123中的一个是第二应急开关1232。当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的时候，所述第二应急开关1232适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的装载处理单元24(load port robot)。当所述晶圆加工设备主体2的所述装载处理单元24发生故障时，通过操作所述第二应急开关1232能够紧急制动所述装载处理单元24，以防止所述装载处理单元24发生损坏；可以理解的是，当所述装载处理单元24的故障解除后，再次操作所述第二应急开关1232能够使得所述晶圆加工设备主体2的所述装载处理单元24恢复运行。
[0050]
需要指出的是，所述第二应急开关1232与所述盖板主体11的所述窗口1111相邻设置，当操作者透过所述窗口1111观察到所述晶圆加工设备主体2的所述装载处理单元24 发生故障时，能够直接操作所述第二应急开关1232，以使得所述晶圆加工设备主体2的所述装载处理单元24立即停止工作，以防止所述装载处理单元24发生故障。
[0051]
参考参考说明书附图1，所述应急处理件123中的一个是第三应急开关1233。当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的时候，所述第三应急开关1233适于可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的主处理单元25(main process block)。当所述晶圆加工设备主体2的所述主处理单元25发生故障时，通过操作所述第三应急开关1233能够紧急制动所述主处理单元25，以防止所述主处理单元25发生损坏；可以理解的是，当所述主处理单元25的故障排出后，再次操作所述第三应急开关1233能够使得所述晶圆加工设备主体2的所述主处理单元24恢复运行。
[0052]
需要指出的是，所述第二应急开关1233与所述盖板主体11的所述窗口1111相邻设置，当操作者透过所述窗口111观察到所述晶圆加工设备主体2的所述装载单元24发生故障时，能够直接操作所述第三应急开关1233，以使得所述晶圆加工设备主体2的所述主处理单元25立即停止工作，以防止所述主处理单元25发生故障。
[0053]
参考说明书附图1，所述窗口部111包括第一窗口部1113和第二窗口部1114，所述第一窗口部1113和所述第二窗口部1114分别位于所述辅助操控部112的上下两侧。优选地，所述辅助操控部112位于所述第一窗口部1113和所述第二窗口部1114的中间位置，所述第一窗口部1113和所述第二窗口部1114相对于所述辅助操控部112上下对称。
[0054]
进一步地，所述第一窗口部1113具有左右两个所述窗口111，所述第二窗口部1114 也具有左右两个所述窗口111，透过所述第一窗口部1113上的所述窗口111和所述第二窗口部114的所述窗口111能够观察所述晶圆加工设备主体2中的所述处理单元21的工作情况。
[0055]
还需要指出的是，所述辅助操控部112的内部安装有连接线，所述连接线用于连接所述辅助控制件12与所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21和/或所述主控制单元22。需要指出的是，所述连接线安装于所述辅助操控部112的内部，从而能够保证所述辅助控制件12与所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21和/或所述主控制单元22之间连接的稳定性。可选地，所述辅助控制件12还能够通过无线连接的方式连接于所述晶圆加工设备主
体2的所述处理单元21和/或所述主控制单元22，所述辅助控制件12与所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21和所述主控制单元22之间的具体链接方式不应当构成对本实用新型的限制。
[0056]
参考说明书附图1，所述前盖板1的所述辅助控制件12沿着所述盖板主体11的左右方向延伸，当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的所述晶圆加工设备主体2的时候，所述辅助控制件12的右端能够与所述晶圆加工设备主体2的所述主控制单元22接触，从而能够便于所述辅助控制件12与所述晶圆加工设备主体2的所述主控制单元22的连接。
[0057]
实施例二
[0058]
参考说明书附图3，根据本实用新型的另一方面，本实用新型的第二优选实施例提供一种晶圆加工设备，所述晶圆加工设备包括上述实施例一中的晶圆加工设备的前盖板1和晶圆加工设备主体2，所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2。
[0059]
所述晶圆加工设备还包括形成于所述晶圆加工设备主体2的多个处理单元21和一个主控制单元22，多个所述处理单元21和所述主控制单元22分别安装于所述晶圆加工设备主体2。当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的时候，所述前盖板1的辅助控制件12可工作地连接于所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21和/或所述主控制单元22。在透过所述前盖板1的窗口1111观察所述处理单元21的工作状态的同时，能够通过操作所述辅助控制件12操控所述晶圆加工设备主体2的所述处理单元21。
[0060]
需要指出的是，所述晶圆加工设备主体2的多个所述处理单元21组成晶圆加工设备主体2的工艺加工区域，所述晶圆加工设备主体2还包括晶圆取放区域，通过所述晶圆取放区域能够将待加工的晶圆放入晶圆设备主体2或将待加工的晶圆自晶圆设备主体2内取出。
[0061]
所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的所述工艺加工区域，以透过所述前盖板1的窗口部能够观察到所述晶圆加工设备主体2的多个所述处理单元21。所述晶圆加工设备主体2还包括主控制屏幕，所述主控制屏幕安装于所述晶圆加工设备主体2的所述晶圆取放区域，所述前盖板1与所述主控制屏幕相邻设置。
[0062]
优选地，所述前盖板1的辅助操作屏121位于所述晶圆加工设备主体2的多个所述处理单元21的中央，以便于通过所述前盖板1的窗口部观察所述处理单元21的工作情况的同时能够操作所述辅助操作屏121。
[0063]
所述前盖板1的所述窗口部111包括第一窗口部1113和第二窗口部1114，所述第一窗口部1113和所述第二窗口部1114分别位于所述前盖板1的辅助操控部112的上下两侧。优选地，所述辅助操控部112位于所述第一窗口部1113和所述第二窗口部1114的中间位置，所述第一窗口部1113和所述第二窗口部1114相对于所述辅助操控部112上下对称。
[0064]
进一步地，所述第一窗口部1113具有左右两个所述窗口111，所述第二窗口部1114 也具有左右两个所述窗口111，透过所述第一窗口部1113上的所述窗口111和所述第二窗口部114的所述窗口111能够观察所述晶圆加工设备主体2中的所述处理单元21的工作情况。
[0065]
所述前盖板1的所述辅助控制件12沿着所述盖板主体11的左右方向延伸，当所述前盖板1安装于所述晶圆加工设备主体2的所述晶圆加工设备主体2的时候，所述辅助控制件12的右端能够与所述晶圆加工设备主体2的所述主控制单元22接触，从而能够便于所述辅助控制件12与所述晶圆加工设备主体2的所述主控制单元22的连接。
[0066]
所述晶圆加工设备主体2进一步具有一个主操控屏26，所述主操控屏26可工作地连接于所述主处理单元25，通过所述主操控屏26能够操控所述主处理单元25的运行。
[0067]
应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。