技术特征：
1.干法刻蚀机传送装置，其特征在于，包括：连接框架；和若干传送臂，若干所述传送臂固定设置在所述连接框架的下方，形成与晶片适配的放置位；所述传送臂包括：臂板，所述臂板呈板状，与连接框架固定连接；支撑柱，所述支撑柱固定设置在所述臂板上，其底部与臂板固定连接，顶部设有活动连接的滚球；和限位台，所述限位台可拆卸固定设置在臂板上，与晶片相适配，顶部朝向支撑柱一侧设有导入部。2.根据权利要求1所述的干法刻蚀机传送装置，其特征在于，所述支撑柱固定设置在所述臂板上，靠近首端位置。3.根据权利要求1所述的干法刻蚀机传送装置，其特征在于，所述传送臂设有三个，分别为传送臂一、传送臂二和传送臂三；所述传送臂二与传送臂一对称设置在连接框架的下方；所述传送臂一固定设置在连接框架的下方，位于传送臂二和传送臂三之间。4.根据权利要求1所述的干法刻蚀机传送装置，其特征在于，所述臂板上设有若干均布设置的内螺纹孔；所述限位台通过相应内螺纹孔可调节设置在臂板上。5.根据权利要求1或4所述的干法刻蚀机传送装置，其特征在于，所述限位台包括从下而上固定连接的底座和导入舌；所述底座通过连接件可拆卸固定设置在臂板上。6.根据权利要求1所述的干法刻蚀机传送装置，其特征在于，所述臂板的尾端设有与之可调节固定设置的延伸臂。
技术总结
干法刻蚀机传送装置。涉及一种半导体加工设备。包括连接框架和若干传送臂，若干传送臂固定设置在所述连接框架的下方，形成与晶片适配的放置位；传送臂包括臂板和支撑柱，支撑柱固定设置在所述臂板上，顶部设有活动连接的滚球；限位台顶部设有导入部。存储仓上的传送手水平移动将存储仓内相应工位的晶片移送至放置位的上方，然后传送手下降，将晶片降落至三个传送臂上，此时通过限位台上的导入部快速修正，落入与晶片适配的放置位内，此时晶片的底部通过三个滚球支撑，有效降低了接触面积。本实用新型具有结构紧凑、传送稳定，降低磨损等优点。优点。优点。
技术研发人员：陈绍蓬 王毅
受保护的技术使用者：扬州扬杰电子科技股份有限公司
技术研发日：2022.09.09
技术公布日：2022/12/9