0靠近支撑部件210放置，将支撑部件210和电极240通过机械方式夹紧连接，将安装层220和弹性连接层230机械固定结合到金属支撑部件210和电极240之间。
[0042]本实施例相对于图1所示的实施例优点在于，本实施例中弹性连接层230与通常为金属材质的支撑部件210接触具有良好的热传导效率，能将支撑部件210的温度及时、有效的通过安装层220传递至电极240，且在替换时，仅需要解除电极240和安装层220之间的机械连接，实现只对电极240进行替换的目的。在本实施例中，支撑部件210、弹性连接层230以及安装层220都可以实现重复利用，最大限度的节省了设备成本。
[0043]图4示出本发明另一种实施例的电极组件结构示意图，图4示出本实施例的电极组件的主剖面结构示意图，本实施例的安装层220’与电极240’的材料与上述实施例相同，区别在于:连接层250’上设置的容许第一组喷气孔215’和所述第二组喷气孔气体245’贯通的通道255’为若干条窄缝，窄缝255’围绕第一组喷气孔215’和第二组喷气孔245’设置。由于第一组喷气口 215’排布密集，窄缝255’之间可以包含至少一排喷气口，其他技术特征同上述实施例。
[0044]在另外的实施例中，所述电极也可以为金属材质，如铝，为避免所述电极被等离子体腐蚀，可以在铝制的电极表面涂覆耐等离子体腐蚀的涂层。虽然电极材料与支撑部件材料相同，然而，由于两个金属部件的结合面具有较强的硬度，难以完全贴合，造成热量在由支撑部件向电极传输时效率降低，且会导致不均匀性，因此也可以采用本发明所述的技术方案，安装层既可以与支撑部件的第一结合面结合，也可以与电极的第二结合面结合。其他技术特征同上述实施例。
[0045]需要说明的是，上面内容对本发明的具体实施例进行了描述，通过该描述，使得本发明更加清楚，但是上述实施例是示例性的，而不是用于限制本发明范围的，综上所述，本发明的用于等离子体处理的电极组件避免了电极弯曲或开裂，延长了电极使用寿命，降低了使用成本，提高了等离子体反应室的稳定性，且结合牢固，其制造方法操作简单，分离方法操作简单，部件更换方便，降低了成本，适合于大规模工业化生产。
[0046]在此说明书中，本发明已参照其特定的实施例作了描述。但是，很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本发明的精神和范围。因此，说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。
【主权项】
1.一种用于等离子体处理的电极组件，包括: 具有第一结合面的支撑部件，所述支撑部件为金属材质； 一电极，具有与所述第一结合面配合的第二结合面； 一设置于所述支撑部件和所述电极之间的连接层，所述连接层包括一弹性连接层和一安装层，所述安装层的材质与所述支撑部件材质相同或与所述电极材质相同，所述安装层与材质相同的所述支撑部件的第一结合面或所述电极的第二结合面固定结合，所述弹性连接层与另一结合面固定结合。2.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述安装层的材质与所述金属部件材质相同，为一金属层，所述安装层和所述支撑部件的第一结合面固定结合，所述弹性连接层与所述电极的第二结合面固定结合。3.根据权利要求2所述的电极组件，其特征在于，所述支撑部件的第一结合面材质为铝或铝合金，所述安装层材质与所述支撑部件的材质相同。4.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述安装层的材质与所述电极材质相同，所述安装层与所述电极的第二结合面固定结合，所述弹性连接层与所述支撑部件的所述第一结合面固定结合。5.根据权利要求4所述的电极组件，其特征在于，所述电极的材质为硅、碳化硅、石英或铝中的一种，所述安装层的材质与所述电极材质相同。6.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的电极组件，其特征在于，所述电极组件为气体喷头式电极，所述支撑部件上设置第一组喷气孔，所述电极上设置第二组喷气孔，所述连接层上设置容许所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔气体贯通的通道。7.根据权利要求6所述的电极组件，其特征在于，所述连接层上的通道设置为与所述第一组喷气孔和第二组喷气孔相匹配的第三组喷气孔，所述第三组喷气孔的孔径大于等于所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔的孔径。8.根据权利要求6所述的电极组件，其特征在于，所述连接层上的通道设置为环绕所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔的窄缝，所述窄缝的宽度大于所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔的孔径。9.根据权利要求6所述的电极组件，其特征在于，所述支撑部件内部或上方设置温度调节系统，所述弹性连接层具有良好的导热性能。10.根据权利要求9所述的电极组件，其特征在于，所述弹性连接层的材料为有机硅胶，所述有机硅胶中包含氧化铝或氮化铝等导热材料。11.根据权利要求9所述的电极组件，其特征在于，所述弹性连接层的材料为可熔性含氟聚合物，所述含氟聚合物包括以下材料中的一种:PFA、PTFE, ETFE, FEP、PEEK、PCTFE。12.根据权利要求1-5任一项权利要求所述的电极组件，其特征在于，所述安装层的厚度小于等于0.5mm，所述弹性连接层的厚度小于等于3mm。13.一种制作电极组件的方法，其特征在于:包括下列步骤: 提供一具有第一结合面的金属支撑部件，在所述金属支撑部件上设置第一组喷气孔；提供一具有第二结合面的电极，在所述电极上设置与所述第一组喷气孔相匹配的第二组喷气孔； 提供一连接层，在所述连接层上设置一组气体通道，所述连接层包括一安装层和一弹性连接层，所述安装层的材质与所述金属支撑部件或所述电极之一材质相同； 将所述安装层和与其材质相同的述支撑部件或所述电极固定结合，将所述弹性连接层与未与所述安装层连接的一结合面固定结合，并使得所述第一组喷气孔，所述气体通道和所述第二组喷气孔贯通。14.根据权利要求13所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述安装层与所述金属支撑部件的材质相同，所述弹性连接层具有粘性，将所述安装层和所述金属支撑部件的第一结合面固定结合，将所述弹性连接层的一面与所述安装层黏接，另一面与所述电极的第二结合面粘接固定。15.根据权利要求14所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述金属支撑部件和所述电极机械方式夹紧连接，所述安装层通过所述机械方式与所述金属支撑部件夹紧结口 ο16.根据权利要求13所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述安装层与所述金属支撑部件的材质相同，所述弹性连接层不具有粘性，将所述安装层靠近所述金属支撑部件放置，所述弹性连接层靠近所述电极放置，将所述金属支撑部件和所述电极机械方式夹紧连接，将所述安装层和所述弹性连接层机械固定结合到所述金属支撑部件和所述电极之间。17.根据权利要求13所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述安装层与所述电极材质相同，所述弹性连接层具有粘性，将所述安装层和所述电极的第二结合面固定结合，将所述弹性连接层的一面与所述安装层黏接，另一面与所述金属支撑部件的第一结合面粘接固定。18.根据权利要求17所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述金属支撑部件和所述电极机械方式夹紧连接，所述安装层通过所述机械方式与所述金属支撑部件夹紧结口 ο19.根据权利要求13所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述安装层与所述电极材质相同，所述弹性连接层不具有粘性，将所述安装层靠近所述电极放置，所述弹性连接层靠近所述金属支撑部件放置，将所述金属支撑部件和所述电极机械方式夹紧连接，将所述安装层和所述弹性连接层机械固定结合到所述金属支撑部件和所述电极之间。20.根据权利要求13所述的制作电极组件的方法，其特征在于:所述安装层的厚度小于等于0.5mm，所述弹性连接层的厚度小于等于3mm。
【专利摘要】本发明提供了一种用于等离子体刻蚀的电极组件及其制造方法，采用一安装层和一弹性连接层构成一连接层，置于一电极和一支撑部件之间，设置所述安装层的材料与所述电极和所述支撑部件之一的材质相同，并将所述安装层与与之材质相同的结合面机械连接，将弹性连接层与未与所述安装层连接的一结合面粘接固定，实现支撑部件和所述电极的可拆卸粘接。所述弹性粘接层可以增大电极和支撑部件之间的有效接触面积，从而降低电极和支撑部件间的接触热阻，另外，还可以允许所述电极和所述支撑部件之间由于热膨胀而导致的相对运动，从而避免电极和支撑部件之间由于两者的热膨胀系数差而导致电极的弯曲或开裂的问题，延长了电极使用寿命。
【IPC分类】H01J9/02, H01J37/04, H01J37/32
【公开号】CN104952678
【申请号】CN201410122888
【发明人】徐朝阳, 姜银鑫, 彭帆
【申请人】中微半导体设备(上海)有限公司
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2014年3月28日