一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于显示技术领域，具体涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显 示装置。
【背景技术】
[0002] 薄膜晶体管阵列基板包括显示区域和包围显示区域的边框区域，其中，边框区域 如图1、图2所示，用于设置各种信号线（栅线3或数据线4)，并形成与控制芯片或柔性印 刷电路板连接的区。具体的，边框区域的导电层1一般是与显示区域的电极（公共电极或 像素电极）同步形成的，其材料通常为ITO (氧化铟锡），导电层1通过贯穿绝缘层（图1中 第一绝缘层21和第二绝缘层22 ;图2中第二绝缘层22)的过孔，将信号线（栅线3或数据 线4)与控制芯片或柔性印刷电路板连接。
[0003] 发明人发现现有技术中至少存在如下两个问题：
[0004] 1.导电层1包括几百埃厚度的ΙΤ0,其通过几千埃厚度的绝缘层（图1中第一绝 缘层21，第二绝缘层22 ;图2中第二绝缘层22)的过孔连接到信号线（栅线3或数据线4) 上面，如果绝缘层过孔的坡度角不好，就容易发生ITO断裂，造成异常显示。
[0005] 2.为了降低信号线的阻抗，目前TFT-LCD领域普遍采用含铝成分的金属作为信号 线（栅线3或数据线4)材料。然而，铝容易在高温高湿条件下发生腐蚀。在上述边框区域， 由于ITO的致密性不好，在高温高湿环境下，水气会与信号线（栅线3或数据线4)发生接 触，造成腐蚀，导致异常显示。
【发明内容】
[0006] 本发明针对现有的边框区域的与信号线连接的ITO容易发生断裂以及信号线易 腐蚀的问题，提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置。
[0007] 解决本发明技术问题所采用的技术方案是：
[0008] -种薄膜晶体管阵列基板，包括：显示区域和包围所述显示区域的边框区域，所述 边框区域包括：
[0009]衬底；
[0010] 在所述衬底上依次形成的信号线、绝缘层和导电层，所述导电层通过绝缘层中的 过孔与信号线连接，且在所述过孔中的导电层与信号线之间，设有耐腐蚀导电层。
[0011] 优选的，所述耐腐蚀导电层为耐腐蚀金属层。更优选的，所述耐腐蚀金属层的材料 包括钼、铜、钛中的任意一种或多种。
[0012] 优选的，所述耐腐蚀导电层仅位于绝缘层过孔中。
[0013] 优选的，所述信号线为数据线或栅线。
[0014] 优选的，所述绝缘层包括第一绝缘层和第二绝缘层。
[0015] 优选的，所述耐腐蚀导电层厚度为2000-4000A。
[0016] 优选的，所述导电层与显示区域的像素电极或公共电极同步形成。
[0017] 本发明还提供一种上述薄膜晶体管阵列基板的制备方法包括：
[0018] 依次在衬底上形成的信号线、绝缘层和导电层的步骤；其中，所述导电层通过绝缘 层中的过孔与信号线连接；以及，
[0019] 在所述过孔中的导电层与信号线之间形成耐腐蚀导电层的步骤。
[0020] 优选的，所述耐腐蚀导电层与所述绝缘层通过同一掩膜曝光形成；其中，所述绝缘 层采用正性光刻胶，所述耐腐蚀导电层采用负性光刻胶，或者所述绝缘层采用负性光刻胶， 所述耐腐蚀导电层采用正性光刻胶。
[0021] 本发明还提供一种显示装置，包括上述的薄膜晶体管阵列基板。
[0022] 本发明的薄膜晶体管阵列基板中，边框区域包括：衬底，在所述衬底上依次形成的 信号线、绝缘层和导电层，所述导电层通过绝缘层中的过孔与信号线连接，且在所述过孔中 的导电层与信号线之间，设有耐腐蚀导电层。其中，耐腐蚀导电层垫于过孔中的导电层与信 号线之间，将导电层托住，可以防止导电层断裂，避免异常显示。同时，其还可以隔离信号 线，避免信号线被腐蚀。本发明的薄膜晶体管阵列基板适用于各种显示装置。
【附图说明】
[0023] 图1为现有的薄膜晶体管阵列基板边框区域的结构示意图；
[0024] 图2为现有的薄膜晶体管阵列基板边框区域的另一种结构示意图；
[0025] 图3为本发明的实施例2的薄膜晶体管阵列基板边框区域的结构示意图；
[0026] 图4为本发明的实施例2的另一种薄膜晶体管阵列基板边框区域的结构示意图；
[0027] 其中，附图标记为：1、导电层；21、第一绝缘层；22、第二绝缘层；3、栅线；4、数据 线；5、耐腐蚀导电层。
【具体实施方式】
[0028] 为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方 式对本发明作进一步详细描述。
[0029] 实施例1 :
[0030] 本实施例提供一种薄膜晶体管阵列基板，包括：显示区域和包围所述显示区域的 边框区域，所述边框区域包括：
[0031] 衬底；
[0032] 在所述衬底上依次形成的信号线、绝缘层和导电层，所述导电层通过绝缘层中的 过孔与信号线连接，且在所述过孔中的导电层与信号线之间，设有耐腐蚀导电层。
[0033] 本实施例的薄膜晶体管阵列基板中耐腐蚀导电层垫于过孔中的导电层与信号线 之间，将导电层托住，这样可以防止导电层断裂，避免异常显示。同时，其还可以隔离信号 线，避免信号线被腐蚀。本发明的薄膜晶体管阵列基板适用于各种显示装置。
[0034] 实施例2 :
[0035] 本实施例提供一种薄膜晶体管阵列基板，包括：显示区域和包围显示区域的边框 区域，如图3、图4所示，边框区域包括：
[0036] 衬底；
[0037] 在衬底上依次形成的信号线、绝缘层和导电层1，导电层1通过绝缘层中的过孔与 信号线连接，且在过孔中的导电层1与信号线之间，设有耐腐蚀导电层51。
[0038] 本实施例的薄膜晶体管阵列基板中耐腐蚀导电层51垫于过孔中的导电层1与信 号线之间，将导电层1托住，这样可以防止导电层1断裂，避免异常显示。同时，其还可以隔 离信号线，避免信号线被腐蚀。本发明的薄膜晶体管阵列基板适用于各种显示装置。
[0039] 优选的，耐腐蚀导电层51为耐腐蚀金属层。更优选的，耐腐蚀金属层的材料包括 钼、铜、钛中的任意一种或多种。
[0040] 也就是说，过孔中的导电层1与信号线之间的耐腐蚀导电层51可选用金属材料制 成，同时，为了达到隔离信号线，避免信号线被腐蚀的目的，一般需要采用致密性好，具有耐 腐蚀性的金属。钼、铜、钛中的任意一种或多种可以满足上述要求。此外，现有的一些合金， 例如钛合金等具有耐腐蚀性的合金金属也在本发明的保护范围内。
[0041] 优选的，耐腐蚀导电层51仅位于绝缘层过孔中。
[0042] 也就是说，导电层1与信号线之间的耐腐蚀导电层51仅位于绝缘层过孔中即可解 决本发明的技术问题，同时，仅在过孔中增加耐腐蚀导电层51，工业生产成本较低，利于工 艺实施。
[0043] 优选的，信号线为数据线4或栅线3。
[0044] 也就是说，如图3所示的结构，边框区域的栅线3与显示区域的栅极同步形成，栅 线3上依次为第一绝缘层21、第二绝缘层22、导电层1，导电层1通过第一绝缘层21、第二 绝缘层22中的过孔与栅线3连接，其中，过孔中的导电层1与栅线3之间，设有耐腐蚀导电 层51。
[0045] 如图4所示的结构，边框区域的数据线4与显示区域的源漏极同步形成，数据线4 上设有第二绝缘层22、导电层1，导电层1通过第二绝缘层22中的过孔与数据线4连接，其 中，过孔中的导电层1与数据线4之间，设有耐腐蚀导电层51。
[0046] 优选的，绝缘层包括第一绝缘层21和第二绝缘层22。
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