)。能够期待从试样5整体有效地将热向遮蔽板1散热的效果。另外，通过覆盖试样5整体，还能够期待试样5的固定或保持试样5的效果。
[0054]实施例2
[0055]图8是表示带有能够控制试样温度的遮蔽板1以及试样台冷却机构的离子碾磨装置的实施例的图。本实施例的离子碾磨装置包括离子源24、试样室25、真空排气用栗26、以及试样平台27。
[0056]本发明的试样前处理装置通过由离子源24产生离子，并从离子源24向试样5照射离子束16，来从试样表面击飞原子，无应力地对试样5进行平滑地切削。离子碾磨装置主要用作电子显微镜的观察对象试样的前处理装置。
[0057]在图8所示的离子碾磨装置中，除放置在试样平台27上的试样台4以及试样5之夕卜，在配置于试样5上部的遮蔽板1上设置有遮蔽板的冷却用板8。遮蔽板的冷却用板8与液氮用杜瓦瓶28由编织线29 (网状电极电线，例如将网格电极等做成线状)连接，能够利用装入液氮用杜瓦瓶28的液氮9经由编织线29来直接冷却遮蔽板1。
[0058]另外，遮蔽板的冷却用板8经由编织线31而连接于加热器30。加热器30利用配线33而与控制部32连接。加热器30能够经由编织线31而对遮蔽板1进行加热。在遮蔽板1设置有温度传感器34 (温度计)，温度传感器34经由配线35而连接于控制部32。
[0059]温度传感器34的检测信号(遮蔽板的温度信息)经由配线35而发送至控制部32。使用者能够预先由操作面板36将试样加工部的温度任意地设定(使用者设定温度(=希望的试样加工面温度))，该设定信息经由配线37、主控制部38以及配线39而被发送至控制部32。将控制部32中由温度传感器34测定的测定温度(测定温度+校正值(校正值(详细由图9说明)))与使用者设定温度比较，判断加热器控制的有无。在有加热器控制的情况下，经由配线33向加热器30发送工作指令的信号。
[0060]在图8所例示的离子碾磨装置中，在直接冷却遮蔽板1的机构之外，还在固定试样5的试样台4设置与上述遮蔽板1的冷却机构相同的机构。在试样台4下表面，设置有与试样台4直接接触的试样台用的冷却用板40。试样台的冷却用板40与液氮用杜瓦瓶28由编织线41连接。能够利用装入液氮用杜瓦瓶28的液氮9，与上述遮蔽板1冷却同样地，经由编织线41，对试样台4进行冷却。
[0061]另外，试样台的冷却用板40经由编织线43而与加热器42连接。加热器42与控制部43由配线44连接。加热器42能够经由编织线43而对试样台4进行加热。在试样台4设置有温度传感器46，温度传感器46经由配线47而与控制部43连接。
[0062]温度传感器45的检测信号(试样台的温度信息)经由配线47发送至控制部43。与上述遮蔽板温度控制同样地，使用者通过操作面板36输入的使用者设定温度信息经由配线37、主控制部38、配线44而发送向控制部43。在控制部43中，将由温度传感器46测定的测定温度(测定温度+校正值(校正值(详细由图9说明)))和使用者设定温度比较，来判断加热器控制的有无。在有加热器控制的情况下，经由配线45向加热器42发送工作指令的信号。
[0063]图8所例示的离子碾磨装置构成为，将试样台的与试样的接触面侧以及上述试样的一部分暴露于上述离子束并在将该试样相对于离子束遮蔽的遮蔽件的与上述试样的接触面侧的至少一方具备温度计，控制试样台以及上述遮蔽件的至少一方的温度的温度控制机构(控制部)按照温度计的温度测量结果，控制上述试样台以及上述遮蔽件的至少一个的温度。以下，使用图9、图10对温度控制机构(控制部32、控制部43)的温度控制的具体例进行详细说明。
[0064]此外，在液氮用杜瓦瓶28设置有液面检测传感器48，在注入液氮用杜瓦瓶28的液氮9到达预定的液面下的情况下，液面检测传感器将通知该状况的信号经由配线49向主控制部38发送信号。构成为主控制部38经由配线50点亮LED51，因此使用者能够知道追加液氮的时间点。
[0065]通过利用液氮9直接冷却遮蔽板1以及试样台4，与仅遮蔽板1侧或试样台4侧中任一方的冷却相比能够期待促进试样5的冷却时间的效果。另外，同样地在遮蔽板1以及试样台4设置分别独立的温度控制机构，通过设置由加热器分别加热的机构，由仅遮蔽板1侧或试样台4侧的任一方的加热器进行试样5的温度控制，尤其是在试样加工结束后，能够有效地进行温度控制使试样温度短时间内返回至常温程度。
[0066]图9是以示意图表示图8所示的温度控制以及周边机构的控制全部的详细的图。如温度传感器周边的详细图所示，若因离子束16而使温度传感器34溅射，则温度传感器34不能输出适当的温度信息，存在产生再沉积、加工线痕等的可能性，因此难以在位于离子束16中心的试样5的加工位置设置直接温度传感器34。
[0067]因此在本实施例中，对在从离子束16中心向遮蔽板1侧偏移的位置且试样5上部，在遮蔽板1下表面安装温度传感器34的例子进行说明，但在温度传感器34位置检测到的温度(测定温度)与试样加工面的温度之间存在温度差。该温度差因试样5的材质、照射至试样5的离子束16 (加速电压/离子束电流等)等的试样加工条件而不同。因此，预先将上述加工条件下加工的情况的上述温度差作为校正值存储于控制部，通过与由上述温度传感器134检测的温度(测定温度)进行相加，成为试样加工面的温度。
[0068]同样地，温度传感器46为了避免离子束16产生的对温度传感器46自身的动作的恶劣影响、温度传感器46对试样加工面的直接的恶劣影响，在从离子束16中心向试样台4侧偏离的位置且试样5下部、试样台4上表面配置温度传感器46，但在温度传感器46位置检测到的温度(测定温度)与试样加工面的温度之间产生温度差。因此，与上述温度传感器34 —样，预先设置校正值。
[0069]此外，校正值因试样的种类、加工条件(加速电压、束流电流等)而不同，因此例如可以在未图示的存储媒体，预先存储每个试样的种类、加工条件的组合的校正值，并基于试样的种类与加工条件的选择，读取校正值，并且将相加了该校正值的值作为温度计的输出。另外，可以在存储媒体存储将加工条件等作为参数的运算式，通过进行加工条件的选择(参数的选择)，计算校正值，并将相加了该校正值的值作为温度计的输出。
[0070]控制部32、控制部43在由温度传感器34以及温度传感器246测定的测定温度中将测定温度+校正值和使用者通过操作面板36预先设定的任意的设定温度(使用者设定温度)比较，判断加热器的打开/关闭。(加热器控制的打开/关闭判断的详细由图10说明)在加热器为打开的情况下遵从加热器控制，由加热器对试样5加热。另一方面，在加热器为关闭的情况下，由液氮9对试样5进行冷却。然而，利用液氮9进行的试样5的冷却与加热器的打开/关闭无关，始终工作。另外，在液氮用杜瓦瓶28设置有液面检测传感器48，在注入液氮用杜瓦瓶28的液氮9到达预定的液面下的情况下，液面检测传感器48工作，向控制部发送信号，从控制部发送LED51点亮信号使LED51点亮，将液氮9追加标志通知使用者。
[0071]图10是以流程图表示图9所示的主控