醇清洗槽中，功率控 制为2500W，频率控制为30KHZ，流速度控制在16L/min内，采用电阻大于12 Q'm,且溫度在 20°C的无水乙醇进行清洗60s ; (5) 无水乙醇漂洗：将经上述无水乙醇清洗的二极管放入到无水乙醇漂洗槽中，功率控 制为2500W，频率控制为30KHZ，流速度控制在16L/min内，采用电阻大于12 Q'm,且溫度在 20°C的无水乙醇进行漂洗60s ; (6) 超声波一次脱水：将经上述无水乙醇漂洗的二极管放入到IPA超声波一次脱洗槽 中，功率控制为2000W，频率控制为30KHZ，水流速度控制在15L/min内，采用电阻大于12 Q ' m，且溫度在20°C的异丙醇进行超声波一次脱水IOOs ; (7) 超声波二次脱水：将经超声波一次脱水的二极管放入到IPA超声波二次脱洗槽中， 功率控制为2000W，频率控制为30KHZ，水流速度控制在15L/min内，采用电阻大于12 Q'm, 且溫度在20°C的异丙醇进行超声波二次脱水100s。
[0010] 实施例3 本实施例酸洗后二极管的清洗工艺，包括如下步骤： (1) 超声波清洗：将待清洗的二极管放入到超声波清洗槽中，功率控制为1750W，频率 控制为33KHZ，水流速度控制在17L/min内，采用电阻大于12 Q'm,且溫度在30°C的纯水进 行超声波清洗125s ; (2) 超声波精洗：将经上述超声波清洗的二极管放入到超声波精洗槽中，功率控制为 1750W，频率控制为33KHZ，水流速度控制在17L/min内，采用电阻大于12Q'm，且溫度在 30°C的纯水进行超声波精洗125s ; (3) 超声波漂洗：将经上述超声波精洗的二极管放入到超声波漂洗槽中，功率控制为 1750W，频率控制为33KHZ，水流速度控制在17L/min内，采用电阻大于12Q'm，且溫度在 30°C的纯水进行超声波漂洗125s ; (4) 无水乙醇清洗：将经上述超声波漂洗的二极管放入到无水乙醇清洗槽中，功率控 制为2000W，频率控制为35K监，流速度控制在1化/min内，采用电阻大于12 Q'm,且溫度在 30°C的无水乙醇进行清洗90s ; (5) 无水乙醇漂洗：将经上述无水乙醇清洗的二极管放入到无水乙醇漂洗槽中，功率控 制为2000W，频率控制为35K监，流速度控制在UL/min内，采用电阻大于12 Q'm,且溫度在 30°C的无水乙醇进行漂洗90s ; (6) 超声波一次脱水：将经上述无水乙醇漂洗的二极管放入到IPA超声波一次脱洗槽 中，功率控制为1750W，频率控制为33KHZ，水流速度控制在17L/min内，采用电阻大于12 Q ' m，且溫度在30°C的异丙醇进行超声波一次脱水125s ; (7)超声波二次脱水：将经超声波一次脱水的二极管放入到IPA超声波二次脱洗槽中， 功率控制为1750W，频率控制为33KHZ，水流速度控制在17L/min内，采用电阻大于12 Q'm, 且溫度在30°C的异丙醇进行超声波二次脱水125s。
[0011] 下表是实施例1~3清洗工艺与传统清洗工艺对产品性能影响的对比：（在 1000~1200°C下对产品性能进行测试）
由上表可W看出，本发明酸洗后二极管的清洗工艺，采用=道高纯水超声波清洗，再经 过两道无水乙醇清洗，清洗后用两道超声波脱水，使产品的高溫性能有了大幅度的提高。
[0012] W上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征W及本发明的优点。本行业的技 术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明 本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，运些 变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及 其等效物界定。
【主权项】
1. 一种酸洗后二极管的清洗工艺，其特征在于：包括如下步骤： (1) 超声波清洗：将待清洗的二极管放入到超声波清洗槽中，功率控制在1500~2000W 范围内，频率控制在30~36KHZ范围内，水流速度控制在15~18L/min范围内，采用电阻 大于12Ω·πι，且温度在20~40°C范围内的纯水进行超声波清洗100~150s; (2) 超声波精洗：将经上述超声波清洗的二极管放入到超声波精洗槽中，功率控制在 1500~2000W范围内，频率控制在30~36KHZ范围内，水流速度控制在15~18L/min范围 内，采用电阻大于12Ω1，且温度在20~40°C范围内的纯水进行超声波精洗100~150s; (3) 超声波漂洗：将经上述超声波精洗的二极管放入到超声波漂洗槽中，功率控制在 1500~2000W范围内，频率控制在30~36KHZ范围内，水流速度控制在15~18L/min范围 内，采用电阻大于12Ω1，且温度在20~40°C范围内的纯水进行超声波漂洗100~150s; (4) 无水乙醇清洗：将经上述超声波漂洗的二极管放入到无水乙醇清洗槽中，功率控制 在1500~2500W范围内，频率控制在30~40KHZ范围内，流速度控制在16~18L/min范 围内，采用电阻大于12Ω·πι，且温度在20~40°C范围内的无水乙醇进行清洗60~120s; (5) 无水乙醇漂洗：将经上述无水乙醇清洗的二极管放入到无水乙醇漂洗槽中，功率控 制在1500~2500W范围内，频率控制在30~40KHZ范围内，流速度控制在16~18L/min范 围内，采用电阻大于12Ω·πι，且温度在20~40°C范围内的无水乙醇进行漂洗60~120s; (6) 超声波一次脱水：将经上述无水乙醇漂洗的二极管放入到IPA超声波一次脱洗槽 中，功率控制在1500~2000W范围内，频率控制在30~36KHZ范围内，水流速度控制在 15~18L/min范围内，采用电阻大于12Ω·ηι，且温度在20~40°C范围内的异丙醇进行超声 波一次脱水100~150s; (7) 超声波二次脱水：将经超声波一次脱水的二极管放入到IPA超声波二次脱洗槽中， 功率控制在1500~2000W范围内，频率控制在30~36KHZ范围内，水流速度控制在15~ 18L/min范围内，采用电阻大于12Ω·πι，且温度在20~40°C范围内的异丙醇进行超声波二 次脱水100~150s。
【专利摘要】本发明涉及一种酸洗后二极管的清洗工艺，依次包括超声波清洗、超声波精洗、超声波漂洗、无水乙醇清洗、无水乙醇漂洗、超声波一次脱水和超声波二次脱水七个步骤。本发明的优点在于：本发明酸洗后二极管的清洗工艺，采用三道高纯水超声波清洗，再经过两道无水乙醇清洗，清洗后用两道超声波脱水，使产品高温性能大幅度提高；且对纯水和乙醇加热，易于溶解芯片表面的污染物，同时整个工艺流程采用特定设备，能最大限度降低环境对电子器件造成污染。
【IPC分类】B08B3/10, B08B3/08, B08B3/12, H01L21/02
【公开号】CN105390376
【申请号】CN201510821351
【发明人】黄丽凤
【申请人】如皋市大昌电子有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年11月24日