第二控制装置24生成假定为载置有虚拟运送器VC1的虚拟加载口VLP (例如现实不存在第五台加载口 LP1)，对虚拟加载口 VLP赋予适当的虚拟加载口识别信息。
[0112]接着，第二控制装置24将第一运送器识别信息和虚拟运送器识别信息建立对应，并且将LP1识别信息和虚拟加载口识别信息建立对应，由此生成图9所示的表格T1，并存储在内部存储器(步骤S4-1)。
[0113]第二控制装置24生成虚拟运送器以及虚拟运送器的属性信息的理由如下。
[0114]为了生成对在基板处理装置内的基板的搬送及/或处理的内容进行规定的信息(任务)，需要与作为任务的对象的未处理基板W的出发位置以及目的位置相关的信息。具体地说，需要用于特定容纳有未处理基板的运送器(出发运送器)的信息(出发运送器识别信息和出发加载口识别信息)。同样，也需要特定应容纳处理完的基板的运送器(目的运送器)的信息(目的运送器识别信息和目的加载口信息)。
[0115]在通常的处理中，在基板处理装置的加载口载置出发运送器和目的运送器，从主计算机向该基板处理装置的控制装置发送出发运送器识别信息.出发加载口识别信息、以及目的运送器识别信息.目的加载口识别信息后，开始任务的生成。
[0116]本实施方式的基板处理系统1具有第一基板处理装置2和第二基板处理装置4，但是各基板处理装置(第一基板处理装置2和第二基板处理装置4)的任务的生成由各装置的控制部分别独立进行。从第一基板处理装置2向第二基板处理装置4的基板的搬送也能够不使用运送器进行搬送而经由中间装置3在线进行。在经由中间装置3向第二基板处理装置4搬入未处理基板时，不使用运送器。在不使用运送器来向第二基板处理装置4搬入未处理基板的情况下，第二控制装置24无法基于与实际存在的出发运送器相关信息来特定对第二基板处理装置4来说的基板的出发位置。
[0117]因此，第二基板处理装置4以第二控制装置24能够识别的形式来生成表示对该装置4来说的出发运送器的位置的信息。即，第二控制装置24生成前述的虚拟运送器识别信息.虚拟加载口识别信息。由此，在不使用运送器而向第二基板处理装置4搬入未处理基板的情况下，第二控制装置24也能够生成用于在第二基板处理装置4内进行搬送及/或处理的任务。
[0118]根据以上的理由，第二控制装置24生成与在第一基板处理装置2的加载口 LP1载置的运送器C对应的、虚拟运送器VCR以及虚拟运送器的属性信息(虚拟运送器识别信息、虚拟加载口识别信息)。
[0119]另一方面，要容纳由第二基板处理装置4处理过的基板W的第二运送器C2由运送器搬送机械手5载置在第二加载口 LP2上时(步骤S5)，第二控制装置24在第二控制装置24的内部生成第二加载口 LP2上的第二运送器C2 (步骤S6)。进而，第二控制装置24将第二运送器设置信息发送给主计算机HC (步骤S7)，将设置有第二运送器C2的情况传递给主计算机HC。第二运送器设置信息中包括第二运送器C2的识别信息、载置有第二运送器C的第二加载口 LP2的识别信息、表示第二运送器C2的多个槽中未插入基板W的槽的位置的第二槽信息(槽图)。
[0120]如后述那样，第二控制装置24在第二控制装置24的内部作成从第一虚拟运送器VC1向第二运送器C2搬送基板W的计划，使第二基板处理装置4执行该计划。当第一运送器设置信息以及第二运送器设置信息被主计算机HC接收时，主计算机HC将第一任务生成指示发送给第一控制装置8 (步骤S8)，指示第一控制装置8生成任务。在第一任务生成指示中包括任务的识别信息、处理方案的识别信息、容纳应处理的基板W的运送器(在此为第一运送器C1)的识别信息、表示在该运送器的哪个槽插入有基板W的第一槽信息、容纳处理完的基板W的运送器(在此为第二运送器C2)的识别信息、表示应在该运送器的哪个槽容纳基板W的第二槽信息。
[0121]同样，当第一运送器设置信息以及第二运送器设置信息被主计算机HC接收时，主计算机HC将第二任务生成指示(Job Create:任务生成)发送给第二控制装置24(步骤S9)，指示第二控制装置24生成任务。任务以在出发运送器C1保存的未处理基板W为单位生成。第二任务生成指示中包括任务的识别信息、用于识别作为该任务的对象的未处理基板的基板识别信息、应该应用于各未处理基板的处理方案的识别信息。
[0122]当从主计算机HC发送来的第二任务生成指示被第二控制装置24接收时，第二控制装置24利用在步骤S4-1生成的表格T1和第二任务生成指示，在第二控制装置24的内部生成图10所示的数据结构的任务Jobl (步骤S10)。任务Jobl包括任务ID和分别与多张未处理基板W建立关联的多个PJ (处理任务)。由于该任务是用于对在第一运送器C1保存的20张未处理基板(W1?W20)进行处理的任务，在任务Jobl中包括总计20个处理任务(PJ1?PJ20)。各处理任务PJ1?PJ20包括用于特定处理对象的未处理基板W的基板识别信息、用于特定处理对象的未处理基板W的处理方案的处理方案识别信息、用于特定处理对象的未处理基板的出发位置的出发运送器识别信息(在此设定有虚拟运送器识别信息)?槽识别信息(在此设定有虚拟槽识别信息)、用于特定处理后的基板W的目的位置的目的运送器识别信息.槽识别信息。参照表格T1，基于虚拟运送器生成指示所包含的第一运送器识别信息来生成虚拟运送器识别信息。由于在表格T1中第一运送器C1与虚拟运送器VCR建立对应，因此，作为出发运送器识别信息，设定与第一运送器C1对应的虚拟运送器VCR的识别信息VCR1 ID。另外，作为虚拟槽识别信息，一律设定虚拟数据。
[0123]在该时间点保存未处理基板W1?W20的第一运送器C1放置第二基板处理装置4的外部，对第二控制装置24来说，第一运送器C1位于无法识别的位置，因此无法将第一运送器C1的属性信息作为未处理基板W1?W20的出发地点来使用。通过将第一运送器C1的属性信息变换为虚拟运送器的属性信息，在未处理基板W1?W20位于与第二基板处理装置4不同的装置的时间点，能够对这些未处理基板W1?W20生成图10所示的数据结构的任务。
[0124]在各PJ中包括第二任务生成指示所指定的处理方案的识别信息。处理方案的内容可能针对每个基板W都不同，也可能在多张基板W都共用。第二控制装置24从在辅助存储装置37存储的多个处理方案中选择与任务(PJ)所指定的处理方案的识别信息对应的处理方案，将所选择的处理方案读取到主存储装置35。由此，与多张基板W对应的处理方案由第二控制装置24准备(步骤S11)。
[0125]如上所述，根据本实施方式，对于第二控制装置24，将在第一基板处理装置2配置的第一运送器C1指定为出发运送器。另外，将在第二基板处理装置4配置的第二运送器C2指定为目的运送器。因此，能够对第二基板处理装置4指示从在与第二基板处理装置4不同的装置即第一基板处理装置2配置的第一运送器C1向在第二基板处理装置4配置的第二运送器C2搬送基板W。
[0126]第一控制装置8使第一分度器模块6和第一处理模块7等的第一基板处理装置2所具有的资源，将在第一加载口 LP1保持的第一运送器C内的一张基板W搬送到第一处理模块7，使第一处理模块7处理基板W(步骤S12)。然后，第一控制装置8在由第一检查单元9检查处理完的基板W后，使第一基板处理装置2的资源将该基板W搬送到中间装置3。在多张基板W容纳在第一运送器C的情况下，第一控制装置8使第一基板处理装置2的资源反复执行这些动作。另外，第一控制装置8当完成对基板W的处理以及检查时，针对每个基板W将第一处理结果信息发送给主计算机HC (步骤S13)，将基板W的处理以及检查完成的情况传递给主计算机HC。在第一处理结果信息中包含表示在第一检查单元9的检查结果的检查信息。
[0127]当第一处理结果信息被主计算机HC时，主计算机HC选择与检查信息对应的处理方案的识别信息。然后，主计算机HC将包含所选择的处理方案的识别信息的处理方案替换指示发送给第二控制装置24(步骤S14)，使任务(PJ)所指定的当前的处理方案的识别信息变更为所选择的处理方案的识别信息。因此，第二控制装置24从在辅助存储装置37存储的多个处理方案中选择与所替换的处理方案的识别信息对应的处理方案，将所选择的处理方案读取到主存储装置35。由此，已经准备的任务中的处理方案的内容被置换为其他处理方案的内容，由第二控制装置24针对各基板W准备包含反映了检查结果的处理方案的任务(步骤S15)。
[0128]假设在步骤S14的时间点，在第二控制装置24的内部未生成用于各未处理基板W1?W20的任务，则第二控制装置24不会基于在步骤S14获取的处理方案替换指示对任务进行修正。在本实施方式中，由于在步骤S14之前的时间点，在第二控制装置24的内部生成用于未处理基板W1?W20的任务，所以第二控制装置24能够在未处理基板实际到达第二基板处理装置4之前的时间点，应对来自主计算机HC的上述处理方案替换指示。
[0129]在第一加载口 LP1设置的第一运送器C内容纳有多张基板W的情况下，第一控制装置8使进行了处理以及检查的多张基板W由第一分度器机械手IR1从第一基板处理装置2 —张一张搬送到中间装置3的上游支撑构件11。中间控制装置13使由第一分度器机械手IR1放置在上游支撑构件11上的基板W，由中间搬送机械手R3搬送到下游支撑构件12中的某个槽(步骤S16)。当中间搬送机械手R3向下游支撑构件12中的某个槽插入基板W时，中间控制装置13将基板到达信息发送给主计算机HC (步骤S17)，将基板W到达第二基板处理装置4的附近的情况传递给计算机HC。在基板到达信息中包括插入到下游支撑构件12的槽中的基板的基板识别信息、下游支撑构件12的识别信息、插入有基板W的槽的槽识别信息。
[0130]当基板到达信息被主计算机HC接收时，主计算机HC将基板到达信息发送给第二控制装置24 (步骤S18)，将基板W到达第二分度器机械手IR2能够搬送基板W的可搬送范围内的情况传递给第二控制装置24。如前所述，在基板到达信息中包括基板识别信息、下游支撑构件12的识别信息、插入有基板的槽的槽识别信息。当基板到达信息被第二控制装置24接收时，第二控制装置24如图11所示那样变更由基板识别信息特定的基板的处理任务PJ(步骤S18-1)。具体地说，将PJ所包含的虚拟运送器识别信息变更为下游支撑构件12的识别信息，并且将虚拟槽识别信息变更为下游支撑构件12的槽识别信息。因此，从主计算机HC向第二控制装置24发送的虚拟运送器生成指示变更为，从与第二基板处理装置4不同的装置即中间装置3的下游支撑构件12向在第二加载口 LP2保持的第二运送器C搬送基板W。
[0131]第二控制装置24原则上以与到达下游支撑构件12相同的顺序，由第二分度器机械手IR2从下游支撑构件12取出未处理基板W，由第二基板处理装置4进行搬送及/或处理。
[0132]如后述那样，第二控制装置24针对每个基板W作成将搬送到中间装置3的基板W搬送到第二处理模块23，并将由第二处理模块23处理的基板W搬送到在第二加载口 LP2保持的运送器C的计划。并且，第二控制装置24使第二分度器模块22和第二处理模块23等的第二基板处理装置4所具有资源执行该计划(步骤S19)。因此，由第一基板处理装置2处理过的基板W经由中间装置3从第一基板处理装置2搬送第二基板处理装置4。也就是说，基板W并不是在容纳在运送器C的状态下由运送器搬送机械手5搬送，而是利用第一基板处理装置2、第二基板处理装置4、以及中间装置3从第一基板处理装置2搬送到第二基板处理装置4。并且，搬送到第二基板处理装置4的基板W在由第二基板处理装置4处理后，容纳于在第二加载口 LP2保持的第二运送器C。然后，容纳有处理完的基板W的第二运送器C由运送器搬送机械手5搬送到进行下一工序的基板处理装置(步骤S20)。
[0133]图6是表示从由第二基板处理装置4生成任务起至由第二基板处理装置4处理基板W的流程图。
[0134]如上所述，第二基板处理装置4不仅能够应对未处理基板W从中间装置3通过直接搬入口 25a被搬送来的情况(以下称为“单张搬送”。)，而且能够应对容纳有未处理基板W的运送器C2由运送器搬送机械手5搬送到第二加载口 LP2的情况(以下称为“运送器搬送