的水平的垂直方向D2依次排列第一基板处理装置2、中间装置
3、以及第二基板处理装置4。
[0161]另外，在前述的实施方式中，对退避单元29的退避箱32具有在第二分度器机械手IR2侧打开的开口和在第二中央机械手CR2侧打开的开口的情况进行了说明，但是也可以以第二分度器机械手IR2以及第二中央机械手CR2中的一方仅访问退避单元29内的方式而省略2个开口中的一个。S卩，退避箱32构成为，第二分度器机械手IR2以及第二中央机械手CR2中的至少一个手部Η能够进入退避箱32的内部即可。
[0162]另外，在前述的实施方式中，对如下情况进行了说明，S卩，第二处理模块23具有临时保持单元27，第二分度器机械手IR2、第二中央机械手CR2、临时保持单元27构成第二搬送单元，也可以省略临时保持单元27，第二分度器机械手IR2以及第二中央机械手CR2直接进行基板W的交接。
[0163]另外，在前述的实施方式中，对如下情况进行了说明，S卩，由对下游闸门19进行开闭的第二开闭装置由中间控制装置13控制，该下游闸门19对直接搬入口 25a进行开闭，但是，第二开闭装置也可以由第二控制装置24控制。
[0164]另外，也可以组合前述的所有的实施方式中的2个以上。
[0165]对本发明的实施方式进行了详细说明，但这些只不过是用于使本发明的技术的内容更加清楚的具体例，本发明并不应该限定于这些具体例来解释，本发明的精神以及范围仅由权利要求书限定。
[0166]本申请对应于2013年7月29日向日本国特许厅提出的特愿2013-156946号，该申请的全部内容通过引用而编入于此。
[0167]附图标记的说明
[0168]1:基板处理系统
[0169]2:第一基板处理装置
[0170]3:中间装置
[0171]4:第二基板处理装置
[0172]9:第一检查单元
[0173]11:上游支撑构件
[0174]12:下游支撑构件
[0175]13:中间控制装置
[0176]14:中间箱
[0177]15:上游箱
[0178]16:箱主体
[0179]17:下游箱
[0180]18:上游闸门
[0181]19:下游闸门
[0182]20:排气管
[0183]22:第二分度器模块
[0184]23:第二处理模块
[0185]24:第二控制装置
[0186]25:第二分度器箱
[0187]25a:直接搬入口
[0188]27:临时保持单元
[0189]28:中继单元
[0190]29:退避单元
[0191]41:调度部
[0192]42:任务管理列表
[0193]43:任务管理部
[0194]44:调度引擎
[0195]45:处理执行指示部
[0196]C:运送器
[0197]CR2:第二中央机械手
[0198]HC:主计算机
[0199]IR1:第一分度器机械手
[0200]IR2:第二分度器机械手
[0201]LP1:第一加载口
[0202]LP2:第二加载口
[0203]MPC:第二处理单元
[0204]R3:中间搬送机械手
[0205]W:基板
【主权项】
1.一种基板处理装置，对应于来自主计算机的任务生成指示来作成任务，基于该任务在规定的管理区内执行基板的搬送及/或处理，其特征在于， 该基板处理装置与中间装置连接，该中间装置在第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下搬送该基板，该第一基板处理装置是在该基板处理装置之前的阶段处理基板的其他基板处理装置， 该基板处理装置具有: 直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板， 搬送单元，搬送要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板，并在所述管理区内搬送基板， 多个处理单元，对由所述搬送单元搬入的基板进行处理， 控制装置，对所述基板处理装置进行控制； 该控制装置执行: 第一步骤，当从所述主计算机报告要由该基板处理装置处理的预定的基板位于所述第一基板处理装置时，将该基板的在所述第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储， 第二步骤，当从所述主计算机发出所述基板的任务生成指示时，使用所述虚拟基板位置信息生成用于将所述基板在该基板处理装置进行搬送及/或处理的任务。2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 所述控制装置还执行第三步骤，使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息，在该基板搬入所述基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划包括使所述搬送单元将要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板从所述基板处理装置的外部搬送到所述基板处理装置的内部的搬入工序。3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于， 所述控制装置还执行第四步骤，设定与检查单元的检查结果相应的基板处理条件，该检查单元在由所述第一基板处理装置处理过的基板搬入所述基板处理装置之前检查该基板， 所述第三步骤包括使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息在该基板搬入所述基板处理装置之前作成所述第二计划的步骤，所述第二计划包括所述搬入工序、使所述多个处理单元以所述基板处理条件处理在所述搬入工序搬送到所述多个处理单元的基板的处理工序。4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于， 所述第四步骤包括根据在所述第一基板处理装置以及中间装置中的一方设置的所述检查单元的检查结果来设定所述基板处理条件的步骤。5.如权利要求2?4中任一项所述的基板处理装置，其特征在于， 所述基板处理装置还包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口， 所述第三步骤包括以要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板由所述搬送单元避开所述多个处理单元而从所述基板处理装置的外部搬送到所述加载口的方式作成所述第二计划的步骤。6.如权利要求2?4中任一项所述的基板处理装置，其特征在于， 所述基板处理装置还包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口和使基板退避的退避单元， 所述第三步骤包括以要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板由所述搬送单元从所述基板处理装置的外部搬送到所述退避单元，并从所述退避单元搬送到所述多个加载口的方式作成所述第二计划的步骤。7.如权利要求2?6中任一项所述的基板处理装置，其特征在于， 所述基板处理装置还包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口， 所述控制装置还执行作成第一计划的第五步骤， 该第一计划包括使所述搬送单元将基板从所述多个加载口搬送到所述多个处理单元的搬入工序、使所述多个处理单元处理搬送到所述多个处理单元的基板的处理工序、使所述搬送单元将由所述多个处理单元处理过的基板从所述多个处理单元搬送到所述多个加载口的搬出工序。8.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于， 所述控制装置还执行第六步骤，停止执行所述第一计划以及第二计划中的一个，使所述基板处理装置执行所述第一计划以及第二计划中的另一个。9.一种基板处理方法，由基板处置装置执行， 该基板处置装置对应于来自主计算机的任务生成指示来作成任务，基于该任务在规定的管理区内执行基板的搬送及/或处理， 该基板处理装置与中间装置连接，该中间装置在第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下搬送该基板，该第一基板处理装置是在该基板处理装置之前的阶段处理基板的其他基板处理装置， 该基板处理装置具有: 直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板， 搬送单元，搬送经由所述直接搬入口搬入所述基板处理装置的基板，并在所述管理区内搬送基板， 多个处理单元，对由所述搬送单元搬入的基板进行处理， 控制装置，对所述基板处理装置进行控制；其特征在于， 该基板处理方法包括: 第一步骤，当从所述主计算机报告要由该基板处理装置处理的预定的基板位于所述第一基板处理装置时，将该基板的在所述第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储， 第二步骤，当从所述主计算机发出所述基板的任务生成指示时，使用所述虚拟基板位置信息生成用于将所述基板在该基板处理装置进行搬送及/或处理的任务。10.如权利要求9所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理方法还包括第三步骤，使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息，在该基板搬入所述基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划包括使所述搬送单元将要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板从所述基板处理装置的外部搬送到所述基板处理装置的内部的搬入工序。11.如权利要求10所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理方法还包括第四步骤，设定与检查单元的检查结果相应的基板处理条件，该检查单元在由所述第一基板处理装置处理过的基板搬入所述基板处理装置之前检查该基板， 所述第三步骤包括使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息在该基板搬入所述基板处理装置之前作成所述第二计划的步骤，所述第二计划包括所述搬入工序、使所述多个处理单元以所述基板处理条件处理在所述搬入工序搬送到所述多个处理单元的基板的处理工序。12.如权利要求11所述的基板处理方法，其特征在于， 所述第四步骤包括根据在所述第一基板处理装置以及中间装置中的一方设置的所述检查单元的检查结果来设定所述基板处理条件的步骤。13.如权利要求10?12中任一项所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理装置还包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口， 所述第三步骤包括以要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板由所述搬送单元避开所述多个处理单元而从所述基板处理装置的外部搬送到所述加载口的方式作成所述第二计划的步骤。14.如权利要求10?12中任一项所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理装置还包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口和使基板退避的退避单元， 所述第三步骤包括以要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板由所述搬送单元从所述基板处理装置的外部搬送到所述退避单元，并从所述退避单元搬送到所述多个加载口的方式作成所述第二计划的步骤。15.如权利要求10?14中任一项所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理装置还包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口， 所述基板处理方法还包括作成第一计划的第五步骤， 该第一计划包括使所述搬送单元将基板从所述多个加载口搬送到所述多个处理单元的搬入工序、使所述多个处理单元处理搬送到所述多个处理单元的基板的处理工序、使所述搬送单元将由所述多个处理单元处理过的基板从所述多个处理单元搬送到所述多个加载口的搬出工序。16.如权利要求15所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理方法还包括第六步骤，停止执行所述第一计划以及第二计划中的一个，使所述基板处理装置执行所述第一计划以及第二计划中的另一个。17.—种基板处理系统，其特征在于，具有: 第一基板处理装置，对基板进行处理； 权利要求1?8中任一项所述的基板处理装置； 中间装置，在所述第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下，在所述第一基板处理装置和所述基板处理装置之间搬送该基板。
【专利摘要】第二基板处理装置的第二控制装置通过生成虚拟运送器，在基板搬入第二基板处理装置之前存储经由直接搬入口向第二基板处理装置搬入的该基板的位置信息。并且，第二控制装置基于预先存储的在第二基板处理装置外的基板的位置信息，在该基板搬入第二基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划是将要经由直接搬入口向第二基板处理装置搬入的基板从第二基板处理装置的外部向第二基板处理装置的内部搬送的计划。
【IPC分类】H01L21/02, H01L21/677, G05B19/418
【公开号】CN105431923
【申请号】CN201480042846
【发明人】越田隆
【申请人】株式会社思可林集团
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2014年7月10日
【公告号】US20160161941, WO2015016033A1