基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对基板进行处理的基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统。作为成为处理对象的基板，包括例如半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子体显示器用基板、FED(Field Emiss1n Display:场发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳电池用基板等。
【背景技术】
[0002]在半导体装置和液晶显不装置等制造工序中，对半导体晶片和液晶显不装置用玻璃基板等的基板进行包含清洗处理、热处理、成膜处理、蚀刻处理、抗蚀剂涂敷处理、曝光处理、以及显影处理中的2个以上的多个工序。
[0003]在专利文献1中公开了进行成膜处理的成膜处理装置、对由成膜处理装置成膜处理后的基板进行清洗的清洗装置、在成膜处理装置和清洗装置之间进行基板的交接的中间交接部、将容纳多张基板的基板搬送用盒向成膜处理装置搬送的盒搬送装置。
[0004]在专利文献2中公开了一种具有计算机的基板处理装置，该计算机作成在基板处理装置内对搬送到基板处理装置的基板容纳器内的多张基板进行搬送以及处理的计划。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开平10-321575号公报
[0008]专利文献2:美国专利申请公开第2013/0073069号说明书
【发明内容】
[0009]发明所要解决的问题
[0010]如专利文献1所记载那样，为了提高基板的品质，想要缩短在某个基板处理装置结束基板的处理至在其他基板处理装置开始基板的处理的时间。但是，如专利文献2所记载那样，基板处理装置作成并执行在该装置内搬送基板的计划。因此，在如专利文献1那样在3个装置(成膜装置、中间交接部以及清洗装置)之间直接搬送基板的情况下，有可能无法在装置之间顺利地搬送基板，产生搬送时间的损失。
[0011]因此，本发明的一个目的在于，提供能够缩短可顺利地在多个装置之间搬送基板的时间的基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统。
[0012]用于解决问题的手段
[0013]用于实现上述目的的本发明的一实施方式提供一种基板处理装置，对应于来自主计算机的任务生成指示来作成任务，基于该任务在规定的管理区内执行基板的搬送及/或处理，
[0014]该基板处理装置与中间装置连接，该中间装置在第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下搬送该基板，该第一基板处理装置是在该基板处理装置之前的阶段处理基板的其他基板处理装置，
[0015]该基板处理装置具有:
[0016]直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，
[0017]搬送单元，搬送要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板，并在所述管理区内搬送基板，
[0018]多个处理单元，对由所述搬送单元搬入的基板进行处理，
[0019]控制装置，对所述基板处理装置进行控制。
[0020]该控制装置执行:
[0021]第一步骤，当从所述主计算机报告要由该基板处理装置处理的预定的基板位于所述第一基板处理装置时，将该基板的在所述第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储，
[0022]第二步骤，当从所述主计算机发出所述基板的任务生成指示时，使用所述虚拟基板位置信息生成用于将所述基板在该基板处理装置进行搬送及/或处理的任务。
[0023]根据该结构，基板处理装置的控制装置将预定处理的基板的在第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储。为了作成与来自主计算机的任务生成指示对应的任务，需要预定处理的基板的位置信息，而在本发明中，预定处理的基板到达基板处理装置之前的阶段以虚拟基板位置信息的形式预先准备预定处理的基板的位置信息。因此，能够从在基板实际到达基板处理装置之前的阶段执行任务的作成作业。由此，能够在多个基板处理装置之间顺利地搬送基板。
[0024]所述控制装置还可以执行第三步骤，使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息，在该基板搬入所述基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划包括使所述搬送单元将要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板从所述基板处理装置的外部搬送到所述基板处理装置的内部的搬入工序。
[0025]根据该结构，由第一基板处理装置处理过的基板经由在对基板直接支撑的状态下搬送的中间装置搬入基板处理装置。并且，搬入基板处理装置的基板由搬送单元搬送，根据需要由处理单元处理。控制装置存储搬入基板处理装置之前的基板的位置信息、即在基板处理装置外的基板的位置信息。并且，控制装置在基板经由直接搬入口从中间装置向基板处理装置搬入之前，基于预先存储的位置信息，作成经由直接搬入口从基板处理装置外向基板处理装置中搬送基板的第二计划。这样，由于作成包含在基板处理装置外的基板的搬送工序的第二计划，所以能够从基板处理装置外向基板处理装置中顺利地搬送基板。其结果，能够减少搬入第一基板处理装置的基板经由中间装置搬入基板处理装置之前产生的时间的损失。由此，能够缩短从第一基板处理装置至基板处理装置的基板的搬送时间。
[0026]所述控制装置还可以执行第四步骤，设定与检查单元的检查结果相应的基板处理条件，该检查单元在由所述第一基板处理装置处理过的基板搬入所述基板处理装置之前检查该基板。
[0027]所述第三步骤可以包括使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息在该基板搬入所述基板处理装置之前作成所述第二计划的步骤，所述第二计划包括所述搬入工序、使所述多个处理单元以所述基板处理条件处理在所述搬入工序搬送到所述多个处理单元的基板的处理工序。
[0028]根据该结构，由第一基板处理装置处理过的基板的品质在该基板搬入基板处理装置之前被检查。控制装置以如下方式作成第二计划，即，不仅搬送单元从直接搬入口向基板处理装置的内部搬送基板，而且处理单元以与检查结果相应的基板处理条件处理基板。因此，能够由处理单兀进彳丁与基板的品质相应的处理，提尚基板的品质。
[0029]所述第四步骤可以包括根据在所述第一基板处理装置以及中间装置中的一方设置的所述检查单元的检查结果来设定所述基板处理条件的步骤。
[0030]根据该结构，检查单元设置在第一基板处理装置以及中间装置中的一方，由第一基板处理装置处理过的基板的品质由第一基板处理装置以及中间装置中的一方检查。在检查单元设置在除了第一基板处理装置以及中间装置以外的装置、即设置在基板的搬送路径外的情况下，需要将基板搬送到第一基板处理装置以及中间装置外，产生相应的多余的搬送时间。因此，通过在第一基板处理装置以及中间装置中的一方设置检查单元，能够缩短从第一基板处理装置至基板处理装置的基板的搬送时间。
[0031]所述第三步骤可以包括以要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板由所述搬送单元避开所述多个处理单元而从所述基板处理装置的外部搬送到所述加载口的方式作成所述第二计划的步骤。
[0032]根据该结构，控制装置以搬送单元经由直接搬入口从中间装置向加载口搬送基板的方式作成第二计划。因此，经由直接搬入口搬入到基板处理装置的基板未被多个处理单元处理，而搬送到加载口。例如在由第一基板处理装置处理过的基板不良的情况下，在第二基板处理装置处理基板就变得浪费。因此，在这种情况下，能够避开在第二基板处理装置的基板的处理，能够提高第二基板处理装置的运转率。进而，由于相比基板经由处理单元的情况，搬送路径变短，因此能够缩短基板在第二基板处理装置内的停留时间。因此，例如在从中间装置向基板处理装置搬入的基板被污染的情况下，能够抑制或防止由在基板附着的异物污染基板处理装置的内部。由此，能够提高其他基板的品质。
[0033]所述基板处理装置还可以包括使基板退避的退避单元。所述第三步骤可以包括以要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板由所述搬送单元从所述基板处理装置的外部搬送到所述退避单元，并从所述退避单元搬送到所述多个加载口的方式作成所述第二计划的步骤。优选退避单元配置在向多个处理单元搬送的基板的搬送路径(在基板处理装置内的搬送路径)夕卜。
[0034]根据该结构，控制装置以搬送单元经由直接搬入口从中间装置向退避单元搬送基板，然后，从退避单元向多个加载口搬送该基板的方式作成第二计划。即，通过直接搬入口搬入基板处理装置的基板取代经由多个处理单元而经由使基板退避的退避单元，从中间装置搬送到多个加载口。如前所述，在由第一基板处理装置处理过的基板不良的情况下，在第二基板处理装置处理基板变得浪费。因此，在这种情况下，通过避开在第二基板处理装置处理基板，能够提高第二基板处理装置的运转率。进而，由于基板取代经由处理单元而经由退避单元，所以控制装置与由处理单元处理的基板同样地作成应退避的基板的计划。
[0035]所述基板处理装置还可以包括分别保持能够容纳多张基板的多个运送器的多个加载口。所述控制装置还可以执行作成第一计划的第五步骤，该第一计划包括使所述搬送单元将基板从所述多个加载口搬送到所述多个处理单元的搬入工序、使所述多个处理单元处理搬送到所述多个处理单元的基板的处理工序、使所述搬送单元将由所述多个处理单元处理过的基板从所述多个处理单元搬送到所述多个加载口的搬出工序。
[0036]根据该结构，分别保持多个运送器的多个加载口设置在基板处理装置。控制装置以运送器内的基板从加载口搬送到处理单元，由处理单元处理过的基板从处理单元搬送到加载口的方式作成第一计划。这样，基板处理装置不仅能够从直接搬入口接受基板，而且也能够从加载口接受基板，所以能够提高基板处理装置的运转率。
[0037]所述控制装置还可以执行第六步骤，停止执行所述第一计划以及第二计划中的一个，使所述基板处理装置执行所述第一计划以及第二计划中的另一个。
[0038]根据该结构，暂时停止或中止第一计划以及第二计划中的一个、即暂时停止或中止与应优先的优先计划不同的非优先计划。并且，通过基板处理装置执行第一计划以及第二计划中的另一个、即优先计划。因此，能够提早开始与优先计划对应的基板的处理。因此，关于与优先计划对应的基板，能够缩短从结束在先行装置(第一基板处理装置)的基板的处理起至开始在后续装置(第二基板处理装置)的基板的处理的时间。
[0039]本发明的其他实施方式提供一种基板处理方法，由基板处置装置执行，
[0040]该基板处置装置对应于来自主计算机的任务生成指示来作成任务，基于该任务在规定的管理区内执行基板的搬送及/或处理，
[0041]该基板处理装置与中间装置连接，该中间装置在第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下搬送该基板，该第一基板处理装置是在该基板处理装置之前的阶段处理基板的其他基板处理装置，
[0042]该基板处理装置具有:
[0043]直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，
[0044]搬送单元，搬送经由所述直接搬入口搬入所述基板处理装置的基板，并在所述管理区内搬送基板，
[0045]多个处理单元，对由所述搬送单元搬入的基板进行处理，
[0046]控制装置，对所述基板处理装置进行控制。
[0047]该基板处理方法包括:
[0048]第一步骤，当从所述主计算机报告要由该基板处理装置处理的预定的基板位于所述第一基板处理装置时，将该基板的在所述第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储，
[0049]第二步骤，当从所述主计算机发出所述基板的任务生成指示时，使用所述虚拟基板位置信息生成用于将所述基板在该基板处理装置进行搬送及/或处理的任务。根据该方法，能够发挥与前述的效果相同的效果。
[0050]所述基板处理方法还包括第三步骤，使用在所述第一步骤存储的虚拟位置信息，在该基板搬入所述基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划包括使所述搬送单元将要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板从所述基板处理装置的外部搬送到所述基板处理装置的内部的搬入工序。根据该方法，能够发挥与前述的