扫描电镜用铜网支架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于扫描电镜能谱精确定性分析纳米级和亚微米级材料元素成分的装置。
【背景技术】
[0002]目前，扫描电镜固定样品的方式主要是将其固定在粘有导电胶的样品台上进行形貌观察和能谱元素成分分析，这种方法的不足之处就是对于纳米级颗粒的样品，其下方的导电胶和样品台过厚，穿过样品的电子束不能将其穿透，从而在样品下方形成较大的相互作用区，能谱的空间分辨率降低，会造成基体以及周围颗粒的元素信息都会在目标测试结果中显现出来，因而不能准确定性目标样品的元素成分。
【发明内容】
[0003]为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种扫描电镜用铜网支架。本实用新型的技术方案是：扫描电镜用铜网支架，包括载网支架和支架顶端固定器，该支架顶端固定器与载网支架作可拆卸连接；所述的载网支架整体呈凸字形设置，包括圆柱形底座和与圆柱形底座一体成型的螺杆，所述的螺杆设置在圆柱形底座上；所述的螺杆和圆柱形底座的内部均为中空的结构。
[0004]所述的支架顶端固定器整体呈圆柱形设置，在其中部开设有中心孔，所述的中心孔的内壁设置有与螺杆外螺纹配合的内螺纹；在所述的中心孔处的支架顶端固定器上还安装有压片。
[0005]所述的压片为三个，沿中心孔的圆周方向均匀布置。
[0006]所述的圆柱形底座的侧壁开设有固定槽。
[0007]所述的载网支架和支架顶端固定器采用铝合金制作而成。
[0008]在所述螺杆的顶端设置有台阶槽。
[0009]本实用新型的优点是：有效提高了能谱的空间分辨率，使定性分析微纳米级颗粒样品的元素组成的精确性得到提高；该装置的整体稳定性较好，其侧面的凹槽设计可以很好的将该装置固定于装配有螺丝的样品台上，三个压片将铜网固定在载网支架的顶端，有利于高倍数条件下样品颗粒的形貌观察、能谱的元素定性和分布分析，该支架的适用性较好，可以放在任何品牌的扫描电镜样品室中，安装简便快捷。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的主体结构示意图。
[0011]图2是图1中载网支架和支架固定器结合时的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。
[0013]参见图1和图2,本实用新型涉及一种扫描电镜用铜网支架，包括载网支架1和支架顶端固定器2,该支架顶端固定器2与载网支架1作可拆卸连接；在使用时，铜网3安装在载网支架1的顶端，该支架顶端固定器2将所述的铜网3固定在载网支架1上。
[0014]所述的载网支架整体呈凸字形设置，高为10_，包括圆柱形底座11和与圆柱形底座11 一体成型的螺杆12,所述的螺杆12设置在圆柱形底座11上；所述的螺杆12和圆柱形底座11的内部均为中空的结构。
[0015]铜网3安装在螺杆12的端部。螺杆（由于螺杆为中空结构，所以有内径和外径)的内径为2. 6mm，
[0016]所述的支架顶端固定器2整体呈圆柱形设置，外圆的直径为7_，与载网支架1的外圆直径一致，在其中部开设有中心孔21，中心孔21的直径为3. 8_，所述的中心孔21内壁设置有与空心螺杆12外螺纹配合的内螺纹；在所述的中心孔21处的支架顶端固定器2上还安装有压片22,该压片22将所述的铜网3压紧，压片22的厚度和长度不超过0. 2_。
[0017]在本实施例中，所述的压片为三个，沿中心孔的圆周方向均匀布置。
[0018]所述的圆柱形底座11的侧壁开设有固定槽13。
[0019]所述的载网支架1和支架顶端固定器2采用铝合金制作而成。
[0020]在所述螺杆12的顶端设置有台阶槽，铜网置入该台阶槽内，台阶槽的深度为0. 02mm，
[0021]本实用新型的工作原理是：用镊子夹住已覆载样品颗粒的铜网边缘，将其放置在空心螺杆的台阶槽内，用支架顶端固定器从载网支架上部沿螺纹的方向向下旋转，直至三个压片与铜网上边缘接触为止，此时装置组装完毕；可将该装置用导电胶粘附于样品台上，也可固定在装配有螺丝的样品台中；测试完成后，向上拧下支架顶端固定器，用精密尖头镊子取出铜网。
【主权项】
1.一种扫描电镜用铜网支架，其特征在于，包括载网支架和支架顶端固定器，该支架顶端固定器与载网支架作可拆卸连接；所述的载网支架整体呈凸字形设置，包括圆柱形底座和与圆柱形底座一体成型的螺杆，所述的螺杆设置在圆柱形底座上；所述的螺杆和圆柱形底座的内部均为中空的结构。2.根据权利要求1所述的扫描电镜用铜网支架，其特征在于，所述的支架顶端固定器整体呈圆柱形设置，在其中部开设有中心孔，所述的中心孔的内壁设置有与螺杆外螺纹配合的内螺纹；在所述的中心孔处的支架顶端固定器上还安装有压片。3.根据权利要求2所述的扫描电镜用铜网支架，其特征在于，所述的压片为三个，沿中心孔的圆周方向均匀布置。4.根据权利要求1所述的扫描电镜用铜网支架，其特征在于，所述的圆柱形底座的侧壁开设有固定槽。5.根据权利要求1所述的扫描电镜用铜网支架，其特征在于，所述的载网支架和支架顶端固定器采用铝合金制作而成。6.根据权利要求1所述的扫描电镜用铜网支架，其特征在于，在所述螺杆的顶端设置有台阶槽。
【专利摘要】本实用新型涉及一种扫描电镜用铜网支架，包括载网支架和支架顶端固定器，该支架固定器与载网支架作可拆卸连接。本实用新型的优点是：有效提高了能谱的空间分辨率，使定性分析纳米级和亚微米级颗粒样品的元素组成的精确性得到提高；该装置的整体稳定性较好，其侧面的固定槽设计可以很好的将该装置固定于装配有螺丝的样品台上，三个压片将铜网固定在载网支架的顶端，有利于高倍数条件下样品颗粒的形貌观察、能谱的元素定性和分布分析，该装置的适用性较好，可以放在任何品牌的扫描电镜样品室中，安装简便快捷。
【IPC分类】H01J37/20
【公开号】CN205069578
【申请号】CN201520794244
【发明人】黎爽, 蔡锴, 邓平晔
【申请人】北京市理化分析测试中心
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月15日