一种可替换定位销结构的托盘的制作方法
【专利摘要】一种可替换定位销结构的托盘,包括托盘定位销、托盘凸台，在托盘上设置有定位槽，托盘定位销设置在定位槽中，由定位螺丝穿过托盘定位销与设置在定位槽中的螺纹孔联接，托盘定位销的上端插入在盖板上的定位孔中。所述的定位槽的中心设置有螺纹孔，螺纹孔为盲孔；定位槽的四周形状与托盘定位销及盖板上的定位孔四周形状一致；托盘定位销与定位槽之间的外形尺寸配合性质选择为过渡配合。本实用新型结构简单、合理，加工、维修、装拆更换方便；对托盘上裸露在腐蚀性环境中的部分进行镀镍处理，提高其耐腐蚀性能；被腐蚀部分设计成可更换式结构，产生消耗后只需更换受损部件，大大延长了托盘及盖板的使用寿命，降低了生产成本。
【专利说明】
一种可替换定位销结构的托盘
技术领域
[0001]本实用新型涉及到半导体工艺装备中LED刻蚀技术领域，具体的说是涉及到LED刻蚀机中核心组件蓝宝石托盘的结构，一种可替换定位销结构的托盘。
【背景技术】
[0002]LED刻蚀机用托盘是LED刻蚀机核心部件之一，用来装载蓝宝石基片或者GaN外延片。工艺过程中托盘盖板机构中的盖板上表面及托盘定位销裸露在腐蚀性环节中，蓝宝石晶片被刻蚀的同时，托盘盖板的裸露部分也受到工艺气体的腐蚀，根据实际使用过程中的经验，每一次完整工艺后，托盘定位销会被腐蚀掉约0.1mm。托盘及盖板的平均寿命只能分别在150、100个完整工艺。在大批量的生产过程中，每件托盘及盖板的成本费用近4千元人民币，现有技术中的托盘及盖板的结构，消耗量非常巨大，增加了企业生产成本。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的就是要提供一种可替换定位销结构的托盘，它能克服现有技术存在的以上问题。本实用新型的目的是这样实现的，一种可替换定位销结构的托盘，包括托盘定位销、托盘凸台，其特征在于:在托盘上设置有定位槽，托盘定位销设置在定位槽中，由定位螺丝穿过托盘定位销与设置在定位槽中的螺纹孔联接，托盘定位销的上端插入在盖板上的定位孔中。
[0004]所述的定位槽，在托盘的上表面可以对称设置或均布三等分设置；
[0005]所述的定位槽的中心设置有螺纹孔，所述的螺纹孔为盲孔；
[0006]所述的托盘定位销的表面镀镍处理；
[0007]所述的定位螺丝表面镀镍处理；
[0008]所述的定位槽的四周形状与托盘定位销及盖板上的定位孔四周形状一致;所述的托盘定位销与定位槽之间的外形尺寸配合性质选择为过渡配合。
[0009]本实用新型结构简单、合理，加工、维修、装拆更换方便;对托盘上裸露在腐蚀性环境中的部分进行镀镍处理，提高其耐腐蚀性能;被腐蚀部分设计成可更换式结构，产生消耗后只需更换受损部件，大大延长了托盘及盖板的使用寿命，降低了生产成本。
[0010]【附图说明】:
[0011 ]图1可替换定位销结构的托盘示意图；
[0012]图2托盘与盖板工作装配示意图；
[0013]图3托盘与盖板工作装配爆炸示意图；
[0014]图4托盘定位销在托盘上的爆炸示意图；
[0015]1.托盘定位销，2.托盘凸台，3.托盘外围环成区域，4.定位孔，5.定位槽，6.螺纹孔，8.定位螺纹。
[0016]【具体实施方式】:
[0017]下面结合附图对本实用新型作进一步说明；
[0018]—种可替换定位销结构的托盘，包括托盘定位销1、托盘凸台2，其特征在于:在托盘上设置有定位槽5，托盘定位销I设置在定位槽5中，由定位螺丝8穿过托盘定位销I与设置在定位槽5中的螺纹孔6联接，托盘定位销I的上端插入在盖板上的定位孔4中。
[0019]所述的定位槽5，在托盘的上表面可以对称设置或均布三等分设置；
[0020]所述的定位槽5的中心设置有螺纹孔6，所述的螺纹孔6为盲孔；
[0021 ]所述的托盘定位销I的表面镀镍处理；
[0022]所述的定位螺丝的表面镀镍处理；
[0023]所述的定位槽5的四周形状与托盘定位销I及盖板上的定位孔4四周形状一致;所述的托盘定位销I与定位槽5之间的外形尺寸配合性质选择为过渡配合。
[0024]如图1所示，为可替换定位销结构的托盘示意图；工作过程中两个托盘定位销I上表面暴露在腐蚀环境中；
[0025]如图2托盘与盖板工作装配示意图、图3托盘与盖板工作装配爆炸示意图所示；
[0026]环形配重块压在盖板未覆盖托盘外围环形区域3，在固定托盘的同时避免此区域直接接触腐蚀环境；
[0027]如图4所示，托盘定位销在托盘上的爆炸示意图；(I)托盘上设计定位槽5;(2)定位槽底部设计有螺纹孔6，所述的螺纹孔6为盲孔，能避免破坏托盘的密封性能；；(3)托盘定位销I表面镀镍处理，与定位槽5之间的配合性质为过渡配合;(4)定位螺纹8表面镀镍处理。
[0028]本实用新型将直接暴露在腐蚀环境中的托盘定位销，设计成可替换式结构，并做表面镀镍处理增加其耐腐蚀性能。当暴露在外的托盘定位销被腐蚀、消耗后，进行简单的替换即可以重新使用，延长托盘的使用寿命，降低了企业生产成本。
【主权项】
1.一种可替换定位销结构的托盘，包括托盘定位销(I)、托盘凸台(2)，其特征在于:在托盘上设置有定位槽(5)，托盘定位销(I)设置在定位槽(5)中，由定位螺丝(8)穿过托盘定位销(I)与设置在定位槽(5)中的螺纹孔(6)联接，托盘定位销(I)的上端插入在盖板上的定位孔(4)中。2.根据权利要求1所述的一种可替换定位销结构的托盘，其特征在于:所述的定位槽(5)，在托盘的上表面可以对称设置或均布三等分设置。3.根据权利要求1或2所述的一种可替换定位销结构的托盘，其特征在于:所述的定位槽(5)的中心设置有螺纹孔(6)，所述的螺纹孔(6)为盲孔。4.根据权利要求1所述的一种可替换定位销结构的托盘，其特征在于:所述的托盘定位销(I)的表面镀镍处理。5.根据权利要求1所述的一种可替换定位销结构的托盘，其特征在于:所述的定位螺丝(8)的表面镀镍处理。6.要据权利要求1所述的一种可替换定位销结构的托盘，其特征在于:所述的定位槽(5)的四周形状与托盘定位销(I)及盖板上的定位孔(4)四周形状一致;所述的托盘定位销(I)与定位槽(5)之间的外形尺寸配合性质选择为过渡配合。
【文档编号】H01L33/00GK205645776SQ201620481667
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月25日
【发明人】游利, 冯昌延
【申请人】靖江先锋半导体科技有限公司