漏水检知线固定装置及其方法与流程

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种漏水检知线固定装置；本发明还涉及一种漏水检知线固定方法。

背景技术：
半导体集成电路生产中大量使用纯水(DIwater)、冷却水(PCW)以及液态化学品等，为了及时发现机台及管道的漏水、漏液等异常情况需要在半导体生产厂房(FAB)内布设漏水检知线，FAB内生产设备众多且面积大，一个FAB内设置的漏水检知线的总长度能够超过1万米。现有技术中，漏水检知线一般采用固定块或线槽布设，使用现有固定方法来布设漏水检知线存在如下主要缺点：1.容易被推车、路过的人员、推动的物品拉扯、引起断裂，造成无法报警。FAB内的推车一般用于搬送晶圆以及机台设备的所需要的部件或维修工具，推车以及工作人员众多，所以漏水检知线很容易被拉扯到，甚至引起断裂，断裂后的漏水检知线将无法工作。2.被拉扯、触碰后容易偏离原有检测位置，造成漏水、漏液时无法被及时发现，延误处置时间，可能引发更大危害。也即使漏水检知线没有拉扯到断裂，但是，漏水检知线会被移位，移位后漏水检知线虽然能工作，但是漏水检知线所检测的位置不再是被监控的位置，当被监控的位置发生漏水时同样无法被检测。由于漏水检知线本身布设的数量多且总长度长，而FAB内的工作人员和推车等众多，很容易发生漏水检知线被拉扯的情形，而为了使漏水检知线处于正常布线位置，需要耗费大量人力进行定期整理。另外，需要注意的是，FAB是一个特需的应用场景，FAB的漏水检知线需要布设在地面上，经常会有人员或推车等通过，这和普通线缆通常布设在人员物品通常不会碰到的地方(比如墙面、线槽等)是不同的。故如果避免漏水检知线被拉扯后不发生断裂或移位是一个比较重要和复杂的问题，现有方法为了使漏水检知线处于正常布线位置，需要耗费大量人力进行定期整理；但是即使耗费大量人力进行定期整理，在定期整理间隔内漏水检知线随时有可能被拉扯，从而使得不能实现对漏水检测位置的实时监测。而FAB中的半导体设备昂贵，且有众多有毒有害的化学物品，且形成有集成电路的晶圆产品也价格昂贵，一旦发生漏水事故而没有被检测到，将会造成重大损失。

技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是提供一种漏水检知线固定装置，能防止漏水检知线被扯断，能漏水检知线在被拉扯后自动回复到原有检测位置。为此，本发明还提供一种漏水检知线固定方法。为解决上述技术问题，本发明提供的漏水检知线固定装置包括：固定底座，用于固定于漏水检测位置。活动固定块，通过弹性装置和所述固定底座连接，所述活动固定块上设置有线缆布置装置，所述线缆布置装置供漏水检知线布置。漏水检知线固定装置包括正常状态和分离状态。所述漏水检知线未受外力时处于正常状态，所述弹性装置使所述活动固定块回复到所述固定底座上，所述漏水检知线实现对所述固定底座设置位置处的漏水检测。所述漏水检知线受到外力拉扯时处于分离状态，所述活动固定块脱离所述固定底座，所述弹性装置进行拉长从而吸收所述漏水检知线受到的外力，防止所述漏水检知线被断裂。进一步的改进是，所述固定底座通过双面胶粘贴并固定在漏水检测位置。进一步的改进是，所述固定底座的顶部呈中间内凹弧形，所述活动固定块的底部呈中间外凸弧形，在正常状态时所述活动固定块的中间外凸弧形位于所述固定底座的中间内凹弧形内并相匹配。进一步的改进是，所述弹性装置为自动回弹绕线装置，所述弹性装置固定在所述固定底座上，所述活动固定块的底部和一连接线的第一端相连，所述连接线的第二端连接所述自动回弹绕线装置的绕线。进一步的改进是，所述连接线为尼龙线。进一步的改进是，所述线缆布置装置包括十字固定槽，所述漏水检知线的布置方式有两种，第一种布置方式为所述漏水检知线穿过所述十字固定槽中的一整条直线槽；第二种布置方式为所述漏水检知线从所述十字固定槽中的一个直线槽穿入并在中点时进行直角转弯从另一个直线槽穿出。进一步的改进是，所述线缆布置装置还包括一盖板，所述盖板在所述漏水检知线的布置完成后覆盖在所述十字固定槽上。进一步的改进是，所述固定底座带有磁性，通过磁性使所述活动固定块回复到所述固定底座上时对所述活动固定块进行位置和方向调整。进一步的改进是，漏水检知线固定装置设置在半导体生产厂房，所述漏水检测位置位于所述半导体生产厂房的地面，所述漏水检知线穿过多个漏水检知线固定装置。为解决上述技术问题，本发明提供的漏水检知线固定方法包括如下步骤：步骤一、将固定底座固定在漏水检测位置处。步骤二、通过弹性装置连接活动固定块和所述固定底座。步骤三、将漏水检知线布置在所述活动固定块的线缆布置装置上。当所述漏水检知线未受外力时漏水检知线固定装置处于正常状态，所述弹性装置使所述活动固定块回复到所述固定底座上，所述漏水检知线实现对所述固定底座设置位置处的漏水检测。当所述漏水检知线受到外力拉扯时所述漏水检知线固定装处于分离状态，所述活动固定块脱离所述固定底座，所述弹性装置进行拉长从而吸收所述漏水检知线受到的外力，防止所述漏水检知线被断裂。进一步的改进是，步骤一中通过双面胶将所述固定底座粘贴并固定在漏水检测位置。进一步的改进是，所述固定底座的顶部呈中间内凹弧形，所述活动固定块的底部呈中间外凸弧形，在正常状态时所述活动固定块的中间外凸弧形位于所述固定底座的中间内凹弧形内并相匹配。进一步的改进是，所述弹性装置为自动回弹绕线装置，所述弹性装置固定在所述固定底座上，所述活动固定块的底部和一连接线的第一端相连，所述连接线的第二端连接所述自动回弹绕线装置的绕线。进一步的改进是，所述连接线为尼龙线。进一步的改进是，所述线缆布置装置包括十字固定槽，所述漏水检知线的布置方式有两种，第一种布置方式为所述漏水检知线穿过所述十字固定槽中的一整条直线槽；第二种布置方式为所述漏水检知线从所述十字固定槽中的一个直线槽穿入并在中点时进行直角转弯从另一个直线槽穿出。进一步的改进是，所述线缆布置装置还包括一盖板，所述盖板在所述漏水检知线的布置完成后覆盖在所述十字固定槽上。进一步的改进是，所述固定底座带有磁性，通过磁性使所述活动固定块回复到所述固定底座上时对所述活动固定块进行位置和方向调整。进一步的改进是，漏水检知线固定装置设置在半导体生产厂房，所述漏水检测位置位于所述半导体生产厂房的地面，所述漏水检知线穿过多个漏水检知线固定装置。本发明漏水检知线固定装置具有相配合的固定底座和活动固定块，漏水检知线布置在活动固定块上，固定底座固定于漏水检测位置，活动固定块和固定底座之间通过弹性装置连接，在受外力时，活动固定块会和固定底座分离，并利用弹性装置吸收外力，从而能防止漏水检知线被扯断；而在外力消失后，弹性装置又会使活动固定块回复到固定底座上，从而使能漏水检知线在被拉扯后自动回复到原有检测位置。上述两个技术效果即能防止漏水检知线被扯断和能漏水检知线在被拉扯后自动回复到原有检测位置使得本发明漏水检知线固定装置能够在半导体生产厂房的应用中带来更加意想不到的技术效果，由于半导体生产厂房中的漏水检知线的总长度最大值能超万米，且工作人员以及工作过程中所用推车众多，故工作人员的步行以及推车的运动都会对漏水检知线产生频繁的拉扯，而本发明的技术方案很好的解决掉了这种拉扯所带来的对漏水检知线扯断和移位的技术问题，这样也能够节省大量用于对漏水检知线进行定期整理的人力和时间，也能够消除在定期整理之间出现漏水检知线扯断和移位并且产生漏水事故时对半导体生产厂房中的机台设备的损害以及对工作人员的伤害，还能避免设备故障时对晶圆的损害，可知这种效果具有显著进步的特点。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：图1A是本发明实施例漏水检知线固定装置的分离状态的结构示意图；图1B是本发明实施例漏水检知线固定装置的正常状态的结构示意图；图2是采用本发明实施例漏水检知线固定装置进行漏水检知线布置的示意图；图3是图2中的一个位置处漏水检知线被拉扯时的漏水检知线布置示意图。具体实施方式如图1A所示，是本发明实施例漏水检知线固定装置的分离状态的结构示意图；如图1B所示，是本发明实施例漏水检知线固定装置的正常状态的结构示意图；如图2所示，是采用本发明实施例漏水检知线固定装置进行漏水检知线布置的示意图；本发明实施例漏水检知线固定装置101包括：固定底座1，用于固定于漏水检测位置。较佳为，所述固定底座1通过双面胶粘贴并固定在漏水检测位置。在其它实施例中也能采用其它方式将所述固定底座1固定在漏水检测位置，双面胶粘贴的方式并不构成对本发明的限制。活动固定块2，通过弹性装置5和所述固定底座1连接，所述活动固定块2上设置有线缆布置装置，所述线缆布置装置供漏水检知线102布置。较佳为，请参考图1A所示的分离状态示意图，所述固定底座1的顶部呈中间内凹弧形3，所述活动固定块2的底部呈中间外凸弧形4；参考图1B所示，在正常状态时所述活动固定块2的中间外凸弧形4位于所述固定底座1的中间内凹弧形3内并相匹配。所述弹性装置5为自动回弹绕线装置，所述弹性装置5固定在所述固定底座1上，在图1A中仅显示出所述弹性装置5的绕线的出口，自动回弹绕线装置的整体结构位于所述固定底座1的内部。所述活动固定块2的底部和一连接线7的第一端相连，所述连接线7的第二端连接所述自动回弹绕线装置的绕线。本发明实施例中，所述连接线7为尼龙线。在其它实施例中，所述连接线7也能为其它任何能在自动回弹绕线装置上进行缠绕的线。所述线缆布置装置包括十字固定槽6，所述漏水检知线102的布置方式有两种，第一种布置方式为所述漏水检知线102穿过所述十字固定槽6中的一整条直线槽；第二种布置方式为所述漏水检知线102从所述十字固定槽6中的一个直线槽穿入并在中点时进行直角转弯从另一个直线槽穿出。所述漏水检知线102的布置方式可以参考图2所示，图2中标记101a和101d所对应的漏水检知线固定装置中所述漏水检知线102采用第一种布置方式，这种方式不改变所述漏水检知线102的延伸方向；标记101b和101c所对应的漏水检知线固定装置中所述漏水检知线102采用第二种布置方式，这种方式将所述漏水检知线102的延伸方向改变90度。较佳为，所述线缆布置装置还包括一盖板，所述盖板在所述漏水检知线102的布置完成后覆盖在所述十字固定槽6上。所述固定底座1带有磁性，通过磁性使所述活动固定块2回复到所述固定底座1上时对所述活动固定块2进行位置和方向调整。漏水检知线固定装置101设置在半导体生产厂房，所述漏水检测位置位于所述半导体生产厂房的地面，所述漏水检知线102穿过多个漏水检知线固定装置101。漏水检知线固定装置101包括正常状态和分离状态。所述漏水检知线102未受外力时处于正常状态，所述弹性装置5使所述活动固定块2回复到所述固定底座1上，所述漏水检知线102实现对所述固定底座1设置位置处的漏水检测。所述漏水检知线102受到外力拉扯时处于分离状态，所述活动固定块2脱离所述固定底座1，所述弹性装置5进行拉长从而吸收所述漏水检知线102受到的外力，防止所述漏水检知线102被断裂。如图3所示，是图2中的一个位置处漏水检知线被拉扯即受到外力产生拉扯时的漏水检知线布置示意图，这时标记101c所对应的漏水检知线固定装置的活动固定块2和固定底座1分离，可知活动固定块2和固定底座1分离分离后，漏水检知线102不会受力，外力被所述弹性装置5所吸收，故能防止漏水检知线102被扯断。当外力消除后，图3中的标记101c所对应的漏水检知线固定装置又会回复到图2所示的正常状态，这时又能实现对固定底座1所示位置处进行漏水检测，防止外力消除后漏水检知线102不会回复到原位的缺陷。如图1A所示，是本发明实施例漏水检知线固定装置的分离状态的结构示意图；如图1B所示，是本发明实施例漏水检知线固定装置的正常状态的结构示意图；如图2所示，是采用本发明实施例漏水检知线固定装置进行漏水检知线布置的示意图；本发明实施例漏水检知线固定方法包括如下步骤：步骤一、将固定底座1固定在漏水检测位置处。较佳为，所述固定底座1通过双面胶粘贴并固定在漏水检测位置。在其它实施例中也能采用其它方式将所述固定底座1固定在漏水检测位置，双面胶粘贴的方式并不构成对本发明的限制。本发明实施例方法中，漏水检知线固定装置101设置在半导体生产厂房，所述漏水检测位置位于所述半导体生产厂房的地面，所述漏水检知线102穿过多个漏水检知线固定装置101。步骤二、通过弹性装置5连接活动固定块2和所述固定底座1。较佳为，请参考图1A所示的分离状态示意图，所述固定底座1的顶部呈中间内凹弧形3，所述活动固定块2的底部呈中间外凸弧形4；参考图1B所示，在正常状态时所述活动固定块2的中间外凸弧形4位于所述固定底座1的中间内凹弧形3内并相匹配。所述弹性装置5为自动回弹绕线装置，所述弹性装置5固定在所述固定底座1上，在图1A中仅显示出所述弹性装置5的绕线的出口，自动回弹绕线装置的整体结构位于所述固定底座1的内部。所述活动固定块2的底部和一连接线7的第一端相连，所述连接线7的第二端连接所述自动回弹绕线装置的绕线。本发明实施例方法中，所述连接线7为尼龙线。在其它实施例方法中，所述连接线7也能为其它任何能在自动回弹绕线装置上进行缠绕的线。所述固定底座1带有磁性，通过磁性使所述活动固定块2回复到所述固定底座1上时对所述活动固定块2进行位置和方向调整。步骤三、将漏水检知线102布置在所述活动固定块2的线缆布置装置上；较佳为，所述线缆布置装置包括十字固定槽6，所述漏水检知线102的布置方式有两种，第一种布置方式为所述漏水检知线102穿过所述十字固定槽6中的一整条直线槽；第二种布置方式为所述漏水检知线102从所述十字固定槽6中的一个直线槽穿入并在中点时进行直角转弯从另一个直线槽穿出。所述漏水检知线102的布置方式可以参考图2所示，图2中标记101a和101d所对应的漏水检知线固定装置中所述漏水检知线102采用第一种布置方式，这种方式不改变所述漏水检知线102的延伸方向；标记101b和101c所对应的漏水检知线固定装置中所述漏水检知线102采用第二种布置方式，这种方式将所述漏水检知线102的延伸方向改变90度。较佳为，所述线缆布置装置还包括一盖板，所述盖板在所述漏水检知线102的布置完成后覆盖在所述十字固定槽6上。当所述漏水检知线102未受外力时漏水检知线固定装置101处于正常状态，所述弹性装置5使所述活动固定块2回复到所述固定底座1上，所述漏水检知线102实现对所述固定底座1设置位置处的漏水检测。当所述漏水检知线102受到外力拉扯时所述漏水检知线102固定装处于分离状态，所述活动固定块2脱离所述固定底座1，所述弹性装置5进行拉长从而吸收所述漏水检知线102受到的外力，防止所述漏水检知线102被断裂。以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。