伸缩杆驱动结构、基板位置校正装置及阵列基板测试设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种伸缩杆驱动结构、基板位置校正装置及阵列基板测试设备，上述伸缩驱动结构包括：伸缩杆；磁体，所述磁体具有两个磁极，所述磁体的一个磁极与所述伸缩杆连接；电磁感应线圈，电磁感应线圈具有两个电磁感应磁极，电磁感应线圈的一个电磁感应磁极与所述磁体的另一个磁极相对设置；用于控制所述电磁感应线圈内的电流方向，以控制电磁感应线圈的两个电磁感应磁极极性调换，而与磁体吸引或排斥，以驱动所述磁体带动所述伸缩杆移动的电流控制单元，所述电流控制单元与所述电磁感应线圈电连接。上述方案，通过电磁感应技术来实现伸缩杆的伸缩驱动，解决现有技术中采用气动驱动方式驱动伸缩杆伸缩因时间问题伸缩装置出现裂纹等技术问题。
【专利说明】
伸缩杆驱动结构、基板位置校正装置及阵列基板测试设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种伸缩驱动结构、基板位置校正装置及阵列基板测试设备。
【背景技术】
[0002]在TFT_LCD(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)制造工艺中，Array Test(阵列基板测试)是Array(阵列基板)端最重要的检测环节，对TFT(薄膜晶体管)中的电学特性进行检测，在工艺完成后进行的检测对产品的电学特性监控起到重要的作用。
[0003]由于阵列基板测试设备是真空设备，需要预真空腔室(Loadlock)在大气环境和真空环境之间的转换。预真空腔室的四角安装有基板位置校正装置，对基板进行卡位校准，该基板位置校正装置包括基板夹持部件(Clamp)和驱动基板夹持部件的伸缩驱动装置。如图1所示，该基板位置校正装置处于复位状态，如图2所示，该基板位置校正装置处于卡位状态，图3所示为该基板位置校正装置处于卡位状态时，校正基板4的结构示意图，其中，基板夹持部件I通过伸缩驱动装置驱动在卡位状态和复位状态之间切换。现有的伸缩驱动装置采用气动驱动装置2，并通过伸缩部件(Bellow)3连接预真空腔室，由于在气动驱动装置2伸缩完成基板卡位和复位动作，其中伸缩部件3也进行伸缩，长时间执行此动作，Bellow易发生裂纹，损坏，从而导致漏气现象，使预真空腔作业时间(Tact Time)延长，影响产量，更换Bellow过程比较繁杂、耗时，更换完成需进行校正，有基板损伤(Broken)的风险，且购买单一备件周期相对较长。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种伸缩驱动结构、基板位置校正装置及阵列基板测试设备，通过电磁感应技术来实现伸缩杆的伸缩驱动，解决现有技术中采用气动驱动方式驱动伸缩杆伸缩因时间问题伸缩装置出现裂纹等技术问题。
[0005]本实用新型所提供的技术方案如下:
[000?] —种伸缩驱动结构，包括:
[0007]伸缩杆；
[0008]磁体，所述磁体具有两个磁极，所述磁体的一个磁极与所述伸缩杆连接；
[0009]电磁感应线圈，所述电磁感应线圈具有两个电磁感应磁极，所述电磁感应线圈的一个电磁感应磁极与所述磁体的另一个磁极相对设置；
[0010]用于控制所述电磁感应线圈内的电流方向，以控制所述电磁感应线圈的两个电磁感应磁极极性调换，而与所述磁体吸引或排斥，以驱动所述磁体带动所述伸缩杆移动的电流控制单元，所述电流控制单元与所述电磁感应线圈电连接。
[0011]进一步的，所述伸缩驱动结构还包括:一用于限定所述磁体的移动行程的磁体行程限定框，所述磁体行程限定框包括分别设置在所述磁体的两端的第一框体和第二框体，其中所述伸缩杆穿过所述第一框体，而与所述磁体连接。
[0012]进一步的，所述第一框体和所述第二框体与所述磁体之间设置有缓冲部件。
[0013]进一步的，所述缓冲部件包括设置在所述第一框体和所述第二框体上的缓冲垫。
[0014]进一步的，所述电磁感应线圈包括:轴体；以及，螺旋环绕于所述轴体上的导线；
[0015]其中所述电流控制单元与所述导线的两端电连接。
[0016]一种基板位置校正装置，用于夹住基板，以校正基板的位置;所述基板位置校正装置包括:如上所述的伸缩驱动结构；
[0017]以及，用于夹持住基板的基板夹持部件，所述基板夹持部件包括一夹持爪部、一推动杆部和一转动轴，所述夹持爪部连接在所述推动杆部的第一端，所述推动杆部的第二端与所述伸缩驱动结构的伸缩杆的远离所述磁体的一端连接，所述推动杆部的中部连接所述转动轴，当所述伸缩杆移动时，能够推动所述推动杆部绕所述转动轴转动，而改变所述夹持爪部的位置，以校正基板的位置。
[0018]进一步的，所述推动杆部的第二端具有一条形孔；
[0019]所述伸缩杆的远离所述磁体的一端设有一用于容置在所述条形孔内，能够在所述伸缩杆移动时，在所述条形孔内滑动的滑块。
[0020]进一步的，所述夹持爪部包括用于分别夹持在基板的一个角的两个侧边的第一夹臂和第二夹臂。
[0021]—种阵列基板测试设备，包括如上所述的基板位置校正装置。
[0022]进一步的，包括一预真空腔室，其中所述基板位置校正装置的基板夹持部件设置在所述预真空腔室内，所述伸缩驱动结构的磁体设置在所述预真空腔室内，所述电磁感应线圈设置在所述预真空腔室之外。
[0023]本实用新型的有益效果是:
[0024]上述方案，通过电磁感应技术来实现伸缩杆的伸缩驱动，解决现有技术中采用气动驱动方式驱动伸缩杆伸缩因时间问题伸缩装置出现裂纹等技术问题。应用于阵列基板测试设备中，该伸缩驱动结构可以用于驱动基板夹持部件伸缩，改变了现有技术中基板夹持部件与预真空腔的连接方式，使基板夹持部件与外界无缝连接，即可达到校正基板的目的，解决现有技术中采用气动驱动方式驱动伸缩杆伸缩，因时间问题伸缩装置出现裂纹导致漏气的技术问题。
【附图说明】
[0025]图1表示现有技术中基板位置校正装置中基板夹持部件处于复位状态时的结构示意图；
[0026]图2表示现有技术中基板位置校正装置中基板夹持部件处于卡位状态时的结构示意图；
[0027]图3表示现有技术中基板位置校正装置中基板夹持部件处于卡位状态进行基板位置校正时的结构示意图；
[0028]图4表示本实用新型实施例所提供的伸缩驱动结构的结构示意图；
[0029]图5表示本实用新型实施例所提供的基板位置校正装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0030]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0031]针对现有技术中阵列基板测试设备中用于驱动基板夹持部件的驱动装置为气动驱动装置，因时间问题伸缩部件会出现裂纹而导致预真空腔漏气的技术问题，本实用新型提供了一种伸缩驱动结构，其是利用电磁感应技术来实现伸缩杆的伸缩驱动，解决现有技术中采用气动驱动装置驱动伸缩杆伸缩，因时间问题伸缩部件出现裂纹等技术问题。
[0032]如图4所示，本实用新型所提供的伸缩驱动结构包括:
[0033]伸缩杆101;
[0034]磁体102，所述磁体102具有两个磁极，所述磁体102的一个磁极与所述伸缩杆101
连接；
[0035]电磁感应线圈103，所述电磁感应线圈103具有两个电磁感应磁极，所述电磁感应线圈103的一个电磁感应磁极与所述磁体102的另一个磁极相对设置；
[0036]用于控制所述电磁感应线圈103内的电流方向，以控制所述电磁感应线圈103的两个电磁感应磁极极性调换，而与所述磁体102吸引或排斥，以驱动所述磁体102带动所述伸缩杆1I移动的电流控制单元104，所述电流控制单元104与所述电磁感应线圈103电连接。
[0037]根据安培定则可知:用右手握住通电感应线圈，使四指弯曲与电流方向一致，那么大拇指所指的那一端是通电感应线圈的N极。
[0038]在上述方案中，在电磁感应线圈103中加入电流控制单元104，在伸缩杆101的一端增加一磁体102，再通过改变电流方向来改变电磁感应线圈103的磁极的方向，这样磁体1 2就会被吸引或排斥，从而磁体102会带动伸缩杆101移动，而实现伸缩杆101的伸缩。
[0039]由此可见，本实用新型所提供的伸缩驱动结构，通过电磁感应技术来实现伸缩杆101的伸缩驱动，结构简单，使用寿命长，解决现有技术中采用气动驱动装置驱动伸缩杆101伸缩，因时间问题伸缩部件出现裂纹等技术问题。
[0040]将本实用新型所提供的伸缩驱动结构应用于阵列基板测试设备中时，该伸缩驱动结构可以用于驱动基板夹持部件伸缩，结合阵列基板测试设备预真空腔室的结构，可以利用电磁感应技术来为基板位置校正装置提供驱动力，且驱动元件(包括电磁感应线圈103和电流控制单元104)与基板夹持部件可以实现非接触，改变了现有技术中基板夹持部件与预真空腔的连接方式，使基板夹持部件与外界无缝连接，即可达到校正基板的目的，解决现有技术中采用气动驱动方式驱动伸缩杆101伸缩，因时间问题伸缩装置出现裂纹导致漏气的技术问题。
[0041]在本实用新型实施例所提供的伸缩驱动结构中，优选的，如图4所示，所述伸缩驱动结构还包括:一用于限定所述磁体102的移动行程的磁体102行程限定框，所述磁体102行程限定框包括分别设置在所述磁体102的两端的第一框体201和第二框体202，其中所述伸缩杆101穿过所述第一框体201，而与所述磁体102连接。
[0042]采用上述方案，可以通过设置所述磁体102行程限定框来对磁体102的移动行程进行限定，进而来限定伸缩杆101的伸缩行程。应当理解的是，所述磁体102行程限定框的具体结构在此并不作局限。
[0043]此外，如图4所示，在本实用新型实施例所提供的伸缩驱动结构中，如图所示，所述第一框体201和所述第二框体202与所述磁体102之间设置有缓冲部件。通过设置所述缓冲部件来避免所述磁体102与所述第一框体201和所述第二框体202之间撞击，保证整个结构的安全可靠性。
[0044]优选的，所述缓冲部件包括设置在所述第一框体201和所述第二框体202上的缓冲垫203。应当理解的是，在实际应用中，所述缓冲部件还可以采用其他部件来实现，对此不再
列举。
[0045]此外，如图4所示，在本实用新型所提供的伸缩驱动结构中，所述电磁感应线圈103包括:轴体1031;以及，螺旋环绕于所述轴体1031上的导线1032;其中所述电流控制单元104与所述导线1032的两端电连接。
[0046]上述方案提供了一种电磁感应线圈103的优选结构，其结构简单，成本较低。应当理解的是，在实际应用中，对于所述电磁感应线圈103的可实现方式并不进行限定。
[0047]此外，在本实用新型的实施例中还提供了一种基板位置校正装置，用于夹住基板，以校正基板的位置;如图5所示，所述基板位置校正装置包括:
[0048]伸缩驱动结构，所述伸缩驱动结构包括:伸缩杆101;磁体102，所述磁体102具有两个磁极，所述磁体1 2的一个磁极与所述伸缩杆1I连接；电磁感应线圈1 3，所述电磁感应线圈103具有两个电磁感应磁极，所述电磁感应线圈103的一个电磁感应磁极与所述磁体102的另一个磁极相对设置；以及，用于控制所述电磁感应线圈103内的电流方向，以控制所述电磁感应线圈103的两个电磁感应磁极极性调换，而与所述磁体102吸引或排斥，以驱动所述磁体102带动所述伸缩杆101移动的电流控制单元104，所述电流控制单元104与所述电磁感应线圈103电连接；
[0049]以及，用于夹持住基板10的基板夹持部件400，所述基板夹持部件400包括一夹持爪部401、一推动杆部402和一转动轴403，所述夹持爪部401连接在所述推动杆部402的第一端，所述推动杆部402的第二端与所述伸缩驱动结构的伸缩杆101的远离所述磁体102的一端连接，所述推动杆部402的中部连接所述转动轴403，当所述伸缩杆101移动时，能够推动所述推动杆部402绕所述转动轴403转动，而改变所述夹持爪部401的位置，以校正基板10的位置。
[0050]上述方案中，如图所示，根据安培定则可知:用右手握住通电感应线圈，使四指弯曲与电流方向一致，那么大拇指所指的那一端是通电感应线圈的N极。
[0051 ] 在上述方案中，在电磁感应线圈103中加入电流控制单元104，在伸缩杆101的一端增加一磁体102，再通过改变电流方向来改变电磁感应线圈103的磁极的方向，这样磁体1 2就会被吸引或排斥，从而磁体102会带动伸缩杆101移动，而实现伸缩杆101的伸缩;伸缩杆101在伸缩过程中，与之连接的推动杆部402则会绕所述转动轴403转动，而使得所述推动杆部402另一端的夹持爪部401的位置发生改变，从而对夹持爪部401所夹持的基板10位置进行校正。
[0052]由此可见，本实用新型所提供的伸缩驱动结构，通过电磁感应技术来实现伸缩杆101的伸缩驱动，结构简单，使用寿命长，结合阵列基板10测试设备预真空腔室的结构，可以利用电磁感应技术来为基板位置校正装置提供驱动力，且驱动元件(包括电磁感应线圈103和电流控制单元104)与基板夹持部件400可以实现非接触，改变了现有技术中基板夹持部件400与预真空腔的连接方式，使基板夹持部件400与外界无缝连接，即可达到校正基板10的目的，解决现有技术中采用气动驱动方式驱动伸缩杆101伸缩，因时间问题伸缩部件出现裂纹导致漏气的技术问题。
[0053]在本实用新型实施例所提供的伸缩驱动结构中，优选的，如图5所示，所述伸缩驱动结构还包括:一用于限定所述磁体102的移动行程的磁体102行程限定框，所述磁体102行程限定框包括分别设置在所述磁体102的两端的第一框体201和第二框体202，其中所述伸缩杆101穿过所述第一框体201，而与所述磁体102连接。
[0054]采用上述方案，可以通过设置所述磁体102行程限定框来对磁体102的移动行程进行限定，进而来限定伸缩杆101的伸缩行程。应当理解的是，所述磁体102行程限定框的具体结构在此并不作局限。
[0055]此外，如图5所示，在本实用新型实施例所提供的伸缩驱动结构中，如图所示，所述第一框体201和所述第二框体202与所述磁体102之间设置有缓冲部件。通过设置所述缓冲部件来避免所述磁体102与所述第一框体201和所述第二框体202之间撞击，保证整个结构的安全可靠性。
[0056]优选的，所述缓冲部件包括设置在所述第一框体201和所述第二框体202上的缓冲垫203。应当理解的是，在实际应用中，所述缓冲部件还可以采用其他部件来实现，对此不再
列举。
[0057]此外，如图5所示，在本实用新型所提供的伸缩驱动结构中，所述电磁感应线圈103包括:轴体1031;以及，螺旋环绕于所述轴体1031上的导线1032;其中所述电流控制单元104与所述导线1032的两端电连接。上述方案提供了一种电磁感应线圈103的优选结构，其结构简单，成本较低。应当理解的是，在实际应用中，对于所述电磁感应线圈103的可实现方式并不进行限定。
[0058]此外，在本实用新型实施例所提供的基板位置校正装置中，如图5所示，所述推动杆部402的第二端具有一条形孔4020;所述伸缩杆101的远离所述磁体102的一端设有一用于容置在所述条形孔4020内，能够在所述伸缩杆101移动时，在所述条形孔4020内滑动的滑块 1lOo
[0059]采用上述方案，伸缩杆101伸缩移动时，与之连接的滑块1010可在推动杆部402的条形孔4020内移动，进而带动推动杆部402转动，从而使得夹持爪部401校正基板10的位置。应当理解的是，在实际应用中，所述推动杆部402与所述伸缩杆101连接方式不仅局限于此，例如:所述伸缩杆101的远离所述磁体102的一端可以设置条形孔4020，而所述推动杆部402的第二端设置一可在所述条形孔4020内滑动的滑块1010。
[0060]此外，在本实用新型所提供的基板位置校正装置中，如图5所示，所述夹持爪部401包括用于分别夹持在基板10的一个角的两个侧边的第一夹臂4011和第二夹臂4012。当然可以理解的是，在此对于所述夹持爪部401的具体结构并不做限定。
[0061]此外，如图5所示，本实用新型实施例中还提供了一种阵列基板10测试设备，包括本实用新型实施例中所提供的基板位置校正装置。其中，所述基板10测试设备包括一预真空腔室，其中所述基板位置校正装置的基板夹持部件400设置在所述预真空腔室内，所述伸缩驱动结构的磁体102设置在所述预真空腔室内，所述电磁感应线圈103设置在所述预真空腔室之外。
[0062]采用上述方案，结合阵列基板10测试设备预真空腔室的结构，可以利用电磁感应技术来为基板位置校正装置提供驱动力，且驱动元件(包括电磁感应线圈103和电流控制单元104)与基板夹持部件400可以实现非接触。
[0063]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种伸缩驱动结构，其特征在于，包括: 伸缩杆； 磁体，所述磁体具有两个磁极，所述磁体的一个磁极与所述伸缩杆连接； 电磁感应线圈，所述电磁感应线圈具有两个电磁感应磁极，所述电磁感应线圈的一个电磁感应磁极与所述磁体的另一个磁极相对设置； 用于控制所述电磁感应线圈内的电流方向，以控制所述电磁感应线圈的两个电磁感应磁极极性调换，而与所述磁体吸引或排斥，以驱动所述磁体带动所述伸缩杆移动的电流控制单元，所述电流控制单元与所述电磁感应线圈电连接。2.根据权利要求1所述的伸缩驱动结构，其特征在于， 所述伸缩驱动结构还包括:一用于限定所述磁体的移动行程的磁体行程限定框，所述磁体行程限定框包括分别设置在所述磁体的两端的第一框体和第二框体，其中所述伸缩杆穿过所述第一框体，而与所述磁体连接。3.根据权利要求2所述的伸缩驱动结构，其特征在于， 所述第一框体和所述第二框体与所述磁体之间设置有缓冲部件。4.根据权利要求3所述的伸缩驱动结构，其特征在于， 所述缓冲部件包括设置在所述第一框体和所述第二框体上的缓冲垫。5.根据权利要求1所述的伸缩驱动结构，其特征在于， 所述电磁感应线圈包括:轴体；以及，螺旋环绕于所述轴体上的导线； 其中所述电流控制单元与所述导线的两端电连接。6.一种基板位置校正装置，用于夹住基板，以校正基板的位置;其特征在于，所述基板位置校正装置包括: 如权利要求1至5任一项所述的伸缩驱动结构； 以及，用于夹持住基板的基板夹持部件，所述基板夹持部件包括一夹持爪部、一推动杆部和一转动轴，所述夹持爪部连接在所述推动杆部的第一端，所述推动杆部的第二端与所述伸缩驱动结构的伸缩杆的远离所述磁体的一端连接，所述推动杆部的中部连接所述转动轴，当所述伸缩杆移动时，能够推动所述推动杆部绕所述转动轴转动，而改变所述夹持爪部的位置，以校正基板的位置。7.根据权利要求6所述的基板位置校正装置，其特征在于， 所述推动杆部的第二端具有一条形孔； 所述伸缩杆的远离所述磁体的一端设有一用于容置在所述条形孔内，能够在所述伸缩杆移动时，在所述条形孔内滑动的滑块。8.根据权利要求6所述的基板位置校正装置，其特征在于， 所述夹持爪部包括用于分别夹持在基板的一个角的两个侧边的第一夹臂和第二夹臂。9.一种阵列基板测试设备，其特征在于，包括如权利要求6所述的基板位置校正装置。10.根据权利要求9所述的阵列基板测试设备，其特征在于，包括一预真空腔室，其中所述基板位置校正装置的基板夹持部件设置在所述预真空腔室内，所述伸缩驱动结构的磁体设置在所述预真空腔室内，所述电磁感应线圈设置在所述预真空腔室之外。
【文档编号】G02F1/13GK205657573SQ201620554599
【公开日】2016年10月19日
【申请日】2016年6月2日 公开号201620554599.8, CN 201620554599, CN 205657573 U, CN 205657573U, CN-U-205657573, CN201620554599, CN201620554599.8, CN205657573 U, CN205657573U
【发明人】李风, 陈庆友, 李继, 付修行, 赵琼, 李国栋, 郭世波
【申请人】合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司