安装头清洗装置及安装头清洗方法与流程

本发明涉及以用于生产电子电路产品的元件安装机的安装头为对象的安装头清洗装置及安装头清洗方法。

背景技术：

元件安装机通过吸嘴吸附位于供给位置的电子元件，并将该电子元件安装于电路基板上的预定的坐标位置。吸嘴通过经由形成于安装头的内部的空气通路而供给的负压空气来吸附电子元件。因此，有时尘埃从吸嘴的前端等被吸引到空气通路中。安装头的空气通路例如使用专利文件1所公开的清洗装置进行清洗。

专利文件1：日本特开2011-3679号公报

技术实现要素：

对于安装头的空气通路的清洗，希望更可靠地去除尘埃，并缩短清洗所需的作业时间。

本发明鉴于这样的情况而作出，其目的在于提供能够提高以安装头为对象的空气通路的清洗效率的安装头清洗装置及安装头清洗方法。

技术方案1的安装头清洗装置以安装头为对象，对形成于上述安装头的内部的空气通路进行清洗，上述安装头具备：吸嘴，通过从负压空气供给装置经由上述空气通路供给的负压空气来吸附元件；及吸嘴轴，将上述吸嘴保持为能够拆装，并被保持为能够通过升降机构进行升降并且能够通过旋转机构进行自转。上述安装头清洗装置具备：清洗流体供给装置，向上述空气通路供给由正压空气或油雾构成的清洗流体；及控制装置，在使用上述清洗流体供给装置进行清洗处理时，以使上述吸嘴轴进行升降并且使上述吸嘴轴与该吸嘴轴的升降动作同步绕轴线旋转的方式，对上述升降机构的动作及上述旋转机构的动作进行控制。

技术方案9的安装头清洗方法以安装头为对象，对形成于上述安装头的内部的空气通路进行清洗，上述安装头具备：吸嘴，通过从负压空气供给装置经由上述空气通路供给的负压空气来吸附元件；及吸嘴轴，将上述吸嘴保持为能够拆装，并被保持为能够通过升降机构进行升降并且能够通过旋转机构进行自转。上述安装头清洗方法在使用了向上述空气通路供给由正压空气或油雾构成的清洗流体的清洗流体供给装置的清洗处理中，具备如下的步骤：吸嘴轴升降步骤，以使上述吸嘴轴进行升降的方式使上述升降机构动作；及吸嘴轴旋转步骤，以使上述吸嘴轴与该吸嘴轴升降步骤中的上述吸嘴轴的升降动作同步地绕轴线旋转的方式使上述旋转机构动作。

发明效果

根据技术方案1、9的发明，在使用清洗流体供给装置进行清洗处理时，安装头使吸嘴轴与吸嘴轴的升降动作同步地绕轴线旋转。在此，吸嘴轴被保持为能够相对于安装头的主体部进行升降并且能够进行自转。因此，将安装头的主体部与吸嘴轴连通的空气通路随着吸嘴轴的升降动作及旋转动作而变化。由此，通过在清洗处理时使吸嘴轴进行升降并且绕轴线旋转，而能够防止在空气通路中被清洗的部位偏向一部分。因此，清洗效率提高，因此能够缩短清洗处理所需的时间。

附图说明

图1是表示具备安装头的元件安装机的整体图。

图2是表示图1中的安装头的图。

图3是表示安装头的空气通路的剖视图。

图4是表示安装头被安装于移动台或安装头清洗装置的状态的图。

图5是表示实施方式中的安装头清洗装置的整体图。

图6是由清洗流体供给装置构成的流体供给回路图。

图7是表示安装头清洗装置的控制装置的框图。

图8是表示清洗处理的流程图。

图9是表示清洗处理中的清洗工序的流程图。

图10是表示清洗处理中的送风工序的流程图。

图11是表示清洗处理中的空转工序的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图来说明将本发明的安装头清洗装置及安装头清洗方法具体化了的实施方式。安装头清洗装置以用于生产电子电路产品的元件安装机的安装头为对象，对形成于该安装头的内部的空气通路进行清洗。

元件安装机是向电路基板上装配多个电子元件的装置。电路基板例如由丝网印刷机向电子元件的装配位置涂布焊料，依次被输送到多个元件安装机而被装配电子元件。然后，将装配有电子元件的电路基板输送到回流炉而被软钎焊，由此成为电路基板产品。

＜实施方式＞

(1.元件安装机的结构)

参照图1～图4对元件安装机1的结构进行说明。元件安装机1构成为具备基板输送装置10、元件供给装置20及元件移载装置30。各装置10、20、30设于元件安装机1的基台2。而且，如图1所示，将元件安装机1的水平宽度方向(图1的从左上朝右下的方向)设为X轴方向，将元件安装机1的水平长度方向(图1的从右上朝左下的方向)设为Y轴方向，将铅垂高度方向(图1的上下方向)设为Z轴方向。

(1-1.基板输送装置10)

基板输送装置10沿X轴方向输送电路基板B，并且将电路基板B定位于预定位置。该基板输送装置10是由沿Y轴方向排列设置的多个输送机构11构成的双输送机型。输送机构11具有对载置于省略图示的传送带而被输送的电路基板B进行引导的一对导轨12、13。输送机构11在电子元件的装配处理时，将电路基板B搬入至预定的X轴方向位置，并通过夹紧装置将电路基板B夹紧。并且，当向电路基板B装配了电子元件之后，输送机构11松开电路基板B，将电路基板B向元件安装机1的机外搬出。

(1-2.元件供给装置20)

元件供给装置20是供给向电路基板B安装的电子元件的装置。元件供给装置20配置于元件安装机1的Y轴方向的前部侧(图1的左下侧)。在本实施方式中，该元件供给装置20设为使用了多个盒式供料器21的供料器方式。供料器21具有以能够相对于基台2进行拆装的方式安装的供料器主体部21a和设于供料器主体部21a的后端侧的带盘收容部21b。供料器21通过带盘收容部21b保持卷绕有元件包装带的供给带盘22。

上述元件包装带由以预定间距收纳电子元件的载带和粘接于该载带的上表面而覆盖电子元件的上封带构成。供料器21通过省略图示的节距进给机构对从供给带盘22拉出的元件包装带进行节距进给。并且，供料器21将上封带从载带剥离而使电子元件露出。由此，供料器21在位于供料器主体部21a的前端侧的供给位置进行电子元件的供给，以使元件移载装置30的吸嘴46能够吸附电子元件。

(1-3.元件移载装置30)

元件移载装置30对被供给到供给位置的电子元件进行保持，并将电子元件移载至电路基板B上的装配位置。在本实施方式中，元件移载装置30设为配置于基板输送装置10及元件供给装置20的上方的正交坐标型。该元件移载装置30在沿Y轴方向延伸的一对Y轴轨道31上设有能够沿Y轴方向移动的Y轴滑动件32。

Y轴滑动件32经由滚珠丝杠机构而通过Y轴电动机33的动作控制。而且，移动台34以能够沿X轴方向移动的方式设于Y轴滑动件32上。移动台34经由省略图示的滚珠丝杠机构而通过X轴电动机35的动作控制。Y轴滑动件32及移动台34除了上述结构之外，也可以设为如下的结构：设于例如使用了线性电动机的直动机构，并通过该线性电动机的动作控制。

在元件移载装置30的移动台34上安装有对电路基板B的基准标记(未图示)进行拍摄的基板相机36。基板相机36以光轴成为Z轴方向的方式固定于移动台34。通过基板相机36的拍摄而取得的图像数据包含例如附设于电路基板B的基板标记(未图示)，用于识别电路基板B的定位状态。

在元件移载装置30的移动台34上以能够拆装的方式安装有安装头40。如图2所示，安装头40具有夹紧于移动台34的头主体41。在头主体41上支撑有能够旋转的分度轴43，该分度轴43通过R轴电动机42每次使旋转角度转位预定角度。在该分度轴43的下端固定有回转头44。

回转头44在与R轴同心的圆周上沿周向以等间隔保持多个(例如十二根)吸嘴轴45，该吸嘴轴45能够沿Z轴方向进行滑动并且能够进行旋转。吸嘴轴45通过省略图示的弹簧的弹力而对回转头44向上方施力。由此，吸嘴轴45在未被施加外力的通常状态下位于上升端。

在吸嘴轴45的下端部以能够拆装的方式保持有吸嘴46。吸嘴46通过从省略图示的负压空气供给装置经由空气通路60供给的负压空气来吸附元件。空气通路60的详细结构后述。随着R轴电动机42的驱动，回转头44经由分度轴43而旋转，由此多个吸嘴46依次被转位到绕着R轴的预定的角度位置(例如吸嘴轴45的升降位置)。

一体地形成有从动齿轮47及θ轴齿轮48的旋转体49以能够相对于分度轴43进行相对旋转的方式配置于分度轴43的外周侧。在头主体41上固定有θ轴电动机51。固定于θ轴电动机51的输出轴上的驱动齿轮52与从动齿轮47啮合。θ轴齿轮48形成为在旋转体49的轴线方向(R轴方向)上形成预定长度的齿宽。

在吸嘴轴45的上端部形成有吸嘴齿轮53。吸嘴齿轮53以能够沿R轴方向滑动的方式与θ轴齿轮48啮合，该θ轴齿轮48以能够进行相对旋转的方式支撑于分度轴43的外周侧。从动齿轮47、θ轴齿轮48、θ轴电动机51、驱动齿轮52及吸嘴齿轮53构成安装头40中的旋转机构。吸嘴轴45及吸嘴46通过上述旋转机构的动作而绕θ轴一体地旋转(自转)，并且旋转角度、旋转速度被控制。

而且，在头主体41上设有吸嘴工作部件54。吸嘴工作部件54由引导杆55以能够沿上下方向(Z轴方向)滑动的方式引导。固定于头主体41的Z轴电动机56对滚珠丝杠机构57进行驱动。吸嘴工作部件54通过滚珠丝杠机构57的驱动而沿Z轴方向进行升降。

吸嘴工作部件54具有吸嘴杆58，该吸嘴杆58与多个吸嘴轴45中的被转位到上述升降位置的吸嘴轴45的上端部抵接。吸嘴杆58随着吸嘴工作部件54向Z轴方向下方的移动而下降，将所抵接的吸嘴轴45向Z轴方向下方按压。吸嘴工作部件54、引导杆55、Z轴电动机56、滚珠丝杠机构57及吸嘴杆58构成安装头40中的升降机构。吸嘴轴45及吸嘴46通过上述升降机构的动作而沿Z轴方向一体地升降，并且Z方向位置、移动速度被控制。

而且，如图1所示，在基台2上，以光轴成为Z轴方向的方式固定有元件相机5。元件相机5构成为能够拍摄保持于吸嘴46的状态的电子元件。元件相机5在安装头40从元件供给装置20的元件供给位置移动至电路基板B上的电子元件的装配位置的中途拍摄电子元件。元件安装机1基于通过元件相机5的拍摄而取得的图像数据，来识别吸嘴46对电子元件的保持状态。元件安装机1根据电子元件的保持状态来校正安装头40的动作，从而实现安装控制的精度提高。

(1-4.空气通路60的详细结构)

在安装头40的内部形成有将元件安装机1的负压空气供给装置(未图示)所产生的负压空气供给至吸嘴46的空气通路60。如图3所示，空气通路60具有轴内通路61及头内通路62。而且，如图4所示，空气通路60具有导入通路63及连接管路64。

如图3所示，轴内通路61是将在吸嘴轴45的中心部沿轴向延伸的管路和形成于吸嘴轴45的外周侧的环状槽连接而构成的。头内通路62以能够将被供给到回转头44的负压空气向各吸嘴轴45分配的方式形成于回转头44的内部。头内通路62与轴内通路61中的上述环状槽以能够在它们之间使负压空气等流通的方式连接。

而且，安装头40具备机械切换阀(以下称为机械阀)65、步进电动机66及动作轴67。机械阀65是对负压空气向吸嘴轴45的供给及切断进行切换的部件。在回转头44上配置数量与保持于回转头44的吸嘴轴45相同的机械阀65。机械阀65以能够在上下方向上滑动的方式与回转头44嵌合。

在机械阀65的上端，在比回转头44的上表面突出的部位形成有卡合部65a。步进电动机66固定于安装头40。动作轴67通过步进电动机66的驱动而升降预定量。机械阀65的卡合部65a构成为相对于动作轴67的卡合部65a能够绕R轴脱离并且能够沿Z轴方向卡合。由此，通过回转头44的旋转角度的转位，而多个机械阀65的卡合部65a依次与动作轴67的卡合部67a卡合。

另外，机械阀65以具有一定程度的摩擦力的方式保持于回转头44。即，机械阀65因自重而向上下方向的滑动被限制。因此，机械阀65只要不被施加超过上述摩擦力的外力，就保持于上升端位置或下降端位置。

如图3所示，机械阀65通过向下降端位置移动而成为关闭状态，将被供给到安装头40的内部的负压空气向吸嘴轴45的轴内通路61的导入切断。另一方面，机械阀65通过向上升端位置移动而成为打开状态，容许被供给到安装头40的内部的负压空气向吸嘴轴45的轴内通路61导入。

而且，回转头44的头内通路62与形成于头主体41的导入通路63连接。如图4所示，在回转头44安装于元件移载装置30的移动台34或后述的安装头清洗装置70的主体部的状态下，导入通路63经由连接管路64而被导入负压空气等。连接管路64与设于移动台34或安装头清洗装置70的主体部的供给管路88连接。

(2.安装头清洗装置的结构)

(2-1.安装头清洗装置70的整体结构)

参照图3～图7来对安装头清洗装置70的结构进行说明。安装头清洗装置70是对形成于安装头40的内部的空气通路60进行清洗的装置。安装头清洗装置70能够采用设于元件安装机1的内部的结构或设为与元件安装机1不同的外部装置的结构中的任一结构。在此，如图5所示，例示安装头清洗装置70为外部装置的情况。

在安装头清洗装置70安装有具备回转头44(参照图2)的安装头40。安装头清洗装置70具有对从元件安装机1拆下的安装头40进行固定的夹紧机构71。夹紧机构71由与在元件安装机10的移动台34上将安装头40夹紧的夹紧机构(未图示)相同的结构构成。

如图4所示，在形成于安装头40的下部的腿部41a与形成于安装头清洗装置70的主体部的腿部支撑部72卡合的状态下，夹紧机构71对安装头40的上部进行固定。由此，安装头40相对于安装头清洗装置70的主体部被定位并固定。由此，安装头40的连接管路64与安装头清洗装置70的供给管路88连接，负压空气或清洗流体能够流通。

而且，如图5所示，在安装头清洗装置70中设有吸引鼓风机73，该吸引鼓风机73对用于清洗安装头40的空气通路60的清洗流体进行吸引。由吸引鼓风机73回收的油和尘埃被回收到设于吸引鼓风机73的下部的回收箱74。而且，安装头40在固定于安装头清洗装置70的状态下被连接电气系统及通信系统的连接器。由此，安装头40能够通过安装头清洗装置70的控制装置90来控制各电动机等。

(2-2.清洗流体供给装置80)

安装头清洗装置70具备向安装头40的空气通路60供给由正压空气或油雾构成的清洗流体的清洗流体供给装置80。清洗流体供给装置80构成图6所示的流体供给回路。在清洗流体供给装置80中，作为正压空气的供给源的压缩机81与空气供给通路82连接。在空气供给通路82中配置有对空气供给通路82的压力进行调整的调节器阀83。

空气供给通路82构成为经由清洗切换阀84而选择性地与清洗用空气通路85和清洗用油通路86连接。清洗用空气通路85及清洗用油通路86在供给管路88的近前处连接。在清洗用油通路86中配置有注油器87。注油器87向被供给有正压空气的状态的清洗用油通路86供给雾状的油。由此，在清洗用油通路86中生成油雾。作为注油器87所供给的油，例如使用在氟油中混合了挥发性溶剂而成的油。

在上述那样的结构中，当通过清洗切换阀84的切换而将清洗用空气通路85与空气供给通路82连接时，向供给管路88送入正压空气作为清洗流体。另一方面，当通过清洗切换阀84的切换而将清洗用油通路86与空气供给通路82连接时，向供给管路88送入油雾作为清洗流体。供给管路88以能够供给清洗流体的方式与安装于安装头清洗装置70的主体部的安装头40的连接管路64连接。通过这样的结构，安装头40的空气通路60被供给由正压空气或油雾构成的清洗流体。

而且，吸引鼓风机73(参照图6)经由吸引阀89而与空气供给通路82连接。吸引阀89在安装头40的清洗时被切换。由此，从安装头40的吸嘴46的前端排出的清洗流体被吸引鼓风机73吸引。这样，安装头清洗装置70构成为防止用于清洗的清洗流体向周围飞散。

(2-3.控制装置90)

安装头清洗装置70具备在使用清洗流体供给装置80进行清洗处理时对安装头40及清洗流体供给装置80的动作进行控制的控制装置90。如图7所示，控制装置90具有清洗控制部91、存储部92、输入输出接口93及电动机控制电路94。

清洗控制部91主要由CPU构成。清洗控制部91基于预先存储的清洗用程序和从省略图示的各种传感器输出的信号，而对安装头40的各电动机42、51、56、66、清洗流体供给装置80的清洗切换阀84等的动作进行控制。存储部92由光学驱动装置或闪存等构成。在存储部92存储有包含清洗用程序在内的各种控制数据。

输入输出接口93经由总线而与清洗控制部91、存储部92、电动机控制电路94及各种传感器连接。输入输出接口93介于清洗控制部91或存储部92与电动机控制电路94之间，对数据形式的转换和信号强度进行调节。电动机控制电路94对安装于安装头清洗装置70的安装头40的R轴电动机42、θ轴电动机51、Z轴电动机56及步进电动机66进行控制。

(3.安装头清洗装置的清洗处理)

参照图6、图8～图11来对关于安装头清洗装置70对安装头40的清洗处理的结构进行说明。安装头40在清洗处理时，在全部吸嘴46从吸嘴轴45拆下的状态下安装于安装头清洗装置70的主体部。当安装了安装头40后，安装头40的连接管路64与安装头清洗装置70的供给管路88连接。

由此，安装头清洗装置70成为能够从清洗流体供给装置80向安装头40的空气通路60供给由正压空气或油雾构成的清洗流体的状态。而且，安装头40和安装头清洗装置70被连接电气系统及通信系统的连接器。由此，安装头清洗装置70成为能够通过控制装置90对安装头40的各电动机等进行控制的状态。

(3-1.清洗处理的概要)

在本实施方式中，例示使用了油雾的清洗处理。在清洗处理中，如图8所示，首先执行清洗工序(步骤10(以下将“步骤”记为“S”))。清洗工序(S10)是清洗处理中的、将通过清洗流体供给装置80供给到空气通路60的油雾从空气通路60的开口端喷出的工序。由此，通过油雾清洗形成于安装头40中的空气通路60。

接着，执行送风工序(S30)。送风工序(S30)是清洗处理中的、向空气通路60供给正压空气而将残留于该空气通路60中的油去除的工序。由此，通过使用了油雾的清洗工序(S10)而附着于空气通路60的内壁等的油从吸嘴轴45的前端等喷出。

接着，执行空转工序(S50)。空转工序(S50)是清洗处理中的、在将空气通路60中的清洗流体的流通切断的状态下，即机械阀65关闭的状态下使吸嘴轴45升降的工序。由此，吸嘴轴45及机械阀65的滑动部被残留于空气通路60中的油润滑。

(3-2.清洗工序的详细情况)

如图9所示，在清洗处理中的清洗工序(S10)中，首先通过R轴电动机42的旋转而使回转头44移动至作为基准的原位置(S111)。接着，回转头44转位到预定角度(S112)。在保持于回转头44的吸嘴轴45为N根的情况下，该“预定角度”由360/N表示。

接着，对应于每个吸嘴轴45(吸嘴46)而设置的机械阀65通过步进电动机66的驱动而成为关闭状态(S113)。由此，轴内通路61成为被封闭的状态。控制装置90判断回转头44的旋转角度的转位是否反复进行了N次(S114)。在小于N次的情况下(S114：否)，反复进行上述S111～S114的步骤。

通过该处理，与各吸嘴轴45对应的全部机械阀65成为关闭状态。换言之，各吸嘴轴45的轴内通路61被重置为封闭的状态。并且，在判断为回转头44的旋转角度的转位达到N次的情况下(S114：是)，移向S121。在此，清洗切换阀84被切换为图6的右侧(清洗用油通路86侧)，并且吸引阀89被切换为图6的左侧(S121)。

于是，从压缩机81向空气供给通路82供给的正压空气经由清洗切换阀84而被送入到清洗用油通路86。当正压空气在清洗用油通路86中流通时，向清洗用油通路86供给由注油器87生成的雾状的氟油。由此，向安装头清洗装置70的供给管路88供给作为清洗流体的油雾。

被供给到供给管路88的油雾经由安装头40的连接管路64而向安装头40的空气通路60导入。而且，通过吸引阀89的切换，被供给到空气供给通路82的正压空气经由吸引阀89而向吸引鼓风机73供给。由此，吸引鼓风机73成为工作状态。

接着，与转位到升降位置的最初的吸嘴轴45对应的机械阀65通过步进电动机66而上升并成为打开状态(S122)。由此，最初的吸嘴轴45的轴内通路61开放。于是，导入到安装头40的导入通路63的油雾经由头内通路62而供给到吸嘴轴45的轴内通路61。油雾从相当于空气通路60的开口端的吸嘴轴45的前端向外部喷出。

在该状态下，控制装置90以使吸嘴轴45进行升降，并且使吸嘴轴45与该吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线(绕θ轴)旋转的方式，对安装头40的升降机构及旋转机构的动作进行控制(S123)。具体而言，吸嘴轴45首先通过构成升降机构的Z轴电动机56的驱动而多次升降。此时，吸嘴轴45通过构成旋转机构的θ轴电动机51的驱动，对应吸嘴轴45的每一次升降动作而旋转预先设定的角度。

上述吸嘴轴45的旋转角度被设定为，在连续的吸嘴轴45的升降动作的期间吸嘴轴45的下降开始时的转位角度不同。例如，在旋转角度被设定为370度的情况下，控制装置90使吸嘴轴45在吸嘴轴45的下降时及上升时沿同方向分别各旋转185度。由此，下一次的吸嘴轴45的升降动作的下降开始时的转位角度每次相差10度。

这样，执行使升降机构动作以使吸嘴轴45进行升降的吸嘴轴升降步骤和使旋转机构动作以使吸嘴轴45与吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转的吸嘴轴旋转步骤(S123)。由此，进入到空气通路60及吸嘴轴45的滑动部(与回转头44嵌合的嵌合部)的尘埃等被油雾去除。而且，通过吸嘴轴45进行旋转动作，而遍及全周地对形成于吸嘴轴45的外周侧的环状槽进行清洗。从吸嘴轴45的前端喷出的油雾被吸引鼓风机73吸引。

接着，使与轴内通路61被清洗了的吸嘴轴45对应的机械阀65再次成为关闭状态(S124)。由此，轴内通路61被封闭。并且，回转头44转位到预定角度(S125)。控制装置90判定回转头44的旋转角度的转位是否反复进行了N次(S126)。在小于N次的情况下(S126：否)，反复进行上述S122～S126的步骤。

通过该处理，由第1～N个吸嘴轴45的轴内通路61依次构成空气通路60，并且依次清洗各轴内通路61。并且，在回转头44的旋转角度的转位反复进行了N次的情况下(S126：是)，处于由第N个吸嘴轴45的轴内通路61构成的空气通路60被清洗了的状态。然后，将清洗切换阀84及吸引阀89分别切换至原位置(参照图6)(S127)。由此，停止油雾向安装头40的供给及正压空气向吸引鼓风机73的供给。

(3-3.送风工序的详细情况)

在清洗处理中的送风工序(S30)中，如图10所示，首先将清洗切换阀84切换为图6的左侧(清洗用空气通路85侧)，并且将吸引阀89切换为图6的左侧(S311)。于是，从压缩机81供给到空气供给通路82的正压空气经由清洗切换阀84而向清洗用空气通路85送入。而且，供给到空气供给通路82的正压空气经由吸引阀89而供给到吸引鼓风机73。由此，吸引鼓风机73成为工作状态。

接着，与被转位到升降位置的最初的吸嘴轴45对应的机械阀65成为打开状态(S312)。由此，最初的吸嘴轴45的轴内通路61开放。于是，被导入到安装头40的导入通路63的正压空气经由头内通路62而供给到吸嘴轴45的轴内通路61。正压空气从相当于空气通路60的开口端的吸嘴轴45的前端向外部喷出。

在该状态下，控制装置90使吸嘴轴45多次升降，并且使吸嘴轴45与该吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线(绕θ轴)旋转(S313)。关于控制装置90对吸嘴轴45的升降动作及旋转动作的同步控制，与清洗工序(S10)的S123中的同步控制实质上相同，因此省略详细的说明。

通过这样的吸嘴轴45的动作，吹飞而去除了残留于空气通路60、吸嘴轴45的滑动部及机械阀65的滑动部的油被吹飞而去除。而且，通过吸嘴轴45进行旋转动作，残留于在吸嘴轴45的外周侧形成的环状槽的油也同样遍及全周地被去除。这样去除的油与正压空气一起从吸嘴轴45的前端喷出，并被吸引鼓风机73吸引。

接着，使与被去除了轴内通路61的油的吸嘴轴45对应的机械阀65再次成为关闭状态(S314)。由此，轴内通路61被封闭。并且，回转头44转位到预定角度(S315)。控制装置90判定回转头44的旋转角度的转位是否反复进行了N次(S316)。在小于N次的情况下(S316：否)，反复进行上述S312～S316的步骤。

通过该处理，由第1～N个吸嘴轴45的轴内通路61依次构成空气通路60，并且依次去除残留于各轴内通路61中的油。并且，在回转头44的旋转角度的转位反复进行了N次的情况下(S316：是)，处于由第N个吸嘴轴45的轴内通路61构成的空气通路60被去除了残留的油的状态。然后，将清洗切换阀84及吸引阀89分别切换为原位置(参照图6)(S317)。由此，停止正压空气向安装头40及吸引鼓风机73的供给。

(3-4.空转工序的详细情况)

清洗处理中的空转工序(S50)在将空气通路60中的清洗流体的流通切断后的状态下，即清洗切换阀84处于原位置(参照图6)而正压空气和油雾均不向安装头40供给的状态下执行。

在上述状态下，如图11所示，控制装置90使吸嘴轴45进行升降，并且使吸嘴轴45与该吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线(绕θ轴)旋转(S511)。此时，控制装置90以使吸嘴轴45的一次升降动作中的吸嘴轴45的旋转角度成为360度以上的方式，对安装头40的升降机构及旋转机构的动作进行控制。

接着，与转位到升降位置的最初的吸嘴轴45对应的机械阀65进行升降(S512)。由此，机械阀65在被切换为打开状态后再次返回到关闭状态。这样，当吸嘴轴45及机械阀65动作(S511、S512)时，各滑动部被清洗流体中所包含的油润滑。

接着，回转头44转位到预定角度(S513)。控制装置90判定回转头44的旋转角度的转位是否反复进行了N次(S514)。在小于N次的情况下(S514：否)，反复进行上述S511～S513的步骤。通过该处理，第1～N个吸嘴轴45及机械阀65依次进行空转运转，各滑动部被润滑。

并且，在回转头44的旋转角度的转位反复进行了N次的情况下(S514：是)，第N个吸嘴轴45及与该吸嘴轴45对应的机械阀65成为空转运转结束的状态。然后，控制装置90结束空转工序(S50)，并且结束清洗处理(参照图8)。

另外，在上述方式中，构成为控制装置90使每一组吸嘴轴45及机械阀65分别各进行一次升降。相对于此，控制装置90也可以使吸嘴轴45及机械阀65多次升降。而且，在空转工序(S50)中，成为清洗流体的流通被切断的状态。因此，控制装置90也可以同时执行吸嘴轴45的升降动作和旋转动作的同步控制(S511)及机械阀65的升降动作的控制(S512)。

(4.实施方式的结构的效果)

本实施方式的安装头清洗装置70及安装头清洗方法以安装头40为对象，该安装头40具备：吸嘴46，通过从负压空气供给装置经由空气通路60供给的负压空气来吸附元件；及吸嘴轴45，将吸嘴46保持为能够拆装，并被保持为能够通过升降机构进行升降并且能够通过旋转机构进行自转。安装头清洗装置70对形成于安装头40的内部的空气通路60进行清洗。

安装头清洗装置70具备：清洗流体供给装置80，向空气通路60供给由正压空气或油雾构成的清洗流体；及控制装置90，在使用清洗流体供给装置80进行清洗处理时，以使吸嘴轴45进行升降并且使吸嘴轴45与该吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转的方式，对升降机构的动作及旋转机构的动作进行控制。

而且，安装头清洗方法在使用了向空气通路60供给由正压空气或油雾构成的清洗流体的清洗流体供给装置80的清洗处理中具备如下的步骤：吸嘴轴升降步骤(S123)，以使吸嘴轴45进行升降的方式使升降机构动作；及吸嘴轴旋转步骤(S123)，以使吸嘴轴45与该吸嘴轴升降步骤中的吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转的方式使旋转机构动作。

根据这样的结构，可遍及整体地对形成于安装头40的空气通路60进行清洗。在本实施方式中，可遍及全周地对形成于吸嘴轴45的外周侧的环状槽进行清洗，防止在空气通路60中被清洗的部位偏向。由此，清洗效率提高，可缩短清洗处理所需的时间。

在本实施方式中，控制装置90在清洗处理中的、将通过清洗流体供给装置80供给到空气通路60的清洗流体从该空气通路60的开口端喷出的清洗工序(S10)中，使吸嘴轴45与吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转(S123)。

在此，吸嘴轴45被保持为能够相对于安装头40的主体部进行升降并且能够旋转。因此，将安装头40的主体部与吸嘴轴45连通的空气通路60随着吸嘴轴45的升降动作及旋转动作而伸缩。在这样的结构中，通过在清洗工序(S10)中使吸嘴轴45进行升降并且绕轴线旋转(S123)，而清洗流体(油雾)在伸缩的空气通路60中均匀地流通。由此，可靠地取出被吸引到空气通路60中的尘埃等。因此，清洗效率提高，可缩短清洗处理所需的时间。

在本实施方式中，清洗流体是油雾。控制装置90在清洗处理中的、向空气通路60供给正压空气而去除残留于该空气通路60中的油的送风工序(S30)中，使吸嘴轴45与吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转(S313)。

根据这样的结构，残留于吸嘴轴45的滑动部、空气通路60中的油被吹飞而去除。而且，通过吸嘴轴45进行旋转动作，而残留于在吸嘴轴45的外周侧形成的环状槽的油也同样遍及全周地被去除。而且，正压空气的一部分进入到吸嘴轴45的滑动部。由此，残留于空气通路60中的一部分油随着正压空气的流通而被送入到吸嘴轴45的滑动部。由此，向滑动部供给油，滑动部的润滑性提高。

在本实施方式中，清洗流体是油雾。控制装置90在清洗处理中的、在将空气通路60中的清洗流体的流通切断的状态下使吸嘴轴45进行升降的空转工序(S50)中，使吸嘴轴45与吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转(S511)。

根据这样的结构，吸嘴轴45的滑动部被油雾中包含的油润滑。由此，吸嘴轴45的润滑性提高。

在本实施方式中，在使吸嘴轴45多次升降的情况下，以在连续的升降动作的期间吸嘴轴45的下降开始时的转位角度不同的方式设定一次升降动作中的吸嘴轴45的旋转角度。控制装置90基于所设定的吸嘴轴45的旋转角度，对升降机构的动作及旋转机构的动作进行控制(S123、S313)。

根据这样的结构，吸嘴轴45的转位角度对应于吸嘴轴45的Z方向位置而变化。由此，空气通路60的形状发生变化，因此防止空气通路60中被清洗的部位偏向一部分。由此，清洗流体在空气通路60中均匀地流通，在清洗工序(S10)中清洗效率提高，而且在送风工序(S30)中能够适当地去除残留的油。

在本实施方式中，在使吸嘴轴45与吸嘴轴45的升降动作同步地绕轴线旋转的情况下，控制装置900以使一次升降动作中的吸嘴轴45的旋转角度为360度以上的方式对升降机构的动作及旋转机构的动作进行控制(S123、S313、S511)。

根据这样的结构，在至少一次升降动作中使吸嘴轴45旋转一周以上。由此，将回转头44和吸嘴轴45之间连通的空气通路60的形状适当地发生变化，在清洗工序(S10)中清洗效率提高。而且，在送风工序(S30)残留的油被适当地去除。在空转工序(S50)吸嘴轴45的滑动部被适当地润滑。

＜实施方式的变形方式＞

(关于清洗流体)

在实施方式中，例示了使用油雾作为清洗流体的清洗处理。相对于此，清洗处理也可以使用不包含油的正压空气作为清洗流体。具体而言，在清洗工序(S10)的S121(参照图9)中，清洗切换阀84被切换为图6的左侧(清洗用空气通路85侧)。由此，从压缩机81向空气供给通路82供给的正压空气经由清洗切换阀84而被送入到清洗用空气通路85。由此，向安装头清洗装置70的供给管路88供给作为清洗流体的正压空气。在将正压空气作为清洗流体的清洗处理中，不需要去除残留的油的送风工序(S30)及通过油促进润滑的空转工序(S50)。

(关于吸嘴轴的升降动作和旋转动作的同步控制)

在实施方式中，例示了在以下的情况下对吸嘴轴45的升降动作和旋转动作同步地进行控制。即，在清洗工序(S10)的清洗时(S123)、送风工序(S30)的去除油时(S313)及空转工序(S50)的润滑时(S511)，对旋转动作与升降动作同步地进行控制。

相对于此，吸嘴轴45的同步控制也可以适当组合上述任一时期来执行。除此之外，吸嘴轴45的同步控制也可以在空气通路60被减压或增压的状态下执行。具体而言，存在以下的方式。

即，在吸嘴轴45上，取代吸嘴46而装配将空气通路60封闭的模拟吸嘴。模拟吸嘴例如具有与吸嘴46相同的外观形状，而在前端部不具有开口部这一点上与吸嘴46不同。由此，当将模拟吸嘴装配于吸嘴轴45时，空气通路60成为在安装头40侧的端部被封闭的状态。

并且，控制装置90向封闭的空气通路60供给负压空气而对空气通路60进行减压，或者供给正压空气而对空气通路60进行增压。控制装置90在对空气通路60进行减压或增压时，使吸嘴轴45进行升降，并使吸嘴轴45与该升降动作同步地绕轴线(绕θ轴)旋转。控制装置90使上述同步控制与清洗工序(S10)等同样地对第1～N个吸嘴轴45依次执行。

根据这样的吸嘴轴45的同步控制，在空气通路60被减压的情况下，外气经由吸嘴轴45的滑动部和机械阀65的滑动部而流入。而且，在空气通路60被增压的情况下，正压空气经由吸嘴轴45的滑动部和机械阀65的滑动部而向外部流出。由此，可高效地去除进入到滑动部的尘埃等。而且，油被高效地送入到滑动部，因此可适当地对滑动部进行润滑。

(关于清洗处理中的机械阀的动作)

在实施方式中，机械阀65在清洗工序(S10)的清洗时的前后(S122、S124)及送风工序(S30)的去除油时的前后(S312、S314)进行升降，而切换为打开状态或关闭状态。相对于此，控制装置90也可以在清洗处理中向空气通路60供给清洗流体时，多次对机械阀65进行切换。

例如，在清洗工序(S10)的清洗时(S123)，以使清洗流体间歇性地供给的方式使机械阀65短期地成为关闭状态，而后再次切换为打开状态。由此，控制装置90使作用于空气通路60的压力上下变化。于是，空气通路60中的清洗流体的流通量发生变化，可高效地去除堆积于空气通路60中的尘埃等。

附图标记说明

1：元件安装机

10：基板输送装置、20：元件供给装置、30：元件移载装置

40：安装头、

45：吸嘴轴、46：吸嘴

47：从动齿轮、48：θ轴齿轮、51：θ轴电动机

52：驱动齿轮、53：吸嘴齿轮

54：吸嘴工作部件、55：引导杆、56：Z轴电动机

57：滚珠丝杠机构、58：吸嘴杆

60：空气通路、65：机械切换阀(机械阀)

70：安装头清洗装置

80：清洗流体供给装置

90：控制装置