技术总结
本发明公开了一种调节温度均匀性的蛇形薄膜加热器及其调温方法，包含一个二维平板薄片状基板和沉积在所述基板上的一个蛇形薄膜加热线，蛇形薄膜加热线由多条彼此平行的加热线段以及连接线构成，在基板的横向上，通过调节每条加热线段的间距或线宽或二者同步联调来提高横向温度均匀性，在基板的纵向上，通过将每条加热线段调节为中间宽而两端细的形状来提高纵向温度均匀性。本发明通过在纵向和横向两个方向上同时改变加热线的线宽和间距，进而减小中心部位的加热功率而相应增大边缘部分的功率的方法，以弥补中心区域散热慢而周围区域散热快的传热差别，实现了能够提高加热器温度均匀性的技术效果。
技术研发人员：杜晓松;李亚茹;姚祺;郭鹏飞;袁欢;太惠玲
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201610679915
技术研发日：2016.08.17
技术公布日：2016.12.21