壳体和基板向壳体的设置方法与流程

文档序号:18873940发布日期:2019-10-14 20:10阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种能够应对多种基板的壳体和基板向壳体的设置方法。壳体在内部具备基板支承部和基板支承体。基板支承部具有能够在壳体内的第1基板支承位置支承第1基板的第1支承部。基板支承体具有能够在第1基板支承位置支承第2基板的第2支承部。

技术研发人员:田头毅
受保护的技术使用者:川崎重工业株式会社
技术研发日:2018.02.26
技术公布日:2019.10.11
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