一种声表面波滤波器的制作方法

本公开一般涉及滤波设备技术领域，具体涉及一种声表面波滤波器。

背景技术：

声表面波滤波器主要是利用压电材料的压电特性，利用输入与输出换能器将电波的输入信号转换成机械能，经过处理后，再把机械能转换成电的信号，以达到过滤不必要的信号及杂讯，提升收讯品质的目标。

现有的声表面波滤波器中相对带宽为4％左右的设计方案，插损一般在2db以上，小的也要到1.6db；并且芯片尺寸也相对较大，中心频率150mhz左右的器件至少要做到9mm*7mm外壳中，器件占用空间大；因此，现有的声表面波滤波器亟待改进。

技术实现要素：

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种减小体波辐射，减小滤波器损耗，有效缩小器件尺寸，结构简单且易于实现的声表面波滤波器。

第一方面，

本技术：
提供一种声表面波滤波器，包括：压电基片和设置在所述压电基片上的第一通道与第二通道；

所述第一通道与所述第二通道为两级耦合级联结构；所述第一通道与所述第二通道均包括：两个反射栅和位于两个所述反射栅之间的三个叉指换能器；三个所述叉指换能器并排设置，且每个所述叉指换能器的上下两侧分别设置有汇流条。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述叉指换能器包括：多对叉指电极；每对所述叉指电极设置有两个叉指条，且两个所述叉指条分别与不同的所述汇流条连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，每个所述叉指换能器的汇流条之间设置有接地指条。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一通道与所述第二通道之间采用首尾相连串联方式级联而成。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述压电基片为钽酸锂或铌酸锂晶片。

综上所述，本技术方案具体地公开了一种声表面波滤波器的具体结构。本申请具体地在压电基片上设计两级耦合级联结构的第一通道与第二通道，且第一通道与第二通道均包括两个反射栅和三个并排设置的叉指换能器，利用叉指换能器代替换能器的间隔，有效减小体波辐射，减小滤波器损耗；

进一步地，通过在每个所述叉指换能器的汇流条之间设计接地指条，接地指条一端与叉指换能器上侧的汇流条连接，其另一端与叉指换能器下侧的汇流条连接，利用接地指条连接到地，有效缩小了接地焊盘的尺寸，同时达到缩小滤波器尺寸的效果。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为一种声表面波滤波器的结构示意图。

图2为叉指条的结构示意图。

图中标号：1、第一通道；2、第二通道；3、叉指换能器；4、反射栅；5、汇流条；6、接地指条；7、叉指条。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

实施例一

请参考图1所示的本申请提供的一种声表面波滤波器的第一种实施例的结构示意图，包括：压电基片和设置在所述压电基片上的第一通道1与第二通道2；

所述第一通道1与所述第二通道2为两级耦合级联结构；所述第一通道1与所述第二通道2均包括：两个反射栅4和位于两个所述反射栅4之间的三个叉指换能器3；三个所述叉指换能器3并排设置，且每个所述叉指换能器3的上下两侧分别设置有汇流条5。

在本实施例中，第一通道1与第二通道2，设置在所述压电基片上，二者为两级耦合级联结构，可以采用首尾相连串联方式级联；其中，第一通道1与第二通道2，一个通道的为输入换能器，另一个通道的为输出换能器；

三个叉指换能器3，设置在两个所述反射栅4之间，且三个并排设置，用于产生声表面波；利用其代替换能器的间隔，有效减小体波辐射，减小滤波器损耗；

反射栅4，用于反射叉指换能器3产生的声表面波；

汇流条5，设置在每个所述叉指换能器3的上下两侧，且汇流条5与反射栅4电连接，用于导通电信号；此处，汇流条在的位置不同，所起的作用也不同，汇流条包括：输入端、输出端和接地端；输入端或输出端是直接通过压焊丝与管壳的输入焊盘、输出焊盘连接，接地端与管壳的接地焊盘连接。

在任一优选的实施例中，所述叉指换能器3包括：多对叉指电极；每对所述叉指电极设置有两个叉指条7，且两个所述叉指条7分别与不同的所述汇流条5连接。

在本实施例中，叉指换能器3由多对叉指电极构成，而每对叉指电极包括两个叉指条7，并且一个叉指条7与叉指换能器3上侧的汇流条5连接，另一个叉指条7与叉指换能器3下侧的汇流条5连接，形成交替连接的形式；

其中，叉指电极的多对叉指电极的数量为至少六十对；叉指条7，采用半导体平面工艺在压电基片上制作的叉指形状的金属指条，并利用压电效应和逆压电效应实现电能与机械能之间的转换。

在任一优选的实施例中，每个所述叉指换能器3的汇流条5之间设置有接地指条6。

在滤波器常规的接地设计中，采用的接地焊盘需要单独接压焊丝，由于其压焊工艺，其成型尺寸较大(一般不小于150nm*150nm)，进而导致芯片尺寸较大；而在本实施例中，将接地指条6设置在每个所述叉指换能器3的汇流条5之间，接地指条6一端与叉指换能器3上侧的汇流条5连接，其另一端与叉指换能器3下侧的汇流条5连接，利用接地指条6连接到地，有效缩小了接地焊盘的尺寸，同时达到缩小滤波器尺寸的效果；其中，滤波器的宽度可减小0.4mm，在其他实施例中也可以减小其他尺寸数值。

在任一优选的实施例中，所述压电基片为钽酸锂或铌酸锂晶片。

在本实施例中，压电基片采用钽酸锂或铌酸锂晶片为制作材料，且根据实际需要也可选用其他材质材料制作压电基片。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

技术特征：

1.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：压电基片和设置在所述压电基片上的第一通道(1)与第二通道(2)；

所述第一通道(1)与所述第二通道(2)为两级耦合级联结构；所述第一通道(1)与所述第二通道(2)均包括：两个反射栅(4)和位于两个所述反射栅(4)之间的三个叉指换能器(3)；三个所述叉指换能器(3)并排设置，且每个所述叉指换能器(3)的上下两侧分别设置有汇流条(5)。

2.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于，所述叉指换能器(3)包括：多对叉指电极；每对所述叉指电极设置有两个叉指条(7)，且两个所述叉指条(7)分别与不同的所述汇流条(5)连接。

3.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于，每个所述叉指换能器(3)的汇流条(5)之间设置有接地指条(6)。

4.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于，所述第一通道(1)与所述第二通道(2)之间采用首尾相连串联方式级联而成。

5.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于，所述压电基片为钽酸锂或铌酸锂晶片。

技术总结
本申请公开了一种声表面波滤波器。包括：压电晶片和设置在所述压电晶片上的第一通道与第二通道；本申请具体地在压电基片上设计两级耦合级联结构的第一通道与第二通道，且第一通道与第二通道均包括两个反射栅和三个并排设置的叉指换能器，利用叉指换能器代替换能器的间隔，有效减小体波辐射，减小滤波器损耗；进一步地，通过在每个所述叉指换能器的汇流条之间设计接地指条，接地指条一端与叉指换能器上侧的汇流条连接，其另一端与叉指换能器下侧的汇流条连接，利用接地指条连接到地，有效缩小了接地焊盘的尺寸，同时达到缩小滤波器尺寸的效果。

技术研发人员：张太鑫;卢翠;王玉龙
受保护的技术使用者：河北时硕微芯科技有限公司
技术研发日：2020.07.24
技术公布日：2021.03.12