型，从上部及侧部与载置部50的周缘抵接来进行载置部50的定位和载置部50的保持。在本实施方式的情况下，相对于载置部50的相向的两边，分别分配了两个定位构件1103。通过各动作执行器1102的驱动，载置部50，通过定位构件1103的垂直部及水平部分别与相向的两边抵接而被夹着，被定位且以水平姿势被保持。
[0048]分离单元111是将吸附在了载置部50上的罩51从载置部50分离的单元。分离单元111具备驱动单元1110、升降体1111、导向部1112、销支承工作台1113和多个销1114。驱动单元1110具备马达等驱动源IllOa和将驱动源IllOa的驱动力传递给升降体1111的传递机构1110b。传递机构1110b，例如是滚珠丝杠机构，由驱动源IllOa的驱动力对升降体1111进行升降。导向部1112对升降体1111的升降进行引导。导向部1112，在本实施方式的情况下，具备在成为升降方向的Y方向延伸的轨道1112a，与升降体1111连结了的滑块Illla卡合在此轨道1112a上。
[0049]销支承工作台1113是与升降体1111连结地与升降体1111 一起升降的板状的构件。多个销1114，其支承部侧前端被形成为水平面状，被直立设置在销支承工作台1113上。在载置部50上，形成了销1114可穿插的贯通孔或者切口，随着销支承工作台1113的升降，销1114可在被设定在上方的位置的工作位置(图3的位置)和被设定在载置部50的下方的位置的退避位置之间移动。在工作位置，销1114从载置部50的上面突出。
[0050]当从被保持在定位单元110上的载置部50分离罩51时，通过使销1114从退避位置上升到工作位置，使销1114与罩51的下面抵接，顶起罩51。由此，罩51从载置部50分离，向载置部50的上方升起。
[0051]参照图2对移动装置14进行说明。移动装置14在Y方向及Z方向可移动保持装置13，在输送装置10和载体处理装置11之间及载体处理装置11和输送装置12之间，在上下方向及水平方向移动保持装置13。
[0052]移动装置14，具备在成为移载方向的Z方向离开，在Y方向延伸设置的一对支柱140、架设在一对支柱140之间的导向单元141、沿着导向单元141在Z方向可移动地被支承的水平移动体141a、设置在水平移动体141a上的升降单元142、由升降单元142升降的升降体144和设置在升降体144上的转动单元143。升降体144对转动单元143进行支承。转动单元143，与保持装置13连接，进行在由保持装置13保持的基板W及罩51的面与XZ面(水平面)平行的状态下转动并保持的基板W或者罩51的在XZ面中的角度调整。导向单元141使升降单元142移动的机构及升降单元142使升降体144升降的机构，能采用公知的机构，例如，能由马达等驱动源和传递驱动源的驱动力的传递机构(例如，皮带传递机构、滚珠丝杠机构、齿条一小齿轮机构等)构成。另外，通过在导向单元141及升降单元142上设置检测水平移动体141a及升降体144的各位置的编码器等传感器，能基于各传感器的检测结果进行保持装置13的移动控制。在本实施方式中，采用了呈直线状地移动保持装置13的正交移动机构，但也可以在具有垂直多关节的机械手等多样的移动机构的前端安装保持装置13。
[0053]接着，参照图4A?图6B对保持装置13进行说明。图4A及图4B是保持装置13的概要图，图4A表示保持装置13的立体图，图4B表示保持装置13的分解立体图。图5A及图5B是罩保持单元130的概要图。图6A及图6B是基板保持单元131的概要图。
[0054]保持装置13，具备罩保持单元130、基板保持单元131和对它们进行支承的支承单元 132。
[0055]罩保持单元130是解除自由地保持载体5的罩51的单元。罩保持单元130，具备基底构件1300、吸附部1301、罩规定构件1302和定位构件1303。
[0056]基底构件1300是板状的构件，具备穿插后述的支承单元132的支承部1323的开口部1300a(在本实施方式中图示2个)。开口部1300a是与支承部1323相应形成的，其数量也可以是I个或者3个以上。
[0057]吸附部1301吸附罩51。吸附部1301以向基底构件1300的下方突出的方式被支承在基底构件1300上，在其前端部设置了吸引空气的吸附衬垫。通过经吸附衬垫的吸引孔由未图示的泵吸引空气，能负压吸引并保持罩51。通过停止吸引并进行大气压释放，罩51的保持被解除。在本实施方式的情况下，吸附部1301设置了 4个，通过吸附部1301相对于罩51的上面吸附4个部位，与罩规定构件1302 —起以水平姿势保持罩51。
[0058]罩规定构件1302是规定罩保持单元130中的罩51的保持位置(保持高度)的构件，能稳定罩51的姿势不变地保持该罩51。罩规定构件1302以向基底构件1300的下方突出的方式被支承在基底构件1300上，在其前端部具有水平的定位面。在罩51的吸附时，通过罩51的上面与此定位面抵接，罩规定构件1302规定罩51的吸附方向(Y方向)的位置，由此保持罩51的水平姿势。在本实施方式的情况下，罩规定构件1302设置了 4个，通过罩规定构件1302相对于罩51的上面抵接4个部位，规定其吸附方向的位置。
[0059]定位构件1303是进行罩保持单元130的相对于载体5的定位的构件。定位构件1303以向基底构件1300的下方突出的方式被支承在基底构件1300上，在其前端部具备销。通过此销在下降时插入在载置部50的孔50a及罩51的孔51c内进行卡合，能进行定位构件1303和载体5的水平方向的相对的定位。在本实施方式的情况下，定位构件1303设置了 2个，通过定位构件1303相对于载置部50在2个部位(详细地讲，在对角2个部位)进行卡合，规定了相对的位置。
[0060]基板保持单元131是解除自由地保持基板W的单元。基板保持单元131具备基底构件1310、吸附部1311和基板规定构件1312。基底构件1310是板状的构件，形成了固定后述的支承单元132的支承部1323的安装孔1310a (在本实施方式中图示2个)。
[0061]吸附部1311对基板W进行吸附。吸附部1311以向基底构件1310的下方突出的方式被支承在基底构件1310上，在其前端部设置了吸引空气的波纹管衬垫。通过经波纹管衬垫的吸引孔由未图示的泵吸引空气，能负压吸引并保持基板W。如果停止吸引，进行大气压释放，则基板W的保持被解除。在本实施方式的情况下，吸附部1311设置了 8个，通过吸附部1311相对于基板W的上面进行吸附8个部位，与基板规定构件1312 —起以水平姿势保持基板W。吸附部1311被配置在不与后述的基板规定构件1312干涉的位置且在基板规定构件1312的附近。另外，吸附部1311，以夹入各基板规定构件1312的方式配置，一边使基板W的上面与后述的定位部1312b可靠地抵接一边保持基板W。
[0062]基板规定构件1312是规定基板保持单元131中的基板W的保持位置的构件。基板规定构件1312以向基底构件1310的下方突出的方式被支承在基底构件1310上，在其前端部，具有水平的安装部1312a和从安装部1312a突出地形成的定位部1312b。安装部1312a，例如在由螺栓等紧固连结构件安装在基底构件1310上时使用。另外，在基板W的吸附时基板W的上面的一部分与定位部1312b的下面抵接，规定基板W的吸附方向(Y方向)的位置。在本实施方式的情况下，基板规定构件1312在基底构件1310的下侧配置了 6个，各自的定位部1312b的下面以成为相同的水平面(同一平面)的方式配置。另外，按3个一组将基板规定构件1312呈直线状地以成为2列的方式排列进行配置，形成各自的列的定位部1312b以成为直线状的方式配置，各自的列被配置成相对于基底构件1310的中心线线对称。通过设置了多个定位部1312b，能防止吸附时的基板W的挠曲，以水平姿势保持基板W。另外，即使是I个定位部1312b，在扩大了其下面的面积的情况下，有时也能以水平姿势保持基板W。
[0063]支承单元132是支承罩保持单元130和基板保持单元131，另外，与移动装置14的转动单元143连接的单元。
[0064]支承单元132具备基底构件1320和支承部1322、1323。基底构件1320是板状的构件，在其上面中央部设置了连接转动单元143 (特别是其旋转输出部)的连接构件1321。在连接构件1321上，例如形成了与转动单元143紧固连结的螺栓孔等。
[0065]支承部1322，一端侧与基底构件1320连接，另一端侧与罩保持单元130的基底构件1300连接，对罩保持单元130进行支承。在本实施方式的情况下，支承部1322在X方向分离地设置了 2个。在本实施方式的情况下，罩保持单元130，在相对于载体5接近或离开的方向可位移地被支承(吊设)。由于设置了多个支承部1322，所以罩保持单元130，不仅在相对于载体5接近或离开的方向可位移，而且相对于水平面可倾斜地被支承。
[0066]在本实施方式的情况下，支承部1322是作为浮动支承罩保持单元130的浮动机构而构成，可进行罩保持单元130的位移。
[0067]详细地讲，支承部1322由杆气缸和弹簧构成，杆气缸的气缸部被固定在基底构件1320上，杆部被固定在基底