变复杂。
[0048]如图7B所示，在第一实施方式的声波装置中，位于互连线18下方的压电基板12被留下。因此，不会出现与第二比较例的压电基板12的端面相对应的台阶部。因而，可以抑制互连线18局部变薄。
[0049]如上所述，在第一实施方式中，位于互连线18下方的压电基板12被留下。由此，如图7A和图7B所示，可以抑制互连线18局部变薄。
[0050]区域24的压电基板12被除去。由此，如图6A至图6D所示，当切断支撑基板10时，可以抑制切断条件变复杂和/或在压电基板12中出现裂痕。优选地除去区域24的整个压电基板12。但是，可以留下区域24的部分的或全部的压电基板12。
[0051]另外，除了声波元件16、互连线18和区域24之外的区域26的至少一部分的压电基板12被除去。由此，如图5A和图5B所述，可以抑制声波元件16的损失。从抑制声波元件16的损失的角度考虑，优选地除去在表面声波50的传播方向上的位于声波元件16之外的压电基板12。而且，可以抑制应力聚集在界面56处以及因热电导致在界面56处电荷的聚集。从该角度考虑，优选地使留下的压电基板12的面积小。因此优选地除去区域26的整个压电基板12。
[0052][第二实施方式]
[0053]图8A示出了根据第二实施方式的声波装置的平面图。图8B示出了沿图8A的线B-B截取的剖视图。如图8A和图8B所示，将形成有声波元件16的区域20的压电基板12以及形成有互连线18的区域22的压电基板12留下。除去区域24的压电基板12。将除了声波元件16、互连线18和区域24之外的区域26中的被声波元件16和互连线18包围的区域26a的压电基板12留下。将区域26的位于声波元件16和互连线18之外的区域26b的压电基板12除去。其它结构与第一实施方式相同。因此省略对这些结构的说明。
[0054]图9A示出了根据第二实施方式的第一修改例的声波装置的平面图。图9B示出了沿图9A的线B-B截取的剖视图。如图9A和图9B所示，将区域26的被声波元件16和互连线18包围的区域26a的压电基板12除去。将位于声波元件16和互连线18之外的区域26b的压电基板12留下。其它结构与第二实施方式相同。因此省略对这些结构的说明。
[0055]图10A示出了根据第二实施方式的第二修改例的声波装置的平面图。图10B示出了沿图10A的线A-A截取的剖视图。如图10A和图10B所示，将作为位于声波元件16和互连线18之外的区域26b的一部分的区域30的压电基板12除去。将区域26的其它区域的压电基板12留下。其它结构与第二实施方式相同。因此省略对这些结构的说明。
[0056]如在第二实施方式和修改例的情况中那样，除了形成有声波元件16的区域20、形成有互连线18的区域22以及区域24之外的区域26的至少一部分(第五区域)的压电基板12被除去。通过该结构，减小了留下的压电基板12的面积。而且可以抑制声波元件16的损失、应力在界面56处的聚集以及电荷在界面56处的聚集。
[0057]如在第二实施方式的情况中那样，将区域26的被声波元件16和互连线18包围的区域26a的压电基板12留下，并且将区域26的位于声波元件16和互连线18之外的区域26b的压电基板12除去。当压电基板12被留下以包围区域26外侧时，聚集于界面56的应力和电荷增多。在第二实施方式中，将包围声波元件16的区域26b的压电基板12除去。通过该结构，可以抑制应力聚集和电荷聚集。
[0058]如在第二实施方式的第一修改例的情况中那样，可以除去区域26的被声波元件16和互连线18包围的区域26a的压电基板12，并且可以留下位于声波元件16和互连线18之外的区域26b的压电基板12。区域26a更靠近具有不同电势的互连线18 (例如，接地互连线和信号互连线)。通过该结构，除去了在彼此相邻且具有不同电势的互连线18之间的压电基板12。因此可以抑制互连线18之间的静电电容对特性产生影响。
[0059]如在第二实施方式的第二修改例的情况中那样，可以除去作为位于声波元件16和互连线18之外的区域26b的一部分的区域30的压电基板12。可以除去作为被声波元件16和互连线18包围的区域26a的一部分的区域的压电基板12。
[0060]如上所述，优选地除去在具有不同电势的互连线18之间的压电基板12。通过该结构，可以抑制互连线18之间的静电电容。
[0061][第三实施方式]
[0062]图11A示出了第一实施方式的剖视图。图11B至图11E示出了第三实施方式和第三实施方式的修改例的剖视图。如图11A所示，在第一实施方式中，被声波元件16激励的表面声波50在压电基板12的表面附近传播，被压电基板12的端面11反射，而变为传播进入声波元件16中的表面声波52。由此抑制了声波元件16的损失。另一方面，在声波元件16中，激励了作为不必要声波54的体波。声波54在压电基板12的体积内传播，被端面11反射，而返回至声波元件16。声波54引起乱真的因素。
[0063]如图11B所示，在第三实施方式中，在位于表面声波50的传播方向上的端面11上形成有凹凸部。所述凹凸部的间距和高度是不规则的。声波54被端面11漫反射。因此，抑制了因声波54引起的乱真。
[0064]如图11C所示，在第三实施方式的第一修改例中，端面11的下部lib的凹凸部大于端面11的上部11a的凹凸部。例如，上部11a具有大致镜面。通过该结构，通过上部11a反射在压电基板12的表面附近传播的表面声波50。因此，可以抑制声波元件16的损失。在压电基板12中传播的声波54被下部lib漫反射。由此，可以抑制因声波54引起的乱真。
[0065]如图11D所示，在第三实施方式的第二修改例中，端面11与支撑基板10的上表面之间的角度Θ为锐角。例如，端面11具有大致镜面。通过该结构，声波54在端面11与支撑基板10的上表面之间反复反射，并朝向压电基板12的边缘行进。因此，声波54不会返回至声波元件16。由此，可以抑制因声波54引起的乱真。端面11可以具有凹凸部。
[0066]如图11E所示，在第三实施方式的第三修改例中，端面11的下部lib与支撑基板10的上表面之间的角度Θ小于上部11a与支撑基板10的上表面之间的角度。例如，上部11a和下部lib具有镜面。上部11a大致垂直于支撑基板10的上表面。通过该结构，在压电基板12的表面附近传播的表面声波50被上部11a反射而变为表面声波52。因此可以抑制声波元件16的损失。如在第三实施方式的第二修改例的情况中那样，声波54不会返回至声波元件16。由此，可以抑制因声波54引起的乱真。上部11a可以具有凹凸部。
[0067]可以通过使得用于除去压电基板12的蚀刻或喷砂处理的条件优化而任意地确定端面的凹凸部和角度Θ。
[0068][第四实施方式]
[0069]图12A示出了根据第四实施方式的声波装置的平面图。图12B示出了沿图12A的线A-A截取的剖视图。如图12A和图12B所示，在声波装置100中，声波元件16并不具有反射器15。以这种方式，在由IDT 14激励的声波的传播方向上，除去压电基板12。当形成压电基板12的端面11时，该端面反射声波。因此，声波可以不具有反射器15。其它结构与第一实施方式的图1A和图1B相同。因此省略对这些结构的说明。
[0070]作为第一至第四实施方式以及修改例描述了声波装置。但是，第一至第四实施方式以及修改例可以是界面声波装置或勒夫波装置。
[0071]本发明并不限于所具体描述的实施方式，可以在不脱离所要求保护的发明的范围的情况下作出其它实施方式和改动。
【主权项】
1.一种声波装置，该声波装置包括: 支撑基板； 接合在所述支撑基板上的压电基板； 设置在所述压电基板上的多个声波元件；以及 互连线，所述互连线设置在所述压电基板上并将所述多个声波元件联接， 其中: 设置有所述多个声波元件的第一区域的压电基板被留下； 设置有所述互连线的第二区域的压电基板被留下； 第三区域的压电基板用于切断所述支撑基板；以及 第四区域的压电基板不同于所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域，所述第四区域具有第五区域，在该第五区域中所述压电基板的至少一部分被除去。2.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述第三区域的压电基板被除去。3.根据权利要求1或2所述的声波装置，其中，所述第四区域的压电基板被除去。4.根据权利要求1所述的声波装置，其中: 所述第四区域的被所述多个声波元件和所述互连线包围的部分的压电基板被留下，并且 所述第四区域的位于所述多个声波元件和所述互连线之外的另一部分的压电基板被除去。5.根据权利要求1所述的声波装置，其中: 所述第四区域的被所述多个声波元件和所述互连线包围的部分的压电基板被除去，并且 所述第四区域的位于所述多个声波元件和所述互连线之外的另一部分的压电基板被留下。6.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述第四区域的位于电势彼此不同的互连线之间的部分的压电基板被除去。7.根据权利要求1或2所述的声波装置，其中，在所述压电基板的位于被所述多个声波元件激励的声波的传播方向上的端面上形成有凹凸部。8.根据权利要求1或2所述的声波装置，其中: 在所述压电基板的位于被所述多个声波元件激励的声波的传播方向上的端面的下部和上部上形成有凹凸部；并且 所述下部的所述凹凸部大于所述上部的所述凹凸部。9.根据权利要求1或2所述的声波装置，其中，在所述压电基板的位于被所述多个声波元件激励的声波的传播方向上的端面与所述支撑基板的上表面之间的角度是锐角。10.根据权利要求1或2所述的声波装置，其中: 在所述支撑基板的上表面与所述压电基板的位于被所述多个声波元件激励的声波的传播方向上的端面的下部之间的角度，小于在所述上表面与所述端面的上部之间的角度。
【专利摘要】本发明涉及一种声波装置。该声波装置包括：支撑基板；接合在所述支撑基板上的压电基板；设置在所述压电基板上的多个声波元件；以及互连线，所述互连线设置在所述压电基板上并将所述多个声波元件相联接，其中：设置有所述多个声波元件的第一区域的压电基板被留下；设置有所述互连线的第二区域的压电基板被留下；第三区域的压电基板用于切断所述支撑基板；以及第四区域的压电基板不同于所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域，所述第四区域具有第五区域，在该第五区域中所述压电基板的至少一部分被除去。
【IPC分类】H03H9/02, H03H9/25
【公开号】CN105375902
【申请号】CN201510452233
【发明人】黑柳琢真, 先滩薰
【申请人】太阳诱电株式会社
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年7月28日
【公告号】US20160049919