一种石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器与流程

文档序号:11881845阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提出一种石墨烯材料传声器振膜及制作该振膜的方法,包括金属镍环,以及与该金属镍环结合为一体的石墨烯薄膜,该振膜结构由以下方式得到:提供金属镍片,在金属镍片上生长石墨烯薄膜,利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除,得到金属镍环,金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体,由此制得石墨烯振膜,进一步提出一种包括该石墨烯材料振膜的电容传声器,本发明的石墨烯材料振膜结构牢固,并使具有该石墨烯振膜的传声器的灵敏度、频率响应、瞬态响应等电声特性均得到较大提升。

技术研发人员:张德明
受保护的技术使用者:北京塞宾科技有限公司
文档号码:201610594985
技术研发日:2016.07.25
技术公布日:2016.11.16

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