一种石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器与流程

本发明属于传声器零部件领域，特别涉及一种石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器。

背景技术：

传声器包括电容式、动圈式、压电式等，其中电容式传声器以其较为优秀的电声特性得到了广泛的应用，而振膜作为电容式传声器的重要组件对传声器性能有重要影响。现有技术中的传声器振膜其材料通常选用具有金属镀层的高分子材料、金属等，受到材料限制，传声器性能有时依然无法满足日益严苛的使用需要。

技术实现要素：

为了克服现有技术的不足，本发明提出一种石墨烯材料的传声器振膜、振膜的制作方法及包括该振膜的传声器，通过本发明制得的石墨烯振膜结构牢固，工艺简单，节约开销，并使具有该石墨烯振膜的传声器的灵敏度、频率响应、瞬态响应等电声特性均得到较大提升。

提供一种石墨烯材料传声器振膜，包括金属镍环，以及与该金属镍环结合为一体的石墨烯薄膜，该振膜结构由以下方式得到:提供金属镍片，在金属镍片上生长石墨烯薄膜，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到金属镍环，金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜。进一步，振膜形状包括圆形、方形、长方形、椭圆形、跑道形。

同时还提出了一种石墨烯材料传声器振膜的制作方法，制作流程包括提供一金属镍片，在金属镍片上生长石墨烯薄膜，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到金属镍环，金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜。

进一步提出一种电容式传声器，包括外壳，外壳内由上至下封装有上述石墨烯材料传声器振膜、绝缘环、具有通孔的背极板，其中金属镍环在上，与金属镍环相结合的石墨烯薄膜在下，绝缘环与石墨烯薄膜外围抵接，具有通孔的背极板与绝缘环抵接，通孔与外壳围成的声腔相连。进一步，该电容式传声器为驻极体式或纯电容式。

附图说明

图1为本发明的石墨烯材料振膜的制作流程图

图2为本发明的包含石墨烯材料振膜的传声器的剖面图

具体实施方式

结合附图，对本发明的实施方式进行详细说明。附图1示出了本发明的石墨烯振膜的制作流程，即首先提供一金属镍片1，在金属镍片1上生长石墨烯薄膜2，利用刻蚀的方式将金属镍片1的中间部分去除，得到金属镍环1’，金属镍环1’与石墨烯薄膜2结合为一体，由此制得石墨烯振膜。

附图2示出了本发明的包含有石墨烯振膜的电容传声器结构，包括外壳5，外壳5内由上至下封装有本发明的石墨烯振膜、绝缘环3、具有通孔的背极板4，其中金属镍环1’在上，与金属镍环1’相结合的石墨烯薄膜2在下，绝缘环3与石墨烯薄膜2外围抵接，具有通孔的背极板4与绝缘环3抵接，通孔与外壳5围成的声腔相连。也可以是金属镍环1’在下，与金属镍环1’相结合的石墨烯薄膜2在上，绝缘环3与金属镍环1’抵接。

进一步，本发明的石墨烯振膜可用于驻极体电容式传声器(ECM)或纯电容式传声器，振膜形状根据需要可为圆形、方形、长方形、椭圆形、跑道形等。