具有石墨烯振膜的传声器的制作方法

本发明属于传声器领域，特别涉及一种具有石墨烯振膜的传声器。

背景技术：

传声器包括电容式、动圈式、压电式等，其中电容式传声器以其较为优秀的电声特性得到了广泛的应用，而振膜作为电容式传声器的重要组件对传声器性能有重要影响。现有技术中的传声器振膜其材料通常选用具有金属镀层的高分子材料、金属等，受到材料限制，传声器性能有时依然无法满足日益严苛的使用需要。

技术实现要素：

为了克服现有技术的不足，本发明提出一种具有石墨烯振膜的传声器，针对形成电容结构的振膜与背极板的不同间距，采用了不同的加电手段以实现传声器功能，解决了如何使具有石墨烯振膜的传声器正常工作的技术问题。本发明的传声器的灵敏度、频率响应、瞬态响应等电声特性相比传统电容式传声器均得到较大提升。

提出一种具有石墨烯振膜的电容式传声器，包括石墨烯振膜、具有通孔的背极板，振膜与背极板之间由绝缘环相隔，振膜与背极板之间具有间隔d，振膜与背极板分别通过导电组件连接至供电及放大组件，从而振膜与背极板构成电容器。

进一步，当d≤10纳米时，由供电及放大组件在振膜与背极板两端施加低电压，所施加的电压为2～10V。

进一步，当d＞10纳米时，由供电及放大组件在振膜与背极板两端施加高电压，所施加的电压为100V量级。

或者，当d＞10纳米时，以驻极体方式实现传声器功能，可在振膜或背极板本体上驻留电荷，或在振膜或背极板上涂覆特氟龙涂层后再在涂层上驻留电荷。

进一步的，本发明的石墨烯振膜的传声器可为差分传声器阵列、球形表面阵列、平面阵、圆柱阵的一部分。

附图说明

图1为本发明的石墨烯材料振膜的制作流程图

图2为本发明的包含石墨烯材料振膜的传声器的内部结构示意图

具体实施方式

结合附图，对本发明的实施方式进行详细说明。附图1示出了本发明的石墨烯振膜的制作流程，即首先提供一金属镍片1，在金属镍片1上生长石墨烯薄膜2，利用刻蚀的方式将金属镍片1的中间部分去除，得到金属镍环1’，金属镍环1’与石墨烯薄膜2结合为一体，由此制得石墨烯振膜M。

附图2示出了本发明的包含有上述石墨烯振膜M的电容传声器的内部结构，传声器包括石墨烯振膜M、具有通孔的背极板4，振膜M与背极板4之间由绝缘环3相隔，振膜M与背极板4之间具有间隔d，振膜M与背极板4分别通过导电组件5连接至供电及放大组件6，从而振膜M与背极板4构成电容器。

其中，当d为纳米级时，即d≤10纳米时，由供电及放大组件6在振膜M与背极板4两端施加低电压以实现传声器功能，优选电压为2～10V。

当d较大时，即d＞10纳米时，由供电及放大组件6在振膜M与背极板4两端施加高电压以实现传声器功能，优选电压为100V量级。

或者，当d较大时，即d＞10纳米时，以驻极体的方式实现传声器功能，其中，可在振膜M或背极板4的本体上驻留电荷，或在振膜或背极上涂覆特氟龙涂层后再在涂层上驻留电荷。

本发明的具有石墨烯振膜的传声器用途广泛，可用于构成差分传声器阵列、球形表面阵列、平面阵、圆柱阵等。