专利名称：有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种AMOLED生产工艺中的用于有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置的设计。
背景技术：
在平板显示技术中，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode, 0LED)显示器以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示器(IXD)之后的第三代显示技术。主动式0LED(ActiveMatrix OLED, AMOLED)也称为有源矩阵OLED，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT )和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。有机发光二极管(OLED)的制造工序可粗略地划分为光刻工序、蒸镀工序和封装工序三大工序。其中，蒸镀工序用于蒸镀空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极等各功能层，封装工序用于防止由于发光层与水分和氧气接触导致的热化及寿命的缩短现象。普通封装工程是指在不锈钢金属Cap或者封装用Cap glass上贴上干燥剂后，利用UV胶合剂在有机物及阴极蒸镀工序完成后的有机发光二极管(OLED)上使用粘附的过程。最近正在开发通过在蒸镀面上直接蒸镀钝化层(passivation layer)来形成有机膜的技术。这个技术比起现在的封装技术的优点是价格更加低廉，封装后产品更薄且更轻，便于做出柔软的有机发光二极管(0LED)。然而形成钝化膜(Passivation)需要CVD或Sputter等其他的蒸镀装备。所以使用该工序不可避免的需要对接现有量产线上的有机物蒸镀装备CVD和钝化层蒸镀设备Sputter。现有的量产线上的有机物蒸镀是下部的有机物因受热向上部气化的方式蒸镀到基板上，基板位于上方，蒸镀面朝下。但是因为钝化层(passivationlayer)蒸镀装备要求基板在下面，蒸镀面向上，所以有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机对接时必须需要对基板进行翻转。 现在常用的手段是通过机械手来使基板翻转。但是这会占用很多工作空间，使作业时间很长。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有OLED生产工艺中存在的上述问题，提出了一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置。本实用新型的技术方案为一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，包括腔体，所述腔体为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接；其特征在于，所述腔体内设有一基板传递结构，用于传递和翻转基板；所述基板传递结构包括基板支架和回转轴，所述回转轴与腔体连接并可绕自身轴线转动，所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动；[0010]所述回转轴连接一动力机构，所述动力机构与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机协调控制回转轴转动；所述基板支架上设有多个保护垫，用于在基板支架夹持基板的过程中保护基板不受损坏。本实用新型的有益效果本实用新型的有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置连接现有量产线上的有机物蒸镀机和钝化膜蒸镀机，其主要部件是内部的基板传递机构，所述基板传递机构首先通过基板支架固定基板，然后在动力机构的带动下整个基板支架和基板随着回转轴转动180°后被传递到下一级设备，从而提高了量产线的工作效
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图1为本实用新型的装置与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接的平面结构示意图。图2为本实用新型的装置的AA向剖视图。图3为本实用新型的装置的BB向剖视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的阐述。本方案的目的是实现OLED量产线上有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接生产过程中对基板的翻转和传递。本实施例的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，如图2所示，包括腔体1，所述腔体I为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接；腔体I内设有一基板传递结构，用于传递和翻转基板；所述基板传递结构包括基板支架3和回转轴5，所述回转轴5与腔体I连接并可绕自身轴线转动，所述基板支架3固定于回转轴5上与回转轴5同时转动；如图1所示，P/CH(process chamber)是处理腔，L/CH( loading chamber)和 UL/CH(unloadingchamber)是装载腔和卸载腔，B/CH (buffer chamber)为本实用新型的装置的腔体。如图2和图3所示，上述回转轴5连接一动力机构，所述动力机构与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机协调控制回转轴5转动，所述回转轴5的转动图示如图3中X所示。上述基板支架3上设有多个保护垫4，用于在基板支架3夹持基板2的过程中保护基板2不受损坏。上述基板支架及基板转动角度上限为180°。本实用新型的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置连接现有量产线上的有机物蒸镀机和钝化膜蒸镀机，其主要部件是内部的基板传递机构，所述基板传递机构首先通过基板支架固定基板，然后在动力机构的带动下整个基板支架和基板随着回转轴转动180°后被传递到下一级设备，从而提高了量产线的工作效率。本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本实用新型的原理，应被理解为本实用新型的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本实用新型公开的这些技术启示做出各种不脱离本实用新型实质的其它各种具体变形 和组合，这些变形和组合仍然在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，包括腔体，所述腔体为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接； 其特征在于， 所述腔体内设有一基板传递结构，用于传递和翻转基板；所述基板传递结构包括基板支架和回转轴，所述回转轴与腔体连接并可绕自身轴线转动，所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动； 所述回转轴连接一动力机构，所述动力机构与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机协调控制回转轴转动。
2.根据权利要求1所述的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，所述基板支架上设有多个保护垫，用于在基板支架夹持基板的过程中保护基板不受损坏。
3.根据权利要求1所述的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，所述基板支架及基板转动角度上限为180°。
专利摘要本实用新型提出了一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，包括腔体，所述腔体为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接；所述腔体内设有一基板传递结构；所述基板传递结构包括基板支架和回转轴，所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动；本实用新型的有益效果本实用新型的有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置连接现有量产线上的有机物蒸镀机和钝化膜蒸镀机，其主要部件是内部的基板传递机构，所述基板传递机构首先通过基板支架固定基板，然后在动力机构的带动下整个基板支架和基板随着回转轴转动180°后被传递到下一级设备，从而提高了量产线的工作效率。
文档编号H05B33/14GK202898524SQ20122056781
公开日2013年4月24日 申请日期2012年10月31日 优先权日2012年10月31日
发明者赵大庸, 闫晓剑 申请人:四川虹视显示技术有限公司