直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置制造方法
【专利摘要】直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，包括挂件和主杆，挂件和主杆固定连接，主杆上设有感应计数装置。感应计数装置包括感应器和数据显示器，数据显示器与主杆滑动连接，数据显示器固定连接有感应器；挂件包括主挂件和设置于主挂件一端的卡爪Ⅱ，主挂件的另一端固定安装有滑动副挂件，滑动副挂件上设有卡爪Ⅰ；主杆上设置有刻度尺。本实用新型设置感应计数装置，可以精确的测量出籽晶行程，准确测量出晶体长度，从而准确算出剩料量，准确判断是否收尾，克服了目测误差较大导致的物料浪费和收尾不稳的问题，提高了成晶率，降低了生产成本。
【专利说明】直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于单晶硅制造设备【技术领域】，涉及一种直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置。
【背景技术】
[0002]目前，在校准直拉单晶籽晶行程时，使用目测的方法，由于目测存在一定误差，如果测量值比实际值过大，则导致炉内剩余过多埚底料，造成物料浪费，增加生产成本，如果测量值比实际值过小，则会导致单晶收尾不稳，影响成晶率。
[0003]导致生产过程中不能准确算出炉内剩料量，不能准确判断收尾，不能准确判断晶体软限位是否合理，可能会导致晶体掉入埚内，不能准确确定引晶液口距，导致引放次数偏多，最终造成成晶率降低，生产成本增高的问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的是提供一种直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，解决了现有技术采用目测存在的测量值不准确的问题。
[0005]本实用新型采用的技术方案是，直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，包括挂件和主杆，挂件和主杆固定连接，主杆上设有感应计数装置。
[0006]本实用新型的特点还在于:
[0007]感应计数装置包括感应器和数据显示器，数据显示器与主杆滑动连接，数据显示器固定连接有感应器。
[0008]挂件包括主挂件和设置于主挂件一端的卡爪II，主挂件的另一端固定安装有滑动副挂件，滑动副挂件上设有卡爪I。
[0009]主杆上设置有刻度尺。
[0010]感应器上装有报警灯。
[0011]滑动副挂件上设有固定卡爪I的弹簧扣。
[0012]本实用新型具有如下有益效果:
[0013]1、本实用新型在刻度尺上设置感应计数装置，可以精确的测量出籽晶行程，准确测量出晶体长度，从而准确算出剩料量，准确判断是否收尾，克服了目测误差较大导致的物料浪费和收尾不稳的问题，提高了成晶率，降低了生产成本。
[0014]2、本实用新型在主挂件上设置滑动副挂件，滑动副挂件与主挂件配合可稳定固定在直拉单晶炉副室炉筒上，保证了其测量结果的准确性。
[0015]3、本实用新型感应计数装置通过滑动块设置在刻度尺上，便于移动，操作方便，且结构简单、紧凑。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置结构示意图；[0017]图2为本实用新型直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置的滑动块结构示意图；
[0018]图3本实用新型直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置卡挂于直拉单晶炉副室炉筒示意图。
[0019]图中，1.主挂件，2.卡爪I，3.弹簧扣，4.滑动副挂件，5.紧固螺钉，6.感应器，
7.数据显示器，8.报警灯，9.刻度尺，10.卡爪II。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0021]直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，包括挂件和主杆，挂件和主杆固定连接，主杆上设有感应计数装置。主杆上设有刻度尺9。感应计数装置包括感应器6、数据显示器7和报警灯10且通过滑动块8设置在主杆上。挂件包括主挂件I和滑动副挂件4，主挂件I 一端设有卡爪II 11，滑动副挂件4设置在主挂件I的另一端，滑动副挂件4上设有卡爪I 2。刻度尺9垂直设置在主挂件I上。滑动副挂件4上设有与卡爪I 2配合的弹簧扣3，弹簧扣3调节卡爪I 2上下左右活动，最终紧固。
[0022]实施例，直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，参照图1、图2，包括挂件和主杆，挂件包括主挂件1，主挂件I 一端为卡爪II 11，主挂件I另一端设置有滑动副挂件4，滑动副挂件4与主挂件I之间通过紧固螺钉5紧固，滑动副挂件4上设置有卡爪I 2与弹簧扣3，弹簧扣3调节卡爪2以便适应不同大小的副室炉筒并稳定连接。主杆上贴有刻度尺9，主杆上设置有滑动块8，主杆与滑动块8之间通过紧固螺钉5紧固，在滑动块上设置有数据显示器7，感应器6与数据显示器7固定连接，感应器6上装有报警灯8。
[0023]滑动副挂件4可在主挂件I上滑动，根据直拉单晶炉副室大小调节卡爪I 2与卡爪II 11之间的距离，卡爪I 2与卡爪II 11配合卡挂在直拉单晶炉副室炉筒下沿的凸台上，通过弹簧扣3调节卡爪I 2使其与单晶炉副室炉筒下沿的凸台完全紧固，最后通过紧固螺钉5固定滑动副挂件4，卡爪I 2与弹簧扣3配合使用，使整个校准装置稳定在直拉单晶炉副室上，不会使刻度尺9晃动，还可以适应于多种形状及微小变形的直拉单晶炉副室。
[0024]由于滑动块8上设置有感应器6，开始时将滑动块8放在刻度尺9零刻度线处，数据显示器7显示为0.000，当石墨夹头经过刻度尺9零刻度线处时，报警灯10就会报警，提示操作人员在直拉单晶炉控制柜界面上读出当前籽晶脉冲值并记录，当把滑动块8放在刻度尺9的IOOOmm处，数据显示器7显示为1000.000，当石墨夹头经过刻度尺9的IOOOmm线处时，报警灯10就会报警，提示操作人员在直拉单晶炉控制柜界面上读出当前籽晶脉冲值并记录，这样可以精确的算出籽晶行程。
[0025]工作步骤如下:
[0026]步骤1、旋转直拉单晶炉控制柜旋转按钮，使拉晶炉拉伸腔转至可以取出单晶位置处。
[0027]步骤2、把图1中的单晶校准籽晶行程装置通过主挂件I上的卡爪II 11和滑动副挂件4上的卡爪I 2卡在拉伸腔的下沿，调节滑动副挂件4与校准单晶炉副室吻合，用紧固螺钉5固定滑动副挂件4，调节弹簧扣3使卡爪I 2完全牢固在副室炉筒上。
[0028]步骤3、把滑动块8移到刻度尺9的零刻度线处，使数据显示器7上的数据显示为
0.000，用紧固螺钉5固定。[0029]步骤4、在直拉单晶炉控制柜界面上选择“籽晶快速下降”按钮，按住手持器“籽晶下降”按钮下降籽晶。
[0030]步骤5、待装有籽晶石墨夹头的下端下降到连接感应器6的报警灯10开始报警时，停止籽晶下降。
[0031]步骤6、在直拉单晶炉控制柜界面上点击“辅助功能”中的“籽晶坩埚行程标定”读出当前籽晶脉冲值记为A值。
[0032]步骤7、把滑动块8移到刻度尺9的IOOOmm处，使数据显示器7上的数据显示为10000.000，用紧固螺钉5固定。
[0033]步骤8、继续下降籽晶石墨夹头，使籽晶石墨夹头的下端下降到连接感应器6的报警灯10开始报警时，停止籽晶下降。
[0034]步骤9、在直拉单晶炉控制柜界面上点击“辅助功能”中的“籽晶坩埚行程标定”读出当前籽晶脉冲值记为B值。
[0035]步骤10、计算脉冲值C=A-B。
[0036]步骤11、在直拉单晶炉控制柜界面上点击“辅助功能”中的“籽晶坩埚行程标定”中的“I米的脉冲数据”更改设备参数值I米的脉冲数据使其数值等于C值。
[0037]步骤12、取下图1中的单晶校准籽晶行程工具，提升籽晶到拉伸腔内。
【权利要求】
1.直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于:包括挂件和主杆，所述挂件和主杆固定连接，所述主杆上设有感应计数装置。
2.如权利要求1所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于:所述感应计数装置包括感应器(6)和数据显示器(7)，所述数据显示器(7)与主杆滑动连接，数据显示器(7)固定连接有感应器(6)。
3.如权利要求1或2所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于:所述挂件包括主挂件(I)和设置于主挂件(I)一端的卡爪II (10)，所述主挂件(I)的另一端固定安装有滑动副挂件(4)，所述滑动副挂件(4)上设有卡爪I (2)。
4.如权利要求3所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于:所述主杆上设置有刻度尺(9)。
5.如权利要求4所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于:所述感应器(6)上装有报警灯(8)。
6.如权利要求5所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于:所述滑动副挂件(4)上设有固定所述卡爪I (2)的弹簧扣(3)。
【文档编号】C30B15/20GK203462164SQ201320512798
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年8月21日 优先权日:2013年8月21日
【发明者】张鑫, 潘永娥, 李强 申请人:宁夏隆基硅材料有限公司, 银川隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 无锡隆基硅材料有限公司