一种泡生法制备的蓝宝石单晶的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种泡生法制备的蓝宝石单晶。它包括四部分，从上至下依次为放肩初期部分、放肩后期部分、等径生长部分和收尾部分，放肩后期部分设置有弧形肩部，等径生长部分直径大于放肩后期部分。本实用新型采用该生长工艺可有效控制蓝宝石单晶内的气泡，降低热应力，减小晶体开裂的可能。另外，收尾部分快速提拉有利于实现自动拉脱，减少出现因晶体掉埚或底部多晶造成开裂的现象，且缩短了工艺时间，降低了电耗成本。
【专利说明】一种泡生法制备的蓝宝石单晶
[0001](一)
【技术领域】
[0002]本实用新型涉及一种蓝宝石单晶生长的生长工艺，具体涉及一种泡生法制备的蓝宝石晶体。
[0003](二)
【背景技术】
[0004]蓝宝石单晶具有独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能，可在接近2000 V高温的恶劣条件下工作，以其强度高、硬度大、耐冲刷，优异的综合性能等特点被广泛应用于科学技术、空间飞行器，高强度激光器的窗口，国防与民用工业、等电子技术的许多领域，同时也成为了目前LED市场的首选材料。
[0005]随着相关应用领域技术的不断发展和产业规模的不断扩大，尤其LED照明方面对蓝宝石晶体的需求量越来越大，不但对蓝宝石单晶的内部质量(如气泡、位错密度、结晶完整性等特性)提出了更高的要求，也要求高品质蓝宝石单晶的制造成本更低。
[0006]生长出的高品质蓝宝石单晶不但与单晶炉结构设计密切相关，蓝宝石单晶的生长工艺(参数制定)的合理制定，同样是生长高品质、大尺寸蓝宝石单晶的必要条件。只有制定的生长工艺合理，才有可能生长出形状理想、内部缺陷少、成本低的高品质蓝宝石单晶。
[0007]传统泡生法生长出的蓝宝石单晶内部气泡较多，严重影响晶体的出材，尤其是大尺寸产品的出材。而无论是外延衬底材料还是手机屏市场方面，对大尺寸蓝宝石单晶产品的需求都更加迫切，大尺寸产品所占据的市场份额也快速增加。因此，为使蓝宝石产品同时拥有质量和价格优势，泡生法生长蓝宝石单晶的首要任务就是控制晶体内部的气泡。
[0008](三)
【发明内容】
[0009]本实用新型就传统泡生法生长蓝宝石单晶内部存在较多气泡的问题，针对气泡产生的原因进行深入分析，对泡生法制备蓝宝石单晶生长工艺中的关键参数进行重新调整，形成一种蓝宝石晶体气泡少、热应力小、不容易掉埚、开裂等问题的泡生法制备的蓝宝石单晶。
[0010]本实用新型的目的是这样实现的:本实用新型包括四部分，从上至下依次为放肩初期部分、放肩后期部分、等径生长部分和收尾部分，放肩后期部分设置有弧形肩部，等径生长部分直径大于放肩后期部分。
[0011]本实用新型还有这样一些特征:
[0012]1、所述的放肩初期部分为倒杯底形，重量为1.5kg ；
[0013]2、所述的放肩后期部分重量为4kg，上部直径小于下部直径；
[0014]3、所述的等径生长部分重量为28kg?32kg。
[0015]本实用新型的有益效果有:引晶结束后，放肩初期部分调节电压以-8'13mv/h的速度缓慢降温，提拉速度设为0.Γ0.4mm/h ;放肩后期部分放慢降温速度，电压调节设定为-6'llmv/h，同时加大提拉速度，提拉速度设为0.3^0.7mm/h ;等径生长部分将电压调节改为-12"~16mv/h,提拉速度设为0.l"0.3mm/h ;收尾部分减小电压调节至-l(T-12mv/h,适当增大提拉速度，设定为0.5^0.8mm/h0在该条件下运行5h后将提拉速度增大为0.8^1.2mm/h,使晶体与坩埚自动分离。本实用新型采用该生长工艺可有效控制蓝宝石单晶内的气泡，降低热应力，减小晶体开裂的可能。另外，收尾部分快速提拉有利于实现自动拉脱，减少出现因晶体掉埚或底部多晶造成开裂的现象，且缩短了工艺时间，降低了电耗成本。
[0016](四)
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型的结构示意图。
[0018](五)
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本实用新型进行详细说明。结合图1，本实施例晶体分为四部分，分别对应生长工艺的控制阶段:放肩初期部分1、放肩后期部分2、等径生长部分3和收尾部分4，具体工艺如下:引晶结束后调节电压以-lOmv/h的速度缓慢降温，提拉速度设为0.2mm/h，保证晶体放肩初期部分1的稳定生长；生长2(T25h后晶体重量达到1.5kg左右，将电压调节速度设为_8mv/h，以0.5mm/h的速度进行提拉。放慢生长速度的同时加快提拉，有利于增大晶体放肩后期部分2的肩部弧度；当晶体生长到45飞2h，重量达到4kg左右时，将电压调节设为-14mv/h，提拉速度设为0.15mm/h，保证较快的晶体生长速度，同时减小提拉量，使晶体等径生长部分3直径较大；晶体生长到75h左右，重量达28kg?32kg后，将电压调节设为-llmv/h，同时适当增大提拉速度至0.6mm/h，进入收尾部分4 ;运行5h后继续将提拉速度增大为0.9mm/h，使晶体与坩埚自动分离。
【权利要求】
1.一种泡生法制备的蓝宝石单晶，其特征在于它包括四部分，从上至下依次为放肩初期部分、放肩后期部分、等径生长部分和收尾部分，放肩后期部分设置有弧形肩部，等径生长部分直径大于放肩后期部分。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法制备的蓝宝石单晶，其特征在于所述的放肩初期部分为倒杯底形，重量为1.5kg。
3.根据权利要求2所述的一种泡生法制备的蓝宝石单晶，其特征在于所述的放肩后期部分重量为4kg，上部直径小于下部直径。
4.根据权利要求3所述的一种泡生法制备的蓝宝石单晶，其特征在于所述的等径生长部分重量为28kg?32kg。
【文档编号】C30B17/00GK204080185SQ201420545208
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年9月23日 优先权日:2014年9月23日
【发明者】左洪波, 杨鑫宏, 张学军, 李铁 申请人:哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司