阻气性膜的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种高温高湿环境下耐久性优异的阻气性膜。一种阻气性膜，其在树脂基材上具有：层(A)，其含有过渡金属化合物，并且，通过气相成膜法形成；阻气层(B)，其与所述层(A)相接，并且通过涂布含有聚硅氮烷的涂布液并进行干燥而得到的涂膜施加真空紫外线而形成，所述涂膜表面的所述真空紫外线的照射能量为1.0J/cm2以上。

技术研发人员：森孝博
受保护的技术使用者：柯尼卡美能达株式会社
技术研发日：2016.02.24
技术公布日：2017.10.13