153]另外，尽管省略图示，但可以将加固板410与隔板400接合，层叠粘合为一体。作为粘合方法，可以是使用粘合剂粘接的方法，也可以是固相扩散接合及焊接等方法，但更优选使加固板410和隔板400在接合面上贴紧的方法。
[0154]==脉动发生部的动作==
[0155]接下来，参照图1?图6对本实施方式的脉动发生部100的动作进行说明。基于本实施方式的脉动发生部100的流体吐出，通过入口流路503侧的惯性LI (有时称为“合成惯性LI”)与出口流路511侧的惯性L2(有时称为“合成惯性L2”)的差来进行。
[0156]〈惯性〉
[0157]首先，对惯性进行说明。
[0158]当设流体的密度为P、流路的截面积为S、流路的长度为h时，惯性L用L= P Xh/S表示。当设流路的压力差为△ P、流过流路的流体的流量为Q时，通过使用惯性L使流路中的运动方程式变形，可以导出ΔΡ = LXdQ/dt这一关系。
[0159]也就是说，惯性L表示对流量的时间变化的影响程度，惯性L越大，流量的时间变化越小，惯性L越小，流量的时间变化越大。
[0160]而且，有关多条流路的并联连接、多条形状不同的流路的串联连接的合成惯性，可以通过使得各个流路的惯性与电路中的电感的并联连接、或串联连接同样地合成而算出。
[0161]另外，入口流路503侧的惯性LI，由于连接流路504的直径相对于入口流路503的直径设定为足够大，因此，惯性LI在入口流路503的范围内算出。这时，由于连接泵700与入口流路503的连接管25具有柔软性，因此可以从惯性LI的计算中删除。
[0162]而且，关于出口流路511侧的惯性L2，由于连接流路201的直径远比出口流路511的直径大，且流体喷射管200的管部(管壁)的厚度薄，因此对惯性L2的影响是轻微的。因此，出口流路511侧的惯性L2可以替换为出口流路511的惯性。
[0163]另外，流体喷射管200的管壁具有对流体的压力传播的足够的刚性。
[0164]而且，在本实施方式中，入口流路503的流路长度及截面积、出口流路511的流路长度及截面积被设定为，使得入口流路503侧的惯性LI比出口流路511侧的惯性L2更大。
[0165]〈流体的喷射〉
[0166]接下来，对脉动发生部100的动作进行说明。
[0167]流体通过泵700以规定压力供给入口流路503。其结果，当压电元件401不动作时，流体利用泵700的吐出力与入口流路503侧整体的流体阻力值的差流动到流体室501中。
[0168]在这里，当驱动信号被输入到压电元件401中，压电元件401急剧伸长时，如果入口流路503侧及出口流路511侧的惯性L1、L2具有足够的大小，则流体室501中的压力迅速上升而达到几十个大气压。
[0169]由于该流体室501中的压力远比利用泵700对入口流路503施加的压力大，因此，从入口流路503侧流入流体室501中的流体会因该压力而减少，从出口流路511的流出会增加。
[0170]由于入口流路503的惯性LI比出口流路511的惯性L2大，由于从出口流路511吐出的流体的增加量比流体从入口流路503流入流体室501的流量的减少量大，因此，流体会在连接流路201以脉冲状吐出，也就是说，会发生脉动流。这个吐出时的压力波动在流体喷射管200中传播，流体从前端的喷嘴211的流体喷射开口部212被喷射出。
[0171]在这里，由于喷嘴211的流体喷射开口部212的直径比出口流路511的直径小，因此，流体进一步被作为高压、高速的脉冲状液滴而喷射出。
[0172]另一方面，流体室501中，由于从入口流路503流入的流体量的减少与从出口流路511流出的流体的流出量的增加的相互作用，压力上升后立即成为负压状态。其结果，因泵700的压力和流体室501中的负压状态这二者，在经过规定时间后，入口流路503的流体以与压电元件401动作前相同的速度流向流体室501中的流动被恢复。
[0173]入口流路503中的流体的流动恢复之后，如果压电元件401伸展，则可以从喷嘴211继续喷射脉动流。
[0174]〈气泡的排除〉
[0175]接下来，对流体室501中的气泡的排除动作进行说明。
[0176]如上所述，入口流路503通过一边在流体室501的周围回旋一边接近流体室501的这种路径连通到流体室501。而且，出口流路511设置在流体室501的大致旋转体形状的旋转轴附近。
[0177]因此，从入口流路503流入流体室501的流体沿着内周侧壁508而在流体室501中回旋。然后，流体由于离心力而被推压到流体室501的内周侧壁501a侧，流体所含的气泡集中在流体室501的中心部，其结果，气泡被从出口流路511排出。
[0178]因此，即使由于压电元件401而在流体室501发生微小的容积变化，压力波动也不会因气泡受到阻碍，而能够获得足够的压力上升。
[0179]根据本实施方式，由于流体以规定的压力通过泵700被供给入口流路503，并且，即使在停止了脉动发生部100的驱动的状态下，流体也能被供给入口流路503和流体室501，因此，即便不进行启动注水(呼r/水)动作，也能够开始初始动作。
[0180]而且，由于流体从比出口流路511的直径缩小的流体喷射开口部212喷出，因此，液压比出口流路511中增高，从而使得高速的流体喷射成为可能。
[0181]而且，由于流体喷射管200具有可将从流体室501流动的流体的脉动传递到流体喷射开口部212的刚性，因此，具有不会妨碍来自脉动发生部100的流体的压力传播，并可以喷射所需的脉动流这一效果。
[0182]而且，由于将入口流路503的惯性设定为比出口流路511的惯性大，因此，与从入口流路503流向流体室501的流体的流入量的减少程度相比，在出口流路511则会发生更大程度的流出量的增加，从而在流体喷射管200中可以进行脉冲状的流体吐出。因此，也可以不在入口流路503侧设置止回阀，这样既可以达到简化脉动发生部100的构造的效果，同时可以使内部的清洗变得容易，且可以排除起因于使用止回阀的对耐久性的担心。
[0183]另外，通过将入口流路503和出口流路511 二者的惯性设定得足够大，如果急剧缩小流体室501的容积，则可以使流体室501中的压力急剧上升。
[0184]而且，通过采用使用作为容积改变单元的压电元件401和隔板400而发生脉动的构造，可以简化脉动发生部100的构造，并实现小型化。而且，可以将流体室501的容积变化的最大频率设定为IKHz以上的高频率，从而最适于高速脉动流的喷射。
[0185]而且，脉动发生部100通过利用入口流路503使流体室501中的流体发生回旋流，可以利用离心力将流体室501中的流体推向流体室501的外周方向，使回旋流的中心部，即，使流体所含的气泡集中在大致旋转体形状的轴附近，并从设置在大致旋转体形状的轴的附近的出口流路511排除气泡。由此，可以防止气泡滞留在流体室501中所导致的压力振幅的降低，并可以继续脉动发生部100的稳定的驱动。
[0186]而且，由于形成为使入口流路503通过一边沿流体室501的周围回旋一边接近流体室501这样的路径连通到流体室501，因此可以无需采用用于使流体在流体室501的内部旋转的专用的构造就能够发生回旋流。
[0187]而且，由于在流体室501的密封面505的外边缘部形成槽形的入口流路503，因此，可以无需增加部件数目就能形成作为回旋流发生部的入口流路503。
[0188]而且，通过在隔板400的上表面配备加固板410，隔板400将加固板410的开口部外周作为支点驱动，因此，难以发生应力集中，从而可以提高隔板400的耐久性。
[0189]另外，如果使加固板410与隔板400的接合面的角部圆化，则能够进一步缓和隔板400的应力集中。
[0190]而且，如果将加固板410和隔板400层叠并粘合为一体，则不仅可以提高脉动发生部100的组装性，还能具有加固隔板400的外边缘部的效果。
[0191]而且，由于在从泵700提供流体的入口侧的连接流路504与入口流路503的连接部设置有滞留流体的流体贮存部507，因此，可以抑制连接流路504的惯性对入口流路503的影响。
[0192]而且，由于在上壳体500与下壳体301的接合面上，在离开隔板400的外周方向的位置上配备有环状的密封圈450，因此，可以防止流体从流体室501的泄漏，并防止流体室501中的压力降低。
[0193]<流体容器760中的压力控制>
[0194]图7是进行压力控制时流体容器760中的压力变化的说明图。图7示出相对于时间t (横轴)的压力P (纵轴)。这里示出的压力P是由压力传感器722检测的流体容器760中的压力(以下，有时也将流体容器760中的压力简单地称为“压力P”)。而且，图7示出目标压力Pt、压力R1、比压力Rl高的压力F1、比压力Fl高且比目标压力高的压力F2、以及比压力F2高的压力R2。并且，从压力Rl到压力R2的范围表示为粗略窗口。并且，从压力Fl到压力F2的范围表示为精细窗口( 7 7 O々O卜。
[0195]对本实施方式的流体喷射装置I的概要进行说明。流体喷射装置I的驱动控制部600控制来自脉动发生部100的流体喷射。并且，流体喷射装置I的泵控制部710控制流体容器760中的压力。
[0196]如果流体容器760中的压力P比压力Rl高，且比压力R2低，则驱动控制部600接受来自脉动发生部启动开关(未图示)的喷射请求，使流体从脉动发生部100喷射。S卩，如果压力P在粗略窗口内，则流体被喷射。然而，即使在压力P比压力Rl高且比压力R2低时，在后述的试喷射模式的情况下，作为例外，也进行流体的喷射。这时，泵控制部710不进行流体容器760的压力控制，而将一定量的流体从流体容器760送至脉动发生部100。
[0197]而且，如后所述，在压力调整控制中，在压力P为压力Rl以下时，泵控制部710进行加压粗调整控制。并且，在压力P高于压力Rl且为压力Fl以下时，进行加压微调整控制。并且，在压力P高于压力Fl且低于压力F2时(在精细窗口内时)，不进行压力调整。此外，当压力P为压力F2以上时，进行减压微调整控制。另外，在泵控制部710进行压力调整控制时，驱动控制部600不进行从脉动发生部100的流体喷射。
[0198]下面，进行压力调整控制的说明。另外，在以下的说明中，通过压力传感器722进行流体容器760中的压力P的检测，通过泵控制部710进行对应于压力P的压力调整控制。
[0199]图8是压力调整控制的流程图。当脉动发生部启动开关未被按下时，每间隔20ms进行该压力调整控制。
[0200]泵控制部710判定流体容器760中的压力P是否高于压力Fl且低于压力F2(S102)。并且，当压力P高于压力Fl且低于压力F2时，结束压力调整控制。这样，通过在压力P高于压力Fl且低于压力F2时不进行压力调整控制，可以避免因进行无用的压力控制而反倒使压力变化增大。
[0201 ] 反之，在步骤S102中，当不满足压力P高于压力Fl且低于压力F2这个条件时，泵控制部710对压力P是否在压力F2以上进行判定(S104)。并且，当压