专利名称：除尘装置、除尘方法
技术领域：
本发明涉及在精密设备的制造工序中使用的除尘装置以及除尘方法。
背景技术：
以往，在制造精密设备的零件的工序中，使用有用于对零件吹送压缩空气，从而除去附着在各零件上的尘埃等异物的除尘装置(例如，专利文献1)。
专利文献1特开2005-199169号公报但是，存在以下问题，即如果只是简单地对零件吹送压缩空气，有时候从零件除去的尘埃在除尘装置内飞舞并再次附着在零件上。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供能够可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上的除尘装置以及除尘方法。
前述目的，根据第1发明，由如下的除尘装置达成，该除尘装置具备具有保持处理对象的保持台的除尘室、对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置、和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置，其特征在于前述负压产生装置，以在除尘结束后继续动作预先规定的规定时间的方式构成。
根据第1发明的构成，由于前述负压产生装置，以在除尘结束后继续动作预先规定的规定时间的方式构成，因此在除尘结束后可以从前述除尘室排出在前述除尘室中浮游的尘埃。
第2发明，是在第1发明的构成的基础上的除尘装置，其特征在于，前述除尘室的侧壁由导电材料构成；且成为在除尘时使前述侧壁带电的构成。
根据第2发明的构成，可以使带电的尘埃附着在前述侧壁上。
由此，能够更可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上。
前述目的，根据第3项发明，由如下的除尘方法达成，该除尘方法的其特征在于，具有如下步骤具备具有保持处理对象的保持台的除尘室、对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置、和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置的除尘装置，根据前述处理对象的形状，设定前述保持台的位置以及倾斜、以及前述空气喷射装置的位置以及空气的吹送方向的作业姿势设定步骤；前述除尘装置使前述除尘室的侧壁带电的带电步骤；前述除尘装置使前述负压产生装置动作的吸引开始步骤；前述除尘装置对前述处理对象非连续地吹送空气的空气吹送步骤；前述除尘装置停止对前述处理对象的空气的吹送的空气吹送停止步骤；前述除尘装置在经过预先规定的规定时间后停止前述负压产生装置的动作的吸引停止步骤；以及前述除尘装置解除前述侧壁的带电的带电解除步骤。
根据第3发明的构成，能够充分地除去附着在立体的形状、具有凹凸的复杂的形状的零件上的异物。
另外，能够可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上。
图1是展示本发明的实施方式中的除尘装置的概略立体图。
图2是从图1的箭头Z1方向看保持台平面移动的样子的概略图。
图3是展示零件等的概略图。
图4是展示保持台的构成等的概略图。
图5是展示零件等的概略图。
图6是从图1的箭头Z1方向看气枪平面移动的样子的概略图。
图7是展示气枪的构成等的概略图。
图8是展示将空气吹到零件上的样子的概略图。
图9是展示除尘装置的动作例等的概略流程图。
标号说明10 除尘装置12除尘室18 吸引装置22气枪26、28、32、34 轴 30保持台具体实施方式
以下，参照附图详细地说明该发明的较佳实施方式。
再者，以下叙述的实施方式，是本发明的较佳的具体例，因此虽然附加了技术上优选的各种限定，但本发明的范围，只要在以下的说明中没有主旨为特别地限定本发明的记载，就不限于这些形态。
(实施方式)图1，是展示本发明的实施方式的除尘装置10的概略立体图。
除尘装置10是除尘装置的一例。
如图1所示，除尘装置10具有除尘室12。除尘室12是除尘室的一例。
除尘装置10，具有控制各部的控制装置11。控制装置11，虽然与各部相连接，但省略了关于连接状态的图示。控制装置11是控制装置的一例。
除尘室12，具有保持零件50的保持台30。保持台30是保持台的一例。零件50是处理对象的一例。零件50，例如是作为精密设备的投影机的零件。
除尘室12，具有侧壁12a、12b、12c及12d。侧壁12a等，由作为导电性材料的例如导电性塑料构成，并分别连接在电源装置20上。再者，在图1中，只图示了将侧壁12a连接到电源装置20上的状态，对于其他的侧壁12b等省略了图示，但实际上侧壁12b、12c以及12d也被连接到电源装置20上。
在电源装置20内，收纳有电源20a，用电线20b以及20c与各侧壁12a等连接。
当从电源装置20流过电流时，侧壁12a等带电。
再者，虽然电源装置20也向侧壁12a等以外的部分(吸引装置18、气枪22等)提供电源，但省略了连接状态的图示。
除尘室12，还具有顶壁12e以及底部12f。底部12f，经由连结部14以及管道16与吸引装置18连通。吸引装置18，是负压产生装置的一例。
吸引装置18，具有经由旋转轴18c与马达18b相连接的风扇18a。通过风扇18a旋转，可以在除尘室12内产生负压。
在除尘室12内的处理空间S和底部12f之间，配置有金属网28。
除尘装置10，还具有对零件50吹送空气的气枪22。气枪22，是空气喷射装置的一例。气枪22，可以从喷射口22b吹出压缩空气。
气枪22，能够非连续地喷射空气。
气枪22，例如以0.01秒(s)间隔喷射空气。因此，气枪22喷射的空气作为冲击波，吹到零件50上。由此，可以有效地除去附着在零件50上的尘埃。
保持零件50的保持台30，相对于纵移动用的轴28以可向箭头Y1以及Y2方向移动的方式被固定。并且，轴28，相对于横移动用的轴26以可向箭头X1以及X2方向移动的方式被固定。箭头X1(以及X2)和箭头Y1(以及Y2)相互垂直。
因此，轴26和轴28作为一体，可以使保持台30平面移动。即，轴26和轴28作为一体，是保持台移动装置的一例。
图2，是从图1的箭头Z1方向看保持台30平面移动的样子的概略图。
在图2(a)中，保持台30，位于左侧中央部。
当保持台30从图2(a)的状态沿着轴28向箭头Y2方向移动后，如图2(b)所示，保持台30位于左下部。
然后，当轴28从图2(b)的状态沿着轴26向箭头X2方向移动后，如图2(c)所示，保持台30位于右下部。
如上所述，通过保持台30沿着轴28移动，轴28沿着轴26移动，保持台30在除尘室12内可以平面移动到任意的位置。
图3，是展示零件50等的概略图。
如图3(a)所示，零件50，是在离开其中央部的位置上具有凹部50a的长方体。
如图3(b)所示，保持台30，具有零件载物台30a。零件50，被载置在零件载物台30a上。
当气枪22的喷射口22b和零件50为图3(b)所示的位置关系时，从喷射口22b喷射的空气W1，不会吹到凹部50a中。
然后，当保持台30从图3(b)的状态向箭头X2方向移动时，喷射口22b和零件50的位置关系改变，从喷射口22b喷射的空气W1，便会吹到凹部50a上。
图4，是展示保持台30的构成等的概略图。
图4(a)，是从图1的箭头Z1方向看保持台30的概略平面图。
图4(b)，是图4(a)的A-A线概略剖面图。
如图4(a)所示，保持台30，具有旋转滚子30b1以及30b3。
旋转滚子30b1，一面与具有半球状的截面(参照图4(b))的零件载物台30a的底面30aa相接触，一面以轴L3为中心向箭头B1方向旋转。由此，可以使零件载物台30a倾斜。
旋转滚子30b3，一面与零件载物台30a的底面30aa相接触，一面以轴L5为中心向箭头B3方向旋转。由此，可以使零件载物台30a向与旋转滚子30b1使其倾斜的方向相反的方向倾斜。
如图4(b)所示，零件载物台30a被连接在DD马达(直接传动马达)31上，并可以向图4(a)的箭头H1方向以及H2方向旋转。旋转滚子30b1以及30b3，以与零件载物台30a一起向箭头H1方向以及H2方向旋转的方式构成。
零件载物台30a，通过将由旋转滚子30b1以及30b3实现的倾斜，和由DD马达31实现的向箭头H1以及H2方向的旋转组合，可以向任意的方向倾斜。
由此，即使对于具有复杂的形状的零件，对除了其底面以外的所有的面都能够从气枪22吹送空气。
图5，是展示零件50A等的概略图。
如图5(a)所示，零件50A，具有凸部50Aa。
如图4(b)所示，当零件载物台30a没有倾斜时，来自于气枪22的喷射口22b的空气W1，吹到凸部50Aa的上面，但不会吹到侧面上。
与此相对，如图5(b)所示，当零件载物台30a进行角度θ1的倾斜时，空气W1，吹到凸部50Aa的一方的侧面50Aa1上。
并且，当零件载物台30a进行角度θ2的倾斜时，空气W1，吹到凸部50Aa的另一方的侧面50Aa2上。
这样，即便对于具有凸部的零件50A，对其所有的面，都能够从气枪22吹送空气。
另外，气枪22可以平面移动，并且可以变更空气的喷射方向(喷射角度)，即便对于更复杂的形状，都可以向除了其底面以外的所有的面吹送空气。
如图1所示，气枪22，相对于纵移动用的轴34以可向箭头Y1以及Y2方向移动的方式被固定。并且，轴34，相对于横移动用的轴32以可向箭头X1以及X2方向移动的方式被固定。
因此，轴32和轴34作为一体，可以使气枪22平面移动。即，轴32和轴34作为一体，是空气喷射装置移动装置的一例。
图6，是从图1的箭头Z1方向看气枪22平面移动的样子的概略图。
在图6(a)中，气枪22位于左侧中央部。
当气枪22从图6(a)的状态沿着轴34向箭头Y2方向移动后，如图6(b)所示，气枪22位于左侧下部。
然后，当轴34从图6(b)的状态沿着轴32向箭头X2方向移动后，如图6(c)所示，气枪22位于右侧下部。
如上述，通过气枪22沿着轴34移动，轴34沿着轴32移动，气枪22在除尘室12内可以平面移动到任意的位置。
图7，是展示气枪22的构成等的概略图。
如图7(a)所示，气枪22，具有压缩空气供给管22c。压缩空气供给管22c，从外部取得压缩空气，并提供给喷射口22b。
另外，气枪22的本体22a，相对于固定部件22d，以可以以轴L7为中心向箭头C1以及C2方向旋转的状态被保持。
并且，固定部件22d，相对于除尘室12的顶壁12e，以可以以轴L8为中心向箭头C3以及C4方向旋转的状态被固定。
因此，气枪22的喷射口22b，可以朝向任意的方向。即，可以将从喷射口22b喷射的空气的方向设定为任意的方向。
如上所述，由于气枪22可以平面移动，并且被构成为可以变更空气的喷射方向，因此如图7(b)所示，即便对于复杂形状的零件50B，也可以将空气吹到除了底面以外的所有的面上。
图7(b)所示的零件50B，具有较深的凹部50Bd，并且与上面部50Ba相比，底面部50Bc侧的尺寸变小。
图8，是展示将空气W1吹到零件50B上的样子的概略图。
图8(a)，展示了从喷射口22b将空气W1吹到零件50B的上面50Ba中央部的状态。在该状态下，空气W1不会吹到侧面部50Bb1以及50Bb2上。另外，空气W1也不会吹到凹部50Bd的内部。
当保持台30以及气枪22从图8(a)的状态平面移动，零件载物台30a倾斜，并且气枪22也变更喷射口22b的方向，从而变为图8(b)的状态时，空气W1便会吹到侧面部50Bb1上。
进而，当使零件载物台30平面移动以及倾斜，使气枪22也平面移动，并变更喷射口22b的方向，从而变为图8(c)的状态时，空气W1便会吹到凹部50Bd内。
这样，气枪22，即便对于具有较深的凹部50Bd，底面部50Bc侧变小的零件，也可以对除了其底面部50Bc以外的所有的部分吹送空气W1。
图1的控制装置11，能够以将气枪22的平面移动以及喷射口22b的方向的变更，与保持台30的平面移动以及倾斜同步进行的方式进行控制。
另外，控制装置11，在对零件50等的空气W1的吹送(以下，也称为“除尘”)结束后，在预先规定的规定时间，例如10秒(s)内，继续吸引装置18的动作。
由此，可以防止从零件50等除去的尘埃再次附着在零件50上。
如上所述，如图1所示，除尘室12的侧壁12a等，与电源装置20连接，可以带电。
并且，控制装置11，在对零件50等吹送空气W1的期间(除尘时)，对侧壁12a等通上电流，使其带电。
因此，可以将从零件50等除去、并带电的尘埃，吸附在侧壁12a等上。
由此，能够进一步可靠地防止从零件50等除去的尘埃再次附着在零件50上。
除尘装置10，如上述那样构成。
如上所述，保持台30可以平面移动。
另外，由于保持台30的零件载物台30a被可倾斜地构成，因此当零件50等为立体的形状时、为具有凹凸的复杂的形状时，对于零件50等的除了与零件载物台30a相接触的面以外的所有的面，都可以吹送空气。
由此，根据除尘装置10，可以充分地除去附着在立体的形状、具有凹凸的复杂的形状的零件上的异物。
另外，由于可以与保持台30的平面移动以及倾斜同步地进行气枪22的平面移动以及变更空气的喷射方向，因此即便在零件50等例如具有较深的凹部的情况下，也能够调整保持台30和气枪22的位置以及喷射方向，以使得能够向该凹部的内部吹送空气。
另外，由于气枪22非连续地喷射空气，因此吹到零件50等上的空气成为冲击波。
因此，可以有效地除去附着在零件50等上的尘埃。
另外，由于吸引装置18，被构成为在除尘结束后，在预先规定的规定时间内继续动作，因此可以在除尘结束后将在除尘室12中浮游的尘埃从除尘室12排出。
由此，能够可靠地防止从零件50等除去的尘埃再次附着在零件上。
进而，由于成为在除尘时使侧壁12a等带电的构成，因此可以使带电的尘埃吸附在侧壁12a等上。
由此，能够进一步可靠地防止从零件50等除去的尘埃再次附着在零件上。
以下，主要利用图9说明除尘装置10的动作例等。
作为除去图7(b)的零件50B的尘埃的例子，以下进行说明。
图9，是展示除尘装置10的动作例等的概略流程图。
首先，将零件50B配置在零件载物台30a(参照图8(a))上(图9的步骤ST1)。
接着，根据零件50B的形状，决定需要的控制姿势(步骤ST2)。该步骤ST2，是作业姿势设定步骤的一例。
具体地说，控制装置11，接受表示零件50B的形状的数据的输入，并计算用于将空气W1吹到零件50B的除了底面以外的所有的面上的多个控制姿势。
接着，保持台30以及气枪22移动到作业位置，例如，成为如图8(b)所示的作业姿势(步骤ST3)。
图8(b)的作业姿势，是多个作业姿势中的1种。
接着，使侧壁12a等带电(步骤ST4)。该步骤ST4，是带电步骤的一例。
接着，使吸引装置18的风扇18a旋转(步骤ST5)。步骤ST5，是吸引开始步骤的一例。
当风扇18a旋转时，在除尘室12内产生负压。
接着，从气枪22对零件50B喷射空气W1(步骤ST6)。该步骤ST6，是吹送空气步骤的一例。
接着，在所有的作业姿势的空气W1的喷射结束后，停止来自于气枪22的空气W1的喷射(步骤ST7)。该步骤ST7，是吹送空气停止步骤的一例。
接着，在经过待机时间t1后，停止风扇18a的旋转(步骤ST8)。该步骤ST8，是吸引停止步骤的一例。
待机时间t1，是作为吸引从零件50B除去、在除尘室12内浮游的尘埃所必需的足够的时间而被规定的，例如为10秒(s)。
接着，解除侧壁12a等的带电(步骤ST9)。该步骤ST9，是带电解除步骤的一例。
接着，从除尘室12取出零件50B(步骤ST10)。
通过具有以上的步骤的除尘方法，能够充分地除去附着在立体的形状、具有凹凸的复杂的形状的零件上的异物。
另外，能够可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上。
本发明，不限于上述各实施方式。进而，上述的各实施方式，也可以彼此组合而构成。
权利要求
1.一种除尘装置，该除尘装置具备具有保持处理对象的保持台的除尘室；对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置；和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置；其特征在于前述负压产生装置，被构成为在除尘结束后，在预先规定的规定时间内继续动作。
2.如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于前述除尘室的侧壁，由导电材料构成；且成为在除尘时使前述侧壁带电的结构。
3.一种除尘方法，其特征在于，具有如下步骤具备具有保持处理对象的保持台的除尘室、对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置、和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置的除尘装置，根据前述处理对象的形状，设定前述保持台的位置以及倾斜、以及前述空气喷射装置的位置以及空气的吹送方向的作业姿势设定步骤；前述除尘装置使前述除尘室的侧壁带电的带电步骤；前述除尘装置使前述负压产生装置动作的吸引开始步骤；前述除尘装置对前述处理对象非连续地吹送空气的空气吹送步骤；前述除尘装置停止对前述处理对象的空气的吹送的空气吹送停止步骤；前述除尘装置在经过预先规定的规定时间后，停止前述负压产生装置的动作的吸引停止步骤；以及前述除尘装置解除前述侧壁的带电的带电解除步骤。
全文摘要
提供能够可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上的除尘装置以及除尘方法。该除尘装置18具备具有保持处理对象50的保持台30的除尘室12；对处理对象50吹送空气的空气喷射装置22；和从除尘室12吸引尘埃的负压产生装置18；其特征在于，负压产生装置18，以在除尘结束后在预先规定的规定时间内继续动作的方式构成。
文档编号B08B6/00GK101036913SQ20061005700
公开日2007年9月19日 申请日期2006年3月13日 优先权日2006年3月13日
发明者伊藤文人 申请人:精工爱普生株式会社