具有循环淋水装置的切割机的制作方法

文档序号:1796335阅读:379来源:国知局
专利名称:具有循环淋水装置的切割机的制作方法
技术领域
具有循环淋水装置的切割机技术领域[0001]本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备,是一种多线切割机,具体地说是涉 及具有循环淋水装置的切割机。
背景技术
[0002]切割半导体晶块是在多线切割机上进行的,现有技术中的切割机是这样的它具 有机架,机架上具有固定框,固定框用以固定半导体晶棒,机架上具有线轮,线轮缠绕切割 线,现有技术中,在半导体晶棒切割时没有冷却装置,影响了晶棒的切割效率。发明内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种生产效率高、切割线经久耐用的 切割机——具有循环淋水装置的切割机。[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的具有循环淋水装置的切割机,包括机架,机 架上具有固定框,其特征是所述的固定框下面设置有接水盘,接水盘下面有出水管,出水 管连接有水泵,水泵连接喷头,喷头朝着固定框。[0005]本实用新型的有益效果是这样的具有循环淋水装置的切割机具有生产效率高、 切割线经久耐用的优点。


[0006]图1是本实用新型的结构示意图。[0007]其中1、机架 2、固定框 3、接水盘 4、出水管 5、水泵[0008]6、喷头。
具体实施方式
[0009]
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。[0010]如图1所示,具有循环淋水装置的切割机,包括机架1,机架I上具有固定框2,其 特征是所述的固定框2下面设置有接水盘3,接水盘3下面有出水管4,出水管4连接有水 泵5,水泵5连接喷头6,喷头6朝着固定框。[0011]使用时,循环水可以添加碳化硅粉末和乙二醇,这样增加切割的效率,还具有冷却作用。
权利要求1.具有循环淋水装置的切割机,包括机架,机架上具有固定框,其特征是所述的固定框下面设置有接水盘,接水盘下面有出水管,出水管连接有水泵,水泵连接喷头,喷头朝着固定框。
专利摘要本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备,是具有循环淋水装置的切割机,包括机架,机架上具有固定框,其特征是所述的固定框下面设置有接水盘,接水盘下面有出水管,出水管连接有水泵,水泵连接喷头,喷头朝着固定框,使用时,循环水可以添加碳化硅粉末和乙二醇,这样增加切割的效率,还具有冷却作用,还具有生产效率高、切割线经久耐用的优点。
文档编号B28D7/02GK202826114SQ20122041106
公开日2013年3月27日 申请日期2012年8月20日 优先权日2012年8月20日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1