液体喷射头及液体喷射装置的制作方法

本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置。

背景技术：

一直以来，将油墨滴吐出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料吐出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(inkjet)方式的液体喷射头得到利用。

在喷墨方式中，将油墨、液体材料等液体从液体储罐经由供给管引导至通道(吐出槽)内，并对填充于通道的液体施加压力以从连通于通道的喷嘴吐出液体。而且，在吐出液体时，使液体喷射头、被记录介质移动以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。

作为液体喷射头的种类，例如，存在边射(edgeshoot)类型的液体喷射头(以下，简称为“边射类型的头”)、和侧射(sideshoot)类型的液体喷射头(以下，简称“侧射类型的头”)。

边射类型的头为在油墨流路的最后具有喷嘴孔，并从该喷嘴孔吐出油墨的构造。

在采用此种构成的边射类型的头中，若在油墨中存在气泡，则存在气泡积存于喷嘴孔，妨碍油墨吐出的风险。

另一方面，侧射类型的头为从在油墨流路的中途设置的喷嘴孔吐出油墨的构造。采用此种构造的侧射类型的头由于将喷嘴孔设置油墨流路的中途，故若与边射类型的头相比较，则气泡难以滞留在喷嘴孔及其周围。

因此，作为尤其适合于边射类型的液体喷射头的物件，在专利文献1中，公开了纵循环型的液体喷射头(以下，称为“纵循环型的头”)。

纵循环型的头为包含以下的构成：形成有喷嘴孔的喷嘴板；促动器板；和循环路径，其具有在促动器板的一个侧面侧设置，且供油墨流入的吐出槽、在促动器板的另一个侧面侧配置的返回路径、以及将吐出槽、返回路径、及喷嘴孔连通的侧部流路。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-77737号公报。

技术实现要素：

发明要解决的问题

另外，纵循环型的头与侧射类型的头的侧部流路相比较，吐出槽和返回路径的距离短，因而在从吐出槽去往返回路径的方向上的侧部流路的宽度窄。

因此，在循环通路中流动的油墨沿吐出槽下降，立刻折回并沿返回路径上升，因而在油墨的流速慢的情况下，存在油墨变得难以流动的可能性。即，侧部流路处的气泡的脱离变差，存在气泡在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路滞留的风险。

另外，在使用纵循环型的头的情况下，存在附着于喷嘴孔的气泡移动到侧部流路，并就那样停在侧部流路的风险。

而且，由于需要在促动器板自身形成侧部流路整体，故存在促动器板的制造工序变得烦杂的问题。

因此，本发明是鉴于上述情况而完成的，其将提供通过抑制在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路处的气泡滞留，能够抑制气泡积存于喷嘴孔，并且能够谋求制造工序简化的液体喷射头及液体喷射装置作为课题。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明的一个观点所涉及的液体喷射头的特征在于具备：促动器板，其具有吐出液滴的吐出槽；间隔板，在其一个面配置有所述促动器板，并且其具有连通于所述吐出槽的侧部流路；喷嘴板，其配置在所述间隔板的另一个面，且具有连通于所述侧部流路的喷嘴孔；返回路径，其配置在所述促动器板的与存在所述吐出槽的面为相反侧的面，且从所述侧部流路排出所述液体；以及气泡滞留抑制部，其设于所述间隔板，且抑制所述侧部流路处的气泡的滞留。

根据本发明的一个观点所涉及的液体喷射头，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与设于促动器板的情况相比较，能够简化促动器板的制造工序。

另外，通过在间隔板设置抑制气泡滞留的气泡滞留抑制部，能够通过气泡滞留抑制部抑制从吐出槽供给的油墨所含有的气泡滞留于侧部流路。由此，能够简化促动器板的构造，并且抑制气泡积存于喷嘴孔。

另外，通过设置气泡滞留抑制部，能够抑制附着于喷嘴孔及其周围的气泡移动到侧部流路，并就那样停在侧部流路的情况。

在上述液体喷射头中，所述吐出槽及所述返回路径分别沿铅垂方向延伸，所述侧部流路沿水平方向延伸，所述气泡滞留抑制部在所述喷嘴孔的上方包含沿着所述水平方向的水平面、和相对于该水平面倾斜且随着从该水平面去往所述侧部流路的出口侧而使该侧部流路变宽的倾斜面，使所述水平面和所述倾斜面的边界位置与所述喷嘴孔的中心位置相比配置在所述侧部流路的入口侧也可。

如此，通过将构成气泡滞留抑制部的水平面和倾斜面的边界位置与喷嘴孔的中心位置相比配置在侧部流路的入口侧，并且使水平面与喷嘴孔的中心位置间隔开，以将倾斜面配置在喷嘴孔的正上方，能够利用气泡的浮力来使气泡从侧部流路的上游侧可靠地移动到下游侧。由此，能够抑制气泡停在侧部流路的情况。

另外，通过具有随着从水平面去往侧部流路的出口侧而使侧部流路变宽的倾斜面，在气泡附着于倾斜面时，通过气泡的浮力、及从侧部流路的入口侧流到出口侧的油墨的流动，能够使气泡沿倾斜面移动，以将气泡引导至返回路径。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，故能够抑制气泡积存于喷嘴孔的情况。

此外，在附着于倾斜面的气泡中，例如包含流入吐出槽的油墨所含有的气泡、暂时附着在喷嘴孔、其周围，之后移动到倾斜面的气泡等。

而且，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与在促动器板加工气泡滞留抑制部的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部。

在上述液体喷射头中，所述吐出槽及所述返回路径分别沿铅垂方向延伸，所述侧部流路沿水平方向延伸，所述气泡滞留抑制部在所述喷嘴孔的上方包含相对于所述水平面倾斜且随着从所述侧部流路的入口侧去往该侧部流路的出口侧而使该侧部流路变宽的倾斜面也可。

如此，通过具有气泡滞留抑制部，该气泡滞留抑制部包含相对于水平方向倾斜，且随着从侧部流路的入口侧去往侧部流路的出口侧而使侧部流路变宽的倾斜面，在气泡附着于倾斜面时，通过气泡的浮力、及从侧部流路的入口侧流到出口侧的油墨的流动，能够使气泡沿倾斜面移动，以将气泡引导至返回路径。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，故能够抑制气泡朝喷嘴孔的积存。

此外，在附着于倾斜面的气泡中，例如包含流入吐出槽的油墨所含有的气泡、暂时附着在喷嘴孔、其周围，之后移动到倾斜面的气泡等。

而且，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与在促动器板加工气泡滞留抑制部的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部。

在上述液体喷射头中，所述吐出槽及所述返回路径分别沿铅垂方向延伸，所述侧部流路沿水平方向延伸，所述气泡滞留抑制部在所述喷嘴孔的上方包含相对于所述水平方向倾斜且随着从所述喷嘴孔去往所述侧部流路的入口侧而使所述侧部流路变宽的第一倾斜面、和相对于所述水平方向倾斜且随着从所述喷嘴孔去往所述侧部流路的出口侧而使该侧部流路变宽的第二倾斜面，将所述第一倾斜面和所述第二倾斜面的边界位置与所述喷嘴孔的中心位置相比配置在所述侧部流路的入口侧也可。

如此，通过气泡滞留抑制部具有随着从喷嘴孔去往侧部流路的入口侧而使侧部流路变宽的第一倾斜面，在气泡附着于第一倾斜面时，能够通过流入吐出槽的油墨的流动、及油墨压力使气泡移动至位于第一倾斜面下游侧的侧部流路。

另外，通过气泡滞留抑制部包含随着从与喷嘴孔去往侧部流路的出口侧而使侧部流路变宽的第二倾斜面，且使第一倾斜面和第二倾斜面的边界位置与喷嘴孔的中心位置相比配置在侧部流路的入口侧，在气泡附着于第二倾斜面时，通过气泡的浮力、及从侧部流路的入口侧流到出口侧的油墨的流速，能够使气泡沿第二倾斜面移动，以将气泡引导至返回路径。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，故能够抑制气泡朝喷嘴孔的积存。

另外，在气泡未超过第一倾斜面和第二倾斜面的边界位置的情况下，在循环停止时，由于气泡的浮力，气泡上升(移动)到吐出槽侧，因而能够抑制气泡滞留在喷嘴孔正上方的情况。

此外，在附着于第一及第二倾斜面的气泡中，例如包含流入吐出槽的油墨所含有的气泡、暂时附着在喷嘴孔、其周围，之后移动到倾斜面的气泡等。

而且，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与在促动器板加工气泡滞留抑制部的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部。

另外，在上述液体喷射头中，所述吐出槽及所述返回路径分别沿铅垂方向延伸，所述侧部流路沿水平方向延伸，所述气泡滞留抑制部在所述喷嘴孔的上方具有向去往所述喷嘴板的方向突出的弯曲面，将所述弯曲面的最低点与所述喷嘴孔的中心位置相比配置在所述侧部流路的入口侧也可。

如此，通过设置具有朝去往喷嘴板的方向突出的弯曲面的气泡滞留抑制部，并且使弯曲面的最低点与喷嘴孔的中心位置相比配置在侧部流路的入口侧，在气泡附着于与最低点相比配置在吐出槽侧的弯曲面时，通过流入吐出槽的油墨的流动及气泡的浮力，能够使气泡移动到与最低点相比位于返回路径侧的弯曲面。

而且，对于附着于与最低点相比位于返回路径侧的弯曲面的气泡，能够通过气泡的浮力、及从侧部流路的入口侧流到出口侧的油墨的流动来使气泡沿着与最低点相比位于返回路径侧的弯曲面移动，并将气泡引导至返回路径。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，故能够抑制气泡朝喷嘴孔的积存。

此外，在附着于弯曲面的气泡中，例如包含流入吐出槽的油墨所含有的气泡、暂时附着在喷嘴孔、其周围，之后移动到倾斜面的气泡等。

而且，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与在促动器板加工气泡滞留抑制部的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部。

另外，在上述液体喷射头中，所述吐出槽及所述返回路径分别沿铅垂方向延伸，所述侧部流路沿水平方向延伸，所述气泡滞留抑制部在所述喷嘴孔的上方具有至少一个相对于从所述侧部流路的入口侧去往该侧部流路的出口侧的方向而使所述侧部流路变宽的阶梯差部也可。

如此，通过设置气泡滞留抑制部，该气泡滞留抑制部包含至少一个相对于从侧部流路的入口侧去往该侧部流路的出口侧的方向使侧部流路变宽的阶梯差部，在气泡附着于气泡滞留抑制部的下端时，通过气泡的浮力、及从侧部流路的入口侧移动到出口侧的油墨的流动，能够使气泡沿去往返回路径的方向移动，以将气泡引导至返回路径。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，故能够抑制气泡朝喷嘴孔的积存。

此外，在上述气泡中，例如包含流入吐出槽的油墨所含有的气泡、暂时附着在喷嘴孔、其周围，之后移动到倾斜面的气泡等。

而且，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与在促动器板加工气泡滞留抑制部的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部。

另外，在上述液体喷射头中，所述气泡滞留抑制部配置在所述侧部流路的入口侧，是使与所述侧部流路的出口侧相比该侧部流路的入口侧的所述液体的流速上升的流速上升部，该流速上升部的流路开口部的大小比所述侧部流路的出口侧的流路开口部的大小小也可。

通过设置采用此种构成的流速上升部，以使与侧部流路的出口侧相比侧部流路的入口侧的流速上升，能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，因而能够抑制气泡积存于喷嘴孔的情况。

而且，通过在间隔板设置气泡滞留抑制部，与在促动器板加工气泡滞留抑制部的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部。

另外，在上述液体喷射头中，所述流速上升部包含第一部分，所述第一部分与所述喷嘴孔的形成位置相比配置在所述侧部流路的入口侧，由配置在所述喷嘴板上的所述间隔板构成，通过所述第一部分，所述流速上升部的流路开口部的大小比所述侧部流路的出口侧的流路开口部的大小小也可。

通过采用此种构成，能够以简单的构造使侧部流路的入口侧的流路截面积变小，并且能够使侧部流路的出口侧的流路截面积与侧部流路的入口侧的流路截面积相比变大。

另外，通过使侧部流路的出口侧的流路截面积与侧部流路的入口侧的流路截面积相比大，能够使侧部流路的入口侧的流速上升，其结果，能够将位于侧部流路的气泡引导至返回路径。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路的情况，故能够抑制气泡积存于喷嘴孔的情况。

本发明的一个观点所涉及的液体喷射装置还可以包含上述液体喷射头、和使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构。

根据本发明的一个观点所涉及的液体喷射装置，通过包含上述液体喷射头、和使液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构，能够抑制气泡在喷嘴孔处积存的情况。由此，能够在良好的状态下从喷嘴孔吐出油墨，以进行印刷。

发明效果

根据本发明，通过抑制在位于喷嘴孔和吐出槽之间的侧部流路处的气泡滞留，能够抑制气泡积存于喷嘴孔的情况，并且能够谋求制造工序的简化。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射装置的概要构成的立体图；

图2是图1所示的液体喷射头及油墨循环单元的概要构成图；

图3是从板的设置位置侧俯视从图2所示的液体喷射头的构成头芯片的构成要素中去除了板的头芯片的示意图；

图4是从喷嘴板的设置位置侧俯视从图3所示的头芯片中去除了喷嘴板的构造体的图；

图5是图3所示的头芯片的a-a线截面图；

图6是本发明的第二实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图；

图7是本发明的第三实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图；

图8是本发明的第四实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图；

图9是本发明的第五实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图；

图10是本发明的第六实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图；

图11是本发明的第七实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明适用本发明的实施方式。此外，在以下的说明中使用的附图是用于说明本发明的实施方式的构成的图，存在所图示的各部分的大小、厚度、尺寸等与实际的液体喷射头及液体喷射装置的尺寸关系不同的情况。

(第一实施方式)

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射装置1的概要构成的立体图。此外，在图1中，为了使说明容易理解，适当变更了各部件的比例尺。

<液体喷射装置>

参照图1，第一实施方式的液体喷射装置1具备：运送纸等被记录介质s的一对运送单元2、3、容纳有油墨的油墨储罐4、为对被记录介质s吐出液滴状油墨的喷墨头的液体喷射头5、使油墨在油墨储罐4和液体喷射头5之间循环的油墨循环单元6、以及使液体喷射头5沿与被记录介质s的运送方向(以下，称为y方向)正交的方向(被记录介质s的宽度方向(以下，设为x方向))扫描的扫描单元(移动机构)7。

此外，图中z方向(铅垂方向)表示与y方向及x方向正交的高度方向。

运送单元2具备沿x方向延伸设置的栅格辊(gridroller)2a、与栅格辊20平行地延伸设置的夹送辊(pinchroller)2b、和使栅格辊2a轴旋转的马达等驱动机构(未图示)。

同样，运送单元3具备沿x方向延伸设置的栅格辊3a、与栅格辊3a平行地延伸设置的夹送辊3b、和使栅格辊3a轴旋转的驱动机构(未图示)。

作为油墨储罐4，例如黄、洋红、青、黑这四色油墨的油墨储罐4y、4m、4c、4b沿y方向排列设置。

图2是图1所示的液体喷射头5及油墨循环单元6的概要构成图。

如图1及图2所示，油墨循环单元6具备循环流路9、加压泵11、和吸引泵12。

循环流路9具有对液体喷射头5供给油墨的油墨供给管14、和从液体喷射头5排出油墨的油墨排出管15。油墨供给管14及油墨排出管15由柔性软管等构成，该柔性软管等具有能够与对液体喷射头5进行支撑的扫描单元7的动作对应的可挠性。

加压泵11连接于油墨供给管14。加压泵11通过对油墨供给管14内加压来经由油墨供给管14对液体喷射头5送出油墨。由此，相对于液体喷射头5，油墨供给管14侧为正压。

吸引泵12连接于油墨排出管15。吸引泵12对油墨排出管15内减压，以从液体喷射头5吸引油墨。由此，相对于液体喷射头5，油墨排出管15侧为负压。而且，油墨能够通过加压泵11及吸引泵12的驱动而经由循环流路9在液体喷射头5与油墨储罐4之间循环。

如图1所示，扫描单元7具备沿x方向延伸设置的一对导轨16、17、被一对导轨16、17以能够移动的方式支撑的滑架18、和使滑架18沿x方向移动的驱动机构19。

驱动机构19具备设置在一对导轨16、17之间的一对滑轮20、21、卷绕于一对滑轮20、21之间的无接头带22、和使一个滑轮20旋转驱动的驱动马达23。

一对滑轮20、21分别设置在一对导轨16、17的两端部之间。无接头带22设置在一对导轨16、17之间。滑架18连结于该无接头带22。

在滑架18，作为多个液体喷射头4，黄、洋红、青、黑这四色油墨的液体喷射头5y、5m、5c、5b排列并搭载在x方向上。

此外，上述运送单元2、3及扫描单元7构成使液体喷射头5和被记录介质s相对移动的移动机构。

<头芯片>

图3是从板的设置位置侧俯视从图2所示的液体喷射头5的构成头芯片26的构成要素中去除了板的头芯片26的示意图。

图4是从喷嘴板53的设置位置侧俯视从图3所示的头芯片26中去除了喷嘴板53的构造体的图。图5是图3所示的头芯片26的a-a线截面图。

此外，图4及图5所示的箭头表示油墨流动方向。在图3～图5中，对相同的构成部分附以相同的符号。另外，在图3～图5中，作为头芯片的一例，将纵循环型的头芯片举为例子并图示。

参照图3～图5，头芯片26具有促动器板41、盖板45、板47、间隔板49、喷嘴板53、循环路径54、公共电极55、公用端子56、个别端子57、和有效电极(未图示)。

促动器板41具有为平面的侧面41a、41b、为平面的上端面41c及下端面41d、多个吐出槽41-1、和多个非吐出槽41-2。

侧面41a为配置盖板45的面。侧面41b配置在侧面41a的相反侧，且配置有板47。

吐出槽41-1及非吐出槽41-2相对于y方向交替地配置。由此，在吐出槽41-1和非吐出槽41-2之间，由促动器板41构成的侧壁沿y方向配置。

吐出槽41-1为被供给油墨的槽，设于促动器板41的一个侧面41a侧。吐出槽41-1的一部分设于间隔板49。由此，吐出槽41-1连通于后述侧部流路51。

吐出槽41-1的一部分由在促动器板41及间隔板49形成的弯曲面41e区划。弯曲部41e以随着从上端面41c去往下端面41d，从配置在侧面41a的盖板45间隔开的方式形成。弯曲面41e例如能够通过切割刀片来形成。

吐出槽41-1从喷嘴板53的内表面53a设置到与上部液室45a相比上方的位置，喷嘴板53隔着间隔板49配置在盖板45的下方。吐出槽41-1沿z方向(铅垂方向)延伸。

非吐出槽41-2是以从促动器板41的上端面41c直到下端面41d的方式形成的贯穿槽，且沿z方向(铅垂方向)延伸。非吐出槽41-2是不被供给油墨的槽。

非吐出槽41-2与吐出槽41-1不同，未连通于侧部流路51。非吐出槽41-2例如能够通过切割刀片来形成。

作为促动器板41的材料，例如能够使用pzt陶瓷、其以外的压电体材料等。

另外，促动器板41例如还可以对侧面41a的垂直方向实施极化处理。在该情况下，作为促动器板41，能够使用层叠了对侧面41a沿垂直方向实施了极化处理的压电体层(未图示)、和沿相反方向实施极化处理的压电体层(未图示)的人字纹(chevron)型压电体基板。

盖板45接合于促动器板41的侧面41a。盖板45具有连通于吐出槽41-1的上部液室45a。上部液室45a作为油墨的导入口起作用。

作为盖板45的材料，例如能够使用pzt陶瓷、其以外的陶瓷、金属、玻璃材料、塑料等。

板47接合于促动器板41的侧面41b。板47具有在促动器板41的侧面4b侧设置的返回路径47-1和流路47-2。

返回路径47-1通过在板47之中位于侧面41b侧的部分形成凹部而构成。返回路径47-1从隔着间隔板49配置在板47下方的喷嘴板53的内表面53a配置在其上方。

板47从相对于y方向正交的间隔板49的两个侧面49a、49b向其外侧(y方向)突出。在该板47的突出部分的内部，设有从返回路径47-1排出油墨(液体)的流路47-2。

流路47-2在y方向上与后述侧部流路51连通。流路47-2将经由了侧部流路51及返回路径47-1的油墨排出到板47的上端侧外。

作为板47的材料，例如能够使用陶瓷、金属、塑料、玻璃材料等。

间隔板49具有侧壁面49a、49b、为一个面的上端面49d、和为另一个面的下端面49c。在间隔板49的上端面49d(一个面)，配置有促动器板41。

间隔板49设于盖板45的下端面45a、板47的下端面47a、及促动器板41的下端面41d。具有多个喷嘴孔53a的喷嘴板53接合于在盖板45及板47配置的间隔板49的下端面49c(另一个面)。

在盖板45及板47设置的间隔板49的厚度(侧部流路51的深度方向的厚度)以比在促动器板41的下端面41d设置的间隔板49的厚度厚的方式构成。

由此，在设于促动器板41下端面41d的间隔板49和喷嘴板53之间，能够配置将吐出槽41-1、返回路径47-1、及喷嘴板53的喷嘴孔53a连通，且一部分由间隔板49区划的侧部流路51。

侧部流路51沿水平方向(相对于z方向正交的面方向)延伸，且与多个吐出槽41-1连通。

另外，油墨所循环的循环路径54为包含吐出槽41-1、返回路径47-1、及侧部流路41的构成。返回路径47-1配置在与促动器板41的吐出槽41-1所在的面为相反侧的面，且从侧部流路51排出油墨。返回路径47-1及吐出槽41-1分别沿z方向(铅垂方向)延伸。

在促动器板41的下端面41d设置的间隔板49构成气泡滞留抑制部52，该气泡滞留抑制部52抑制气泡向位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51的滞留。

即，气泡滞留抑制部52以在喷嘴孔53a的上方与喷嘴孔53a相向的方式配置。

气泡滞留抑制部52在其下端侧具有对侧部流路51的一部分进行区划的水平面52a及倾斜面52b。

如此，通过使用间隔板49对侧部流路51的一部分进行区划，与在促动器板41形成气泡滞留抑制部52，以对侧部流路51的一部分进行区划的情况相比较，能够简化促动器板41的制造工序。即，能够简化促动器板41的构造。

水平面52a是沿着水平方向(相对于z方向正交的面方向)的平面。水平面52a配置在侧部流路51的入口侧(换言之，吐出槽41-1侧)。

倾斜面52b是相对于水平方向倾斜的面。倾斜面52b相对于油墨流动方向与水平面52a邻接地配置。

倾斜面52b以随着从水平面52a去往侧部流路51的出口侧(换言之，返回路径47-1侧)，使侧部流路51变宽(换言之，使利用与油墨的流动正交的平面将侧部流路51截断时的侧部流路51的流路截面积变大)的方式构成。

倾斜面52b相对于水平方向的倾斜角度θ1例如优选为5°以上的角度。

水平面52a及倾斜面52b例如能够使用切割刀片形成。

水平面52a和倾斜面52b的边界位置d可以与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧。

如此，通过将水平面52a和倾斜面52b的边界位置d与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧，能够使水平面52a从喷嘴孔53a的中心位置c间隔开，以将倾斜面52b配置在喷嘴孔53a的正上方。

另外，通过具有随着从与边界位置d相比配置在吐出槽41-1侧的水平面52a去往侧部流路51的出口侧，使侧部流路51变宽的倾斜面52b，在气泡附着于倾斜面52b时，通过气泡的浮力、及从侧部流路51的入口侧流到出口侧的油墨的流动，能够使气泡沿着倾斜面52b移动，以将气泡引导至返回路径47-1。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51的情况，故能够抑制气泡积存于喷嘴孔53a的情况。

此外，在附着于露出在侧部流路51的水平面52a及倾斜面52b的气泡中，虽然包含例如流入吐出槽41-1的油墨所含有的气泡、暂时附着于喷嘴孔53a及其周围，之后移动到水平面52a及倾斜面52b的气泡，但能够将此种气泡引导到返回路径47-1。

而且，通过在间隔板49设置气泡滞留抑制部52，与在促动器板41加工气泡滞留抑制部52的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部52。

喷嘴板53接合于间隔板49的下端面49c。喷嘴板53为板状的部件，且沿y方向延伸。喷嘴板53具有连通于侧部流路51的多个喷嘴孔53a、与间隔板49接合的内表面53a、和配置在内表面53a的相反侧的油墨喷出面53b。

多个喷嘴孔53a以与沿y方向配置的吐出槽41-1对应的方式相对于y方向以既定的间隔配置。在非吐出槽41-2未设置喷嘴孔。

作为喷嘴板53的材料，例如能够使用聚酰亚胺膜、其他塑料膜、金属板等。

公共电极55在其深度方向上从吐出槽41-1的上端形成到吐出槽41-1的深度的大致一半处。公共电极55在其长度方向上从吐出槽41-1中的促动器板41的下端面41d到槽上切到促动器板41的侧面41a的倾斜面带状地形成。公共电极55以不达到间隔板49的方式形成。公共电极55为gnd电位，且对有效电极施加驱动电压。

公共电极55形成于吐出槽41-1内部的两侧面。在吐出槽41-1内部的两侧面形成的公共电极55通过在上述倾斜面形成的桥接电极(与驱动电极的形成同时地通过斜向蒸镀形成的电极)而电气地导通。

桥接电极和在吐出槽41-1内部的两侧面形成的公共电极55在沿上述倾斜面上升结束的位置处到达侧面41a，且电气地连接于在促动器板41的侧面41a形成的公用端子56。

公用端子56设在位于吐出槽41-1与个别端子57之间的促动器板41的侧面41a。

公用端子56与在吐出槽41-1的两侧面形成的驱动电极电连接。

个别端子57设在与公用端子56的形成位置相比位于上端面41c侧的促动器板41的侧面41a。个别端子57跨过吐出槽41-1地形成。

个别端子57将在隔着吐出槽41-1的两个非吐出槽41-2的吐出槽41-1侧的两个侧面配置的驱动电极电连接。

而且，若对公用端子56及个别端子57施加驱动信号，则吐出槽41-1和隔着吐出槽41-1的两个非吐出槽41-2之间的两个侧壁在剪切模式下变形，以使吐出槽41-1的容积变化。

有效电极(未图示)在其深度方向上与上述公共电极55同样，从非吐出槽41-2的上端形成到槽深的大致一半处。有效电极在其长度方向上从非吐出槽41-2中的促动器板41的下端面41d到上端面41c带状地形成。有效电极以不达到间隔板49的方式设置。

有效电极在非吐出槽41-2内部的两侧面形成。在一个非吐出槽41-2的内部相向的两个有效电极电气地分离。对相向的两个有效电极施加用于驱动互不相同的吐出槽41-1的驱动电压。非吐出槽41-2的槽的底面具有一定的深度，其槽深比通过斜向蒸镀覆盖导电材料的膜的深度深。因此，相向的有效电极不会经由非吐出槽41-2的底部而电气地导通。

隔着一个吐出槽41-1的非吐出槽41-2的该吐出槽41-1侧的有效电极通过个别端子57而电连接。

接着，说明图1所示的液体喷射头5的动作。

首先，油墨先被供给到上部液室45a，之后，流入各吐出槽41-1，并沿去往喷嘴板53内表面53a的方向流动。然后，从各吐出槽41-1流入侧部流路51，并沿与y方向平行的既定的基准方向流出。

接着，在该状态下，通过对上述公用端子及个别端子施加驱动信号，使隔着吐出槽41-1的两个侧壁在剪切模式下变形。

具体而言，首先，使吐出槽41-1的容积瞬间地扩大以从上部液室45a引入油墨，之后，使吐出槽41-1的容积瞬间地复原。由此，使吐出槽41-1内的油墨产生压力波，以从喷嘴孔53a吐出油墨滴。

根据第一实施方式的液体喷射头5，由于具有使用间隔板49构成，且对侧部流路51的一部分进行区划的气泡滞留抑制部52，故与在促动器板41形成气泡滞留抑制部52的情况相比较，能够简化促动器板41的制造工序。

另外，通过在与喷嘴孔53a的中心位置c相比侧部流路51的入口侧，配置构成气泡滞留抑制部52的水平面52a和倾斜面52b的边界位置d，能够使具有气泡滞留抑制效果的气泡滞留抑制部52的倾斜面52b配置在喷嘴孔53a的上方。

另外，在沿侧部流路51流动的气泡附着于倾斜面52b时，通过气泡的浮力、及从侧部流路51的入口侧流到出口侧的油墨的流动，能够使气泡沿倾斜面52b移动，以将气泡引导至返回路径47-1。

由此，能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51的情况，因而能够抑制气泡朝喷嘴孔53a的积存。

而且，液体喷射头5通过使得对吐出槽41-1施加电压以驱动来提高油墨压力以使得从喷嘴孔53a吐出油墨，而通过将水平面52a与边界位置d相比配置在吐出槽41-1侧，并且最大限度地利用油墨压力，能够抑制气泡朝水平面52a的滞留。

另外，根据包含采用上述构成的液体喷射头5的第一实施方式的液体喷射装置1，能够获得与上述液体喷射头5同样的效果，并且能够在良好的状态下从喷嘴孔吐出油墨滴，以进行印刷。

(第二实施方式)

图6是本发明的第二实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。图6与之前说明的图5同样，是以通过吐出槽41-1的方式将第二实施方式的头芯片60截断的截面图。在图6中，对与图5所示的头芯片26相同的构成部分附以相同的符号。此外，在图6中，省略构成头芯片60的图5所示的公共电极55、公用端子56、及个别端子57、有效电极的图示。

参照图6，第二实施方式的头芯片60除了作为在第一实施方式中说明的构成头芯片26的气泡滞留抑制部52的代替而具有气泡滞留抑制部61和侧部流路51的形状与图5所示的侧部流路51的形状不同之外，与头芯片26同样地构成。

气泡滞留抑制部61由间隔板49构成，且设于促动器板41的与喷嘴孔53a相向的下端面41d。

气泡滞留抑制部61具有倾斜面61a，倾斜面61a相对于水平方向倾斜，且随着从侧部流路51的入口侧去往侧部流路51的出口侧(返回路径47-1侧)，使侧部流路51的流路截面积变大。

倾斜面61a对侧部流路51的一部分进行区划。倾斜面61a以与喷嘴孔53a相向的方式配置。倾斜面61a相对于水平方向的倾斜角度θ2例如能够与之前说明的倾斜角度θ1在相同范围内。

根据第二实施方式的头芯片60，通过具有相对于水平方向倾斜，且随着从侧部流路51的入口侧去往侧部流路51的出口侧，使侧部流路51的流路截面积变大的倾斜面61a，在气泡(例如流入吐出槽41-1的油墨所含有的气泡、附着于喷嘴孔53a及其周边之后移动的气泡等)附着于倾斜面61a时，通过气泡的浮力、及从侧部流路的入口侧流到出口侧的油墨的流动，能够使气泡沿着倾斜面61a移动，以将气泡引导至返回路径47-1。

由此，能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51的情况，因而能够抑制气泡朝喷嘴孔53a的积存。

而且，通过在间隔板49设置气泡滞留抑制部61，与在促动器板41加工气泡滞留抑制部61的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部61。

此外，将采用上述构成的头芯片60包含在构成要素中的液体喷射头及液体喷射装置能够获得与第二实施方式的头芯片60同样的效果。

(第三实施方式)

图7是本发明的第三实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。图7与之前说明的图5同样，是以通过吐出槽41-1的方式将第三实施方式的头芯片70截断的截面图。在图7中，对与图5所示的头芯片26相同的构成部分附以相同的符号。此外，在图7中，省略构成头芯片70的图5所示的公共电极55、公用端子56、及个别端子57、有效电极的图示。

参照图7，第三实施方式的头芯片70除了作为在第一实施方式中说明的构成头芯片26的气泡滞留抑制部52的代替而具有气泡滞留抑制部71和侧部流路51的形状与图5所示的侧部流路51的形状不同之外，与头芯片26同样地构成。

气泡滞留抑制部71由间隔板49构成，且设于促动器板41的与喷嘴孔53a相向的下端面41d。

气泡滞留抑制部71具有作为对侧部流路51的一部分进行区划的下端面起作用的第一及第二倾斜面71a、71b。

第一倾斜面71a与边界位置e相比配置在吐出槽41-1侧。第一倾斜面71a以随着从喷嘴孔53a去往侧部流路51的入口侧使侧部流路51变宽的方式相对于水平方向(相对于z方向正交的面方向)倾斜。

第一倾斜面71a相对于水平方向的倾斜角度θ3例如可采用5°以上的角度。

另外，还可以以位于第一倾斜面71a下方的侧部流路51的流路截面积(在利用与油墨流动方向正交的面截断时的流路截面积)变得比位于侧部流路51附近的吐出槽41-1的流路截面积(在利用与油墨流动方向正交的面截断时的流路截面积)小的方式构成。

通过采用此种构成，能够加快沿位于第一倾斜面71a下方的侧部流路51流动的油墨的流速，因而能够使附着于第一倾斜面71a的气泡从第一倾斜面71a的上游侧向下游侧移动。

第二倾斜面71b与第一倾斜面71a邻接，且与边界位置e相比配置在返回路径47-1侧。第二倾斜面71b以随着从喷嘴孔53a去往侧部流路51的出口侧，侧部流路51变宽的方式相对于水平方向倾斜。

第二倾斜面71b相对于水平面的倾斜角度θ4例如可采用5°以上的角度。

第一倾斜面71a和第二倾斜面71b的边界位置e可以与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧。

根据第三实施方式所涉及的头芯片70，通过将第一倾斜面71a和第二倾斜面71b的边界位置e与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧，能够抑制喷嘴孔53a正上方的气泡停滞。例如，在气泡移动到第一倾斜面71a的情况下，能够在油墨的流速下使气泡从第一倾斜面71a移动到第二倾斜面71b侧。另外，在该情况下，假设在气泡未超过边界位置e的情况下，在循环停止时，由于气泡的浮力，气泡从边界位置e上升到吐出槽41-1侧，因而能够抑制气泡滞留在喷嘴孔53a的正上方。

另外，通过气泡滞留抑制部71包含随着从与喷嘴孔53a去往侧部流路51的出口侧而使侧部流路51变宽的第二倾斜面71b，且使第一倾斜面71a和第二倾斜面71b的边界位置e与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧，在气泡附着于第二倾斜面71b时，通过气泡的浮力、及从侧部流路51的入口侧流到出口侧的油墨的流速，能够使气泡沿第二倾斜面71b移动，以将气泡引导至返回路径47-1。

由此，能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51，因而能够抑制气泡朝喷嘴孔53a的积存。

而且，通过在间隔板49设置气泡滞留抑制部71，与在促动器板41加工气泡滞留抑制部71的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部71，并且能够简化促动器板41的构成。

此外，将上述头芯片70作为构成要素的液体喷射头及液体喷射装置能够获得与头芯片70同样的效果。

另外，在第三实施方式中，作为一例，将使形成第一倾斜面71a的x方向长度l1比形成第二倾斜面71b的x方向长度l2短的情况进行了举例说明，但若将第一倾斜面71a和第二倾斜面71b的边界位置e与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧，则也可以使长度l1和长度l2为相同长度，还可以使长度l2比长度l1短。

(第四实施方式)

图8是本发明的第四实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。图8与之前说明的图5同样，是以通过吐出槽41-1的方式将第四实施方式的头芯片80截断的截面图。在图8中，对与图5所示的头芯片26相同的构成部分附以相同的符号。此外，在图8中，省略构成头芯片80的图5所示的公共电极55、公用端子56、及个别端子57、有效电极的图示。

参照图8，第四实施方式的头芯片80除了作为在第一实施方式中说明的构成头芯片26的气泡滞留抑制部52的代替而具有气泡滞留抑制部81和侧部流路51的形状与图5所示的侧部流路51的形状不同之外，与头芯片26同样地构成。

气泡滞留抑制部81由间隔板49构成，且设于促动器板41的与喷嘴孔53a相向的下端面41d。

气泡滞留抑制部81具有弯曲面81a，弯曲面81a沿去往喷嘴板53的方向突出，且对侧部流路51的一部分进行区划。弯曲面81a的最低点f与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧。

根据第四实施方式所涉及的头芯片80，通过设置具有弯曲面81a的气泡滞留抑制部81，弯曲面81a沿去往喷嘴板53的方向突出，并且使弯曲面81a的最低点f与喷嘴孔53a的中心位置c相比配置在侧部流路51的入口侧，在气泡附着于与最低点f相比配置在吐出槽41-1侧的弯曲面81a时，通过流入吐出槽41-1的油墨的流动，能够使其移动到与最低点f相比位于返回路径47-1侧的弯曲面81a。

而且，对于附着于与最低点f相比位于返回路径47-1侧的弯曲面81a的气泡，能够通过气泡的浮力、及从侧部流路51的入口侧流到出口侧的油墨的流动来使气泡沿着与最低点f相比位于返回路径侧47-1的弯曲面81a移动，并将气泡引导至返回路径47-1。

由此，能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51，因而能够抑制气泡朝喷嘴孔53a的积存。

而且，通过在间隔板49设置气泡滞留抑制部81，与在促动器板41加工气泡滞留抑制部81的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部81。

此外，将上述头芯片80作为构成要素的液体喷射头及液体喷射装置能够获得与头芯片80同样的效果。

(第五实施方式)

图9是本发明的第五实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。图9与之前说明的图5同样，是以通过吐出槽41-1的方式将第五实施方式的头芯片90截断的截面图。在图9中，对与图5所示的头芯片26相同的构成部分附以相同的符号。此外，在图9中，省略构成头芯片90的图5所示的公共电极55、公用端子56、及个别端子57、有效电极的图示。

参照图9，第五实施方式的头芯片90除了作为在第一实施方式中说明的构成头芯片26的气泡滞留抑制部52的代替而具有气泡滞留抑制部91和侧部流路51的形状与图5所示的侧部流路51的形状不同之外，与头芯片26同样地构成。

气泡滞留抑制部91由间隔板49构成，且设于促动器板41的与喷嘴孔53a相向的下端面41d。

气泡滞留抑制部91具有相对于水平方向平行的水平面91a、91b、和阶梯差部91a。

水平面91a与喷嘴孔53a相比配置在吐出槽41-1侧，且构成气泡滞留抑制部91的下端面的一部分。水平面91b与喷嘴孔53a相比配置在返回路径47-1侧，且构成气泡滞留抑制部91的下端面的剩余部分。水平面91b与水平面91a相比位于上方。

阶梯差部91a形成在水平面91a和水平面91b之间。阶梯差部91a相对于从侧部流路51的入口侧去往侧部流路51的出口侧的方向使侧部流路51变宽。换言之，还可以以位于水平面91a下方的侧部流路51的流路截面积(在利用相对于油墨流动方向正交的面截断时的流路截面积)变得比位于水平面91b下方的侧部流路51的流路截面积小的方式构成。

另外，还可以以位于水平面91a下方的侧部流路51的流路截面积比位于侧部流路51附近的吐出槽41-1的流路截面积(在利用相对于油墨流动方向正交的面截断时的流路截面积)小的方式构成。

通过采用此种构成，能够加快通过水平面91a的油墨的流速，并且能够使油墨容易流到水平面91a的下游侧(水平面91b侧)。

根据第五实施方式所涉及的头芯片90，通过具有包含阶梯差部91a的气泡滞留抑制部91，阶梯差部91a相对于从侧部流路51的入口侧去往侧部流路51的出口侧的方向使侧部流路51变宽，在气泡附着于水平面91a、91b及阶梯差部91a时，通过气泡的浮力、及从侧部流路51的入口侧流到出口侧的油墨的流速，能够使气泡沿去往返回路径47-1的方向移动，以将气泡引导至返回路径47-1。

由此，能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51，因而能够抑制气泡朝喷嘴孔53a的积存。

而且，通过在间隔板49设置气泡滞留抑制部91，与在促动器板41加工气泡滞留抑制部91的情况相比较，能够容易地形成气泡滞留抑制部91，并且能够简化促动器板41的构成。

此外，将上述头芯片90作为构成要素的液体喷射头及液体喷射装置能够获得与头芯片90同样的效果。

另外，在第五实施方式中，在位于水平面91a下方的侧部流路51的宽度和位于侧部流路51附近的吐出槽41-1的宽度之差小的情况下，难以使流过水平面91a下方的油墨的流速变快，但在此种情况下，通过气泡的浮力及油墨的流动，能够使存在于侧部流路51的气泡移动至返回路径47-1。

在第五实施方式中，作为一例，将设置一个阶梯差部91a的情况进行了举例说明，但相对于从侧部流路51的入口侧去往出口侧的方向使侧部流路51变宽的阶梯差部91a为至少一个以上即可，而不限定于图9所示的构造。

例如，通过设置多个阶梯差部91a，能够获得与设置倾斜面的情况同样的效果。

另外，在第五实施方式中，作为一例，将在配置在不同高度的两个水平面91a、91b之间设置阶梯差部91a的情况进行了举例说明，但还可以例如作为图9所示的水平面91b的代替，使用图5所示的倾斜面52b，在水平面91a和倾斜面52b之间设置阶梯差部91a。

在该情况下，能够有效地利用附着于倾斜面52b的气泡的浮力，因而能够使位于侧部流路51的气泡容易地移动至返回路径47-1。

另外，例如，还可以作为图9所示的两个水平面91a、91b的代替，设置两个倾斜面(例如，图5所示的倾斜面52b)，并在两个倾斜面之间配置阶梯差部91a。

(第六实施方式)

图10是本发明的第六实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。图10与之前说明的图5同样，是以通过吐出槽41-1的方式将第六实施方式的头芯片100截断的截面图。在图10中，对与图5所示的头芯片26相同的构成部分附以相同的符号。此外，在图10中，省略构成头芯片100的图5所示的公共电极55、公用端子56、及个别端子57、有效电极的图示。

参照图10，第六实施方式的头芯片100除了作为在第一实施方式中说明的构成头芯片26的气泡滞留抑制部52的代替而具有为一种气泡滞留抑制部的流速上升部101及第二部分104和侧部流路51的形状与图5所示的侧部流路51的形状不同之外，与头芯片26同样地构成。

流速上升部101具有突出部102和第一部分103。

突出部102设于促动器板41的与喷嘴孔53a相向的下端面41d。突出部102从下端面41d向其下方突出。突出部102的下端面为水平面102a。突出部102由间隔板49构成。

第一部分103配置在与喷嘴孔53a的形成位置相比位于侧部流路51入口侧的喷嘴板53的内表面53a。第一部分103在突出部102的下方以与突出部102相向的方式配置。第一部分103由间隔板49构成。

采用上述构成的流速上升部101配置在侧部流路51的入口侧，且具有使与侧部流路51的出口侧相比侧部流路51的入口侧的油墨的流速上升的功能。

第二部分104配置在与喷嘴孔53a的形成位置相比位于侧部流路51出口侧的喷嘴板53的内表面53a。第二部分104在突出部102的下方以与突出部102相向的方式配置。

第二部分104的厚度以比第一部分103的厚度薄的方式构成。第二部分104由间隔板49构成。

由此，配置在第一部分103和突出部102之间的侧部流路51的宽度(换言之，在利用与油墨流动方向正交的面截断时的侧部流路51的流路截面积)以比配置在第二部分104和突出部102之间的侧部流路51的宽度窄的方式构成。

换言之，流速上升部101的流路开口部的大小以比侧部流路51的出口侧的流路开口部的大小小的方式构成。

根据第六实施方式所涉及的头芯片100，通过在间隔板49设置流速上升部101，流速上升部101使配置在第一部分103和突出部102之间的侧部流路51的宽度比配置在第二部分104和突出部102之间的侧部流路51的宽度窄，能够以简单的构造使侧部流路51的入口侧的侧部流路51的流路截面积变小，并且能够使侧部流路51的出口侧的流路截面积与侧部流路51的入口侧的流路截面积相比变大。

另外，通过使侧部流路51的出口侧的流路截面积与侧部流路51的入口侧的流路截面积相比大，能够使侧部流路51的入口侧的流速上升，其结果，能够将位于侧部流路51的气泡引导至返回路径47-1。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51的情况，故能够抑制气泡积存于喷嘴孔53a的情况。

另外，由于通过对间隔板49进行加工来形成流速上升部101，故与在促动器板41加工流速上升部101的情况相比较，能够容易地形成流速上升部101，并且能够简化促动器板41的构成。

此外，将上述头芯片100作为构成要素的液体喷射头及液体喷射装置能够获得与头芯片100同样的效果。

另外，在第六实施方式中，作为构成流速上升部101的突出部102的代替，还可以使用图5所示的气泡滞留抑制部52、图9所示的气泡滞留抑制部91。在该情况下，由于容易受到气泡的浮力的效果，故能够进一步抑制在侧部流路51处的气泡滞留。

(第七实施方式)

图11是本发明的第七实施方式所涉及的头芯片的主要部分的截面图。图11与之前说明的图5同样，是以通过吐出槽41-1的方式将第七实施方式的头芯片110截断的截面图。在图11中，对与图10所示的头芯片100相同的构成部分附以相同的符号。此外，在图11中，省略构成头芯片110的图5所示的公共电极55、公用端子56、及个别端子57、有效电极的图示。

参照图11，第七实施方式的头芯片110除了作为在第六实施方式中说明的构成头芯片100的第二部分104的代替而具有在第二部分104的形成区域从侧部流路51露出的喷嘴板53的内表面53a之外，与头芯片100同样地构成。

通过采用此种构成，能够使配置在第一部分103和突出部102之间的侧部流路51的宽度(换言之，在利用与油墨流动方向正交的面截断时的侧部流路51的流路截面积)和与第一部分103相比位于下游侧的侧部流路51的宽度之差变大。

根据第七实施方式所涉及的头芯片110，能够以简单的构造使侧部流路51的入口侧的侧部流路51的流路截面积变小，并且能够使侧部流路51的出口侧的流路截面积与侧部流路51的入口侧的流路截面积相比变大。

另外，通过使侧部流路51的出口侧的流路截面积与侧部流路51的入口侧的流路截面积相比大，能够使侧部流路51的入口侧的流速上升，其结果，能够将位于侧部流路51的气泡引导至返回路径47-1。

由此，由于能够抑制气泡滞留在位于喷嘴孔53a和吐出槽41-1之间的侧部流路51的情况，故能够抑制气泡积存于喷嘴孔53a的情况。

另外，由于通过对间隔板49进行加工来形成突出部102及第一部分103，故与在促动器板41加工流速上升部111的情况相比较，能够容易地形成流速上升部111，并且能够简化促动器板41的构成。

此外，在第七实施方式中，作为构成流速上升部111的突出部102的代替，还可以使用图5所示的气泡滞留抑制部52、图9所示的气泡滞留抑制部91。在该情况下，由于容易受到气泡的浮力的效果，故能够进一步抑制在侧部流路51处的气泡滞留。

以上虽然详细说明了本发明的优选实施方式，但本发明不限定于此种特定的实施方式，而是能够在权利要求书所记载的本发明的主旨的范围内进行各种变形、变更。

例如，在第一至第七实施方式中，作为头芯片的一例，对纵循环型的头芯片进行了举例说明，但本发明还能够适用于侧射类型的头芯片。

符号说明

1液体喷射装置；2、3运送单元；2a、3a栅格辊；2b、3b夹送辊；4、4y、4m、4c、4b油墨储罐；5、5b、5c、5m、5y液体喷射头；6油墨循环单元；7扫描单元；9循环流路；11加压泵；12吸引泵；14油墨供给管；15油墨排出管；16、17导轨；18滑架；19驱动机构；20、21滑轮；22无接头带；23驱动马达；26、60、70、80、90、100头芯片；41促动器板；41a、41b侧面；41c、49d上端面；41d、45a、47a、49c下端面；41e弯曲面；41-1吐出槽；41-2非吐出槽；45盖板；45a上部液室；47板；47-1返回路径；47-2流路；49间隔板；49a、49b侧面；51侧部流路；52、61、71、81、91气泡滞留抑制部；52a、91a、91b、102a水平面；52b、61a倾斜面；53喷嘴板；53a内表面；53a喷嘴孔；53b油墨喷射面；54循环路径；55公共电极；56公用端子；57个别端子；71a第一倾斜面；71b第二倾斜面；81a最低点；91a阶梯差部；101流速上升部；102突出部；103第一部分；104第二部分；c中心位置；d、e边界位置；f最低点；l1、l2长度；s被记录介质；x扫描方向；y运送方向；θ1～θ4倾斜角度。